【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子机械系统MEMS
,为一种。
技术介绍
在无线通信应用中，频率是表征微波信号的三大参数(幅度、频率和相位)之一，对微波频率的检测具有重要意义。微波信号频率检测器广泛应用于个人通信、军事国防和科学研究等方面。当前广泛采用的微波频率检测技术有外差法、计数法和谐振法，它们的优点是精度高、宽频带，但是存在无法在线检测的缺点。现代科技的不断革新，促使个人通信系统和雷达系统要求不断提高:简单的结构，较小的体积以及可在线检测的微波频率检测器成为一种趋势。当前，MEMS技术得到了快速发展，MEMS固支梁结构的研究日趋成熟，使基于固支梁和间接式功率传感器的在线式微波频率检测器及制备方法成为可能。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是:现有的微波信号频率检测存在无法在线检测的缺点，用户需要简单的结构，较小的体积以及可在线检测的微波频率检测器。本专利技术的技术方案为:基于固支梁和间接式功率传感器的在线式微波频率检测器，在GaAs衬底上设有待测信号传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、一个功合器以及三个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线，两个MEMS固支梁结构悬于待测信号传输线的信号线上方，两个MEMS固支梁结构的固支梁一端分别连接一个MEMS间接式微波功率传感器,另一端分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS间接式微波功率传感器。作为优选，两个MEMS固支梁结构之间的距离L为中心频率点所对应波长的1/4，所述中心频率点指所述微波频率...
【技术保护点】
基于固支梁和间接式功率传感器的在线式微波频率检测器，其特征是在GaAs衬底上设有待测信号传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、一个功合器以及三个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线，两个MEMS固支梁结构悬于待测信号传输线的信号线上方，两个MEMS固支梁结构的固支梁一端分别连接一个MEMS间接式微波功率传感器，另一端分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS间接式微波功率传感器。
【技术特征摘要】
1.基于固支梁和间接式功率传感器的在线式微波频率检测器，其特征是在GaAs衬底上设有待测信号传输线、两个结构完全相同的MEMS固支梁结构、一个功合器以及三个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线，两个MEMS固支梁结构悬于待测信号传输线的信号线上方，两个MEMS固支梁结构的固支梁一端分别连接一个MEMS间接式微波功率传感器，另一端分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS间接式微波功率传感器。2.根据权利要求1所述的基于固支梁和间接式功率传感器的在线式微波频率检测器，其特征是两个MEMS固支梁结构之间的距离L为中心频率点所对应波长的1/4，所述中心频率点指所述微波频率检测器的频率检测范围的中心频率点。3.根据权利要求1或2所述的基于固支梁和间接式功率传感器的在线式微波频率检测器，其特征是MEMS固支梁结构与功合器以及MEMS间接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接，功合器与MEMS间接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接；固支梁结构包括固支梁和锚区，固支梁与下方的待测信号传输线的信号线之...
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