移载系统技术方案

在横向移载时也将物品移载到载置台的规定位置。移载系统（100）能够在沿铺设于顶棚的轨道（1）行走的同时输送被输送物（3）的输送车（2）和设置在比轨道更靠下方的载置台（4）之间以横向移载方式来移载被输送物。移载系统具备存储部（101）和控制部（102）。存储部存储（ⅰ）表示进行将由输送车抓持的物品载置到载置台的规定位置上的载置动作时的物品的移载位置的载置位置信息、及（ⅱ）表示进行输送车抓持载置台上的物品的抓持动作时的物品的移载位置的抓持位置信息。控制部控制输送车，以便在进行载置动作的情况下、在载置位置信息的移载位置进行移载，另一方面，在进行抓持动作的情况下、在抓持位置信息的移载位置进行移载。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在搬运装置等输送车和上货口等载置台之间移载例如收容半导体元件制造用的各种基板的FOUP (Front Opening Unified Pod:前开式晶圆盒)等物品的移载系统的

技术介绍
作为这种系统而提出了悬吊输送设备(例如参照专利文献I)。在该设备中，对每个支承台设定了提升用位置调整量及降下用位置调整量。设备的工件机械手，在以悬吊状态使工件(即物品)升降时，相应于工件提升或工件降下的作业，以所设定的位置调整量，来进行处于悬吊状态的工件的位置调整。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2003-192269号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题通过上述的专利文献I的系统，能够进行在与配设在输送用行走体的行走路径正下方的上货口之间装卸工件的所谓纵向移载。但是，该系统未对应在与相对于输送用行走体(换言之，行走路径)而配设在左右横向的上货口之间装卸工件的所谓横向移载。这是因为，无论怎么驱动专利文献I中的位置调整用横向移动台，都只不过是调整与行走路径正下方的上货口对置的位置调整用横向移动台的左右横向的偏移。此处，根据本申请专利技术人的研究或实验的成果或经验，假设在专利文献I的系统中进行横向移载的情况下、位置调整用横向移动台(以下仅称为“横向移动台”)向左右横向中的例如右方向移动，则横向移动台和与其下方连接的升降单元及工件机械手成为向右方向较大地伸出的状态。于是，根据该伸出程度，横向移动台由于升降单元及工件机械手的重量而挠曲，工件机械手及由其抓持的工件向以行走路径为轴的旋转的方向倾斜。尤其，在使工件降下(即载置)时，由于工件的重量而使横向移动台的挠曲变得显著，工件容易较大地倾斜。这样的工件的倾斜，就会对于横向移载时的工件的移载位置而产生偏移。因此，在进行横向移载的情况下，会具有不能够将工件移载到所期望的位置、很有可能使横向移载失败的技术问题。本专利技术是鉴于上述的问题而作出的，其课题在于提供一种即使在横向移载时也能够将物品移载到所期望的位置的移载系统。用于解决课题的方案为了解决上述的课题，本专利技术的一观点涉及的移载系统具备:输送车，在沿着设置于顶棚的轨道行走的同时输送物品；以及载置台，设置在比轨道更靠下方并能够将物品载置到该载置台的规定位置。输送车具有能够进行抓持载置台上的物品的抓持动作和将物品载置到所述载置台的载置动作的移载部。移载部能够在输送车和载置台之间以横向移载方式来移载物品。移载系统还具备存储部和控制部。存储部存储以下的的信息。( i )表示移载部进行载置动作时的物品的移载位置的载置位置信息(ii)表示移载部进行抓持动作时的物品的移载位置的抓持位置信息控制部控制移载部，以便在进行载置动作的情况下、在所存储的载置位置信息的移载位置进行移载，另一方面，在进行抓持动作的情况下、在所存储的抓持位置信息的移载位置进行移载。本专利技术的一观点涉及的输送车，例如为输送FOUP的OHT (Overhead HoistTransfer:高架提升传输装置)等，在与用于在半导体元件制造用的制造装置及储料器的内外进行存取的装载上货口、或设置在输送机上的暂存区等载置台之间，不仅能够以纵向移载方式、还能够以横向移载方式移载物品。此处，相对于在与设置在输送车主体的铅垂方向上的载置台之间移载FOUP的“纵向移载方式”，“横向移载方式”是表示能够沿与轨道的方向正交的横向移动FOUP、在与设置在输送车主体的横向上的载置台之间移载FOUP。即，表示经由使FOUP沿横向移动的工序来进行移载。此处，如上述那样，在使FOUP沿输送车主体的横向移动的情况下，输送车主体的重心由于F0UP、抓持该FOUP的抓持部和使该抓持部沿铅垂方向、横向等移动的移动部的重量而偏移。此时，沿轨道行走的行走辊变形或移动部的一部分挠曲，从而输送车主体向以轨道的方向为轴中心而旋转的旋转方向倾斜。输送车主体的倾斜还会成为抓持部的倾斜，由其抓持的FOUP也会倾斜。如果想要以这样的倾斜状态、在不考虑该状态的移载位置进行横向移载，则FOUP以向载置台倾斜的状态被载置或者从载置台露出，从而会从预先设定在载置台上的位置(即规定位置)偏移。当FOUP从该规定位置偏移时，不得不停止半导体元件制造用的制造工序、该制造工序所包含的输送工序或该输送工序的一部分。反之，当为了在由这样的FOUP的倾斜(换言之，重量)所引起的移载动作(即载置动作)时(即，严格来说在使FOUP降下前)消除偏移而预先进行定位时，下次在没有FOUP的重量的抓持动作时(即，严格来说是在抓持FOUP前)就会产生偏移。因此，在本专利技术的一观点涉及的移载装置中，在进行横向移载时控制输送车，以便无论在载置动作及抓持动作的哪个中，都会可靠地将FOUP载置到载置台的规定位置、或抓持处于该规定位置的FOUP。根据本专利技术的一观点涉及的移载装置，ROM或存储器等存储部例如装备在输送车上。存储部存储与载置动作对应的载置位置信息及与抓持动作对应的抓持位置信息。C PU等控制部例如与存储部同样地装备在输送车上。控制部控制输送车，以从存储部读出与要执行的动作(即载置动作及抓持动作)对应的位置信息(即载置位置信息或抓持位置信息)、并在读出的位置信息的移载位置进行其动作。这样，在进行载置动作的情况下，在载置位置信息的移载位置进行载置动作，在进行抓持动作的情况下，在抓持位置信息的移载位置进行抓持动作。即，在载置动作中，为了消除能够伴随着移载而产生的物品的偏移，而使移载位置与抓持动作的情况下不同。由此，能够与由物品的重量引起的移动部等的挠曲的大小无关地，进行将物品载置到载置台的规定位置即所期望的位置的横向移载。另外，上述的作用效果(S卩，使移载位置在载置动作和抓持动作中不同，而将物品时常载置到所期望的位置)，并不限定于横向移载方式下的移载，在纵向移载方式下的移载中也有效。这是因为，由于轨道、输送车中的行走辊、悬吊抓持部的一对带、及载置或抓持的物品的状态(例如轨道的变形、行走辊的倾斜、带长度的不同、FOUP重心的偏倚)等，即使在纵向移载中也很有可能由于载置动作和抓持动作而在移载位置上产生偏移。另外，取代存储部及控制部装备在输送车上，而使其装备在集中控制该移载系统的主控制部上。在这种情况下，主控制部例如具备:将输送车的认证码和输送车固有的位置信息建立对应而存储的存储单元即数据库、以及按照从该数据库读出的与载置动作或抓持动作对应的位置信息来控制输送车的控制单元即输送车控制部。另外，该移载系统能够具备多个输送车及多个载置台。在本专利技术的一观点涉及的移载系统的一个形态中，载置位置信息及抓持位置信息的每个被表示为，表示在多个输送车所通用的移载位置的通用数据和表示各输送车所固有的移载位置的机械误差数据之和。此处，载置位置信息及抓持位置信息涉及的“通用数据”是表示多个载置台的每个中的多个输送车所通用的数据。该通用数据例如在载置位置信息及抓持位置信息的情况下相同。此外，“机械误差数据”是表示多个载置台的每个中的各输送车所固有的数据。该机械误差数据例如在载置位置信息及抓持位置信息的情况下不同。根据该形态，通过由通用数据及机械误差数据这两个数据构成载置位置信息及抓持位置信息的每个，例如，只要主要管理通用数据并将其定期地更新，就能够时常在存储单元中保持高精度的移载本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：椿达雄，藤原佑辅，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：
国别省市：