基板加工机的工件装卸器制造技术

本发明专利技术涉及工件装卸器，该装卸器设置于信息记录介质的盘基板及其它基板加工机中，得到用于搭载到加工时间短的基板加工机中的、能够在短时间内在加工位置将基板搬入搬出的装卸器。该装卸器具备：旋转工作台，其具有在以铅直方向的旋转轴为中心的同一圆周上等间隔地配置的至少３个保持台并绕旋转轴向一个方向间歇旋转；第１机械手，其将加工前基板从储料器向待机位置搬送；以及第２机械手，其将加工完基板从清理位置向储料器搬送。待机位置是保持台中的１个通过旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置时其旋转方向上游侧的保持台所处的位置，清理位置是保持台中的１个通过旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置时其旋转方向下游侧的保持台所处的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及设置于在作为信息记录介质而使用的盘(disk)的基板上开设中心孔的开孔机及其它基板加工机中的工件装卸器(下面简称为"装 卸器"。)，涉及进行如下动作的装置，即，从储料器取出加工前基板并将 其搬入到加工位置，将加工完基板从该加工位置搬出到储料器中。
技术介绍
盘基板的开孔机是如下的工作设备按外形基准对以面处于水平状 态的方式被搬入到加工位置的盘基板进行定心(定位)，利用上下配置的 圆筒或环状的压圈(把持体)夹持盘基板之后，在配置于上压圈中心的 向下的杯状的旋转砂轮的周缘，利用孔锯在板上开孔，以此为要领，在 盘基板的中心进行开孔加工。开孔之后产生的圆板状的切屑通过下压圈 的中空部排出。盘基板的开孔机中设置有储料器，其与加工位置邻接，储存加工 前后的盘基板；以及装卸器，其在该储料器和加工位置之间搬送盘基板。 通常，将多个收容有多个盘基板的盒搭载到储料器中，利用装卸器依次 进行加工前基板和加工完基板的装卸，从而对储料器中储存的盘基板进 行连续加工。以往，作为开孔机的装卸器，使用具有加工前基板用和加工完基板 用的2个爪部(finger)的X—Y行走式的机械手。为了避免爪部与安装 在加工位置的压圈及其它部件发生干涉，爪部从机械手主体向加工位置 延伸，在该爪部的前端设置有用于吸附保持工件的朝向下方的多个吸盘。 多个吸盘设置于对盘基板的半径方向的中间部的2个部位或3个部位进 行吸附的位置，避免与设置于加工位置的工具和压圈发生干涉。盘基板以面处于垂直状态的方式收容在搬送用盒内。另一方面，盘基板的加工是以面处于水平状态的方式进行的。装卸器的上述爪部可在 水平方向和与90度向下的方向之间摆动，使爪部摆动成向下，与盒之间 进行盘基板的取出和插入，爪部在水平的状态下与加工位置之间进行盘 基板的搬入搬出。参照图4，说明这种现有结构的装卸器的动作。机械手12通过横臂 17的Y方向移动和该机械手在该臂上的X方向移动，而移动到收容有加 工前基板的盒上方，使搬入爪部3a向下并下降，利用爪部前端的吸盘吸 附一张加工前基板9a。接着，使搬入爪部3a上升，进一步返回到水平状 态之后，机械手12向加工位置移动。然后，将搬出爪部3b的前端插入 到加工位置，通过搬出爪部3b的下降动作，利用其前端的吸盘吸附加工 完基板9b之后，使未图示的上压圈从该基板离开，接着，使搬出爪部3b 向上移动，从下压圈取出加工完基板9b。接着，机械手12将搬入爪部3a的前端插入到加工位置，通过该爪 部的下降，将加工前基板9a放置到下压圈上，使上压圈下降而夹持基板 9a之后，解除吸盘的吸附，使搬入爪部3a上升，将加工前基板9a移交 给加工机。然后，机械手12将加工完基板9b搬送到设置于储料器和加 工位置之间的清理位置(除去附着在加工完基板上的加工液和灰尘的位 置)，在该清理位置除去加工完基板9b上附着的加工液(通常为水)而 进行干燥之后，将加工完基板9b向收容加工完基板9b的盒上方移动。然后，使搬出爪部3b向下之后下降，解除该爪部前端的吸盘的吸附， 从而将加工完基板9b收容到盒中。之后，使搬出爪部3b上升，返回到 水平状态，移动到下一个加工前基板的取出位置。通过重复上述的动作，从而对储料器上的盒中收容的盘基板进行连 续加工。专利文献l:日本特开2000—153425号公报 专利文献2:日本特开2006—26874号公报在上述现有的装卸器中，必须进行如下动作在加工位置加工基板 期间，装卸器将加工完基板搬送到清理位置，等待清理动作，将加工完 基板插入盒中，向收容有加工前基板的盒上方移动，取出加工前基板，向加工位置方向移动。在进行基板的周缘的倒角加工的倒角加工机中，加工1张基板需要 30秒左右的加工时间，所以装卸器能够在此期间进行上述动作。但是，盘基板的开孔加工的加工时间为15秒左右，本专利技术申请人根据目前开发中的开孔加工机，能够将加工时间缩短到io秒左右。若实现这种加工时间的縮短，则装卸器不能在加工时间内进行上述动作，基板加工结束之 后，加工机必须等待装卸器结束搬送动作。艮p，基板加工机的生产率不是取决于加工机的能力，而是由装卸器 的工件搬送时间决定，从而不能期待通过縮短基板加工机的加工时间来 提高生产率。
技术实现思路
因此，本专利技术的课题在于，得到一种用于搭载到像盘基板的开孔机 那样加工时间短的基板加工机中的、能够在短时间内在加工位置进行基 板的搬入搬出的装卸器。解决了上述课题的本申请第一方面所涉及的基板加工机的工件装卸器的特征在于，所述工件装卸器具备旋转工作台28，其具有在以铅直方向的旋转轴27为中心的同一圆周上等间隔地配置的至少3个保持台 30，该旋转工作台28绕所述旋转轴向一个方向间歇旋转;第1机械手12a， 其将加工前基板从储料器1向待机位置4搬送；以及第2机械手12b,其 将加工完基板从清理位置6向储料器1搬送，所述待机位置4是保持台 中的1个通过所述旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置5时其旋转方 向上游侧的保持台所处的位置，所述清理位置6是保持台中的1个通过 所述旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置5时其旋转方向下游侧的保 持台所处的位置。对于基板，存在液晶显示器中使用的大型的玻璃基板、卡片型的信 息记录介质用或IC等电子设备用小型基板等各种基板，但本专利技术的工件 装卸器适用于对较小型的基板进行加工的加工机的工件装卸器，特别适 合于加工时无需规定面内的方向的盘状基板的加工机，特别优选适合于加工周期快的开孔机的工件装卸器。设置于旋转工作台28的保持台30通常为3个即可，但在加工完基板的干燥或清理所需时间比加工时间长的情况等，也可以采用如下结构:设置4个保持台，在加工位置的下游侧设置第1和第2的2级的清理位 置。另外，清理位置6是去除附着在加工完基板上的切削液或切粉等的 位置，通常是利用从配置于该位置的喷嘴喷出的喷射空气将基板表面的 切削液和灰尘吹走来去除的结构。如果需要，在该清理位置上设置抓换 装置，该抓换装置在与加工台之间抓换基板，从而不会出现在由旋转工 作台的保持台保持的部分有切削液或灰尘未被清理而残留的情况。在旋转工作台的保持台30上设置用于把持吸盘或基板外周的弹性 爪部(插入有基板时弯曲并打开，利用该弯曲的恢复力夹持基板的爪部) 等保持工具(未图示)，从而在旋转工作台28旋转时基板不会从保持台 30脱落。基板在加工位置的保持优选利用设置于加工位置5的压圈21、 22进行。优选定心装置25也设置于加工位置5。这是因为能够提高定位 精度和基板的保持刚性。设置于旋转工作台的保持台30的上述保持工具构成为不会与设置 于加工位置的压圈21、 22和定心装置的把持爪25a、 25b发生干涉。它 是例如位于压圈21、 22的半径方向外侧的吸盘、或在与定心装置的把持 爪25a、 25b的把持方向正交的方向上把持盘外周的弹性爪部等。根据上述结构的装卸器，只要在基板的加工时间内完成下述的各个 动作即可，g卩，搬入机械手12a从待机位置4移动到加工前基板的盒18 上方，取出加工前基板，返回到待机位置4的动作；以及搬出机械手12b 从清理位置6向加工完基板的盒18中插入基板后，返回到清理位置6的 动作，这些动作在远远短于现有的装卸器的动作时间内结束，所以即使 在加工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板加工机的工件装卸器，其特征在于，所述工件装卸器具备：旋转工作台（２８），其具有在以铅直方向的旋转轴（２７）为中心的同一圆周上等间隔地配置的至少３个保持台（３０），所述旋转工作台（２８）绕所述旋转轴向一个方向间歇旋转；第１机械 手（１２ａ），其将未加工基板从储料器（１）向待机位置（４）搬送；以及第２机械手（１２ｂ），其将加工完基板从清理位置（６）向储料器（１）搬送；所述待机位置（４）是保持台中的１个通过所述旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置（５）时其旋转方 向上游侧的保持台所处的位置，所述清理位置（６）是保持台中的１个通过所述旋转工作台的间歇旋转而位于加工位置（５）时其旋转方向下游侧的保持台所处的位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：辰田胜彦，齐田一，
申请(专利权)人：中村留精密工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]