超纯水机全自动控制系统及控制方法技术方案

本发明专利技术公开了一种超纯水机全自动控制系统及控制方法，涉及一种水净化系统，本发明专利技术对反渗透模块排出的浓水进行循环利用；同时超纯水循环控制方法通过消毒能够有效清洗超纯水循环系统，能够保证超纯水循环系统必要的纯净度，消毒液在系统中循环流动，使得消毒效果更加明显、更加彻底，相比传统的超纯水循环装置更加充分的保证了纯净的循环环境。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种水净化系统，特别是涉及一种超纯水循环控制系统及控制方法。
技术介绍
现有的超纯水系统,利用PP滤芯除去水中铁锈、泥沙、藻类等杂质,利用活性炭滤芯吸附和过滤自来水中的余氯、异味、异色等；反渗透模块能滤去水中的细菌、病毒、无机盐、农药等，现有的超纯水机，在净化一定体积的水后，需要更换滤芯，但是现有的超纯水机没有精确细致的流量监控报警功能；同时，现有的超纯水制造装置中，反渗透模块直接排出废水，不能对废水进行循环利用，也不能对三级水和超纯水进行监测。现有的超纯水制造过程中，只有基于超纯水制造系统进行单纯的超纯水制造和取用，其无法对系统进行监控来保证系统的安全运行，更重要的是，在超纯水系统使用一段时间后，管道内会形成生物膜，若不能定期清洗，不仅影响超纯水的质量还会减少系统的使用寿命。
技术实现思路
有鉴于现有技术的上述缺陷，本专利技术所要解决的技术问题是提供一种结构更加合理并且具有水质监控功能和水流量监控功能的超纯水循环控制系统。本专利技术要解决的另一技术问题是提供一种能够有效清洗超纯水循环系统的超纯水循环控制方法。为实现上述目的，本专利技术提供了一种超纯水循环控制系统，包括连接有进水管的原水滤芯，所述原水滤芯的出水口连接进水电磁阀的进水口，在所述原水滤芯出水口与进水电磁阀进水口之间的水管安装有压力传感器，所述进水电磁阀的出水口通过减压阀连接增压泵的进水口，所述减压阀与增压泵之间的水管设置有进水流量计和原水电导率仪，所述原水电导率仪内置有第一温度传感器，所述增压泵的出水口连接第一反渗透模块的进水口，所述第一反渗透模块的废水出水口连接冲洗电磁阀的进水口，所述第一反渗透模块的三级水出水口与第二反渗透模块的进水口连接，所述第二反渗透模块的三级水出水口与纯水箱的进水口连接，所述第二反渗透模块与纯水箱之间的水管上还设置有三级水电导率仪，所述纯水箱内安装有液位传感器，所述纯水箱的出水口连接第一三通管的第一进水口，所述第一三通管的出水口与输送泵的进水口连接，所述输送泵的出水口与第二三通管的进水口连接，所述输送泵与第二三通管之间的水管内还设置有紫外线灯，所述第二三通管的第一出水口通过三级水取水电磁阀与第一囊式超滤的进水口连接，所述第二三通管与三级水取水电磁阀之间还设置有三级水流量计，所述第二三通管的第二出水口连接纯化模块的进水口，所述纯化模块的出水口连接除热原超滤模块的进水口，所述纯化模块与所述除热原超滤模块之间的水管上还设置有超纯水电阻率仪，所述超纯水电阻率仪内置第二温度传感器，所述除热原超滤模块的循环水出水口通过循环电磁阀连接所述第一三通管的第二进水口，所述除热原超滤模块的循环水出水口连接排放电磁阀的进水口，所述除热原超滤模块的超纯水出水口通过超纯水取水电磁阀与第二囊式超滤的进水口连接，所述超纯水取水电磁阀与第二囊式超滤之间的水管上还设置有超纯水流量计；所述第一囊式超滤和第二囊式超滤的取水口分别与外界连通；所述压力传感器的信号输出端连接所述中央处理器的第一输入端；所述进水电磁阀的控制端与所述中央处理器的第一输出端连接；所述进水流量计的信号输出端所述中央处理器的第二输入端；所述增压泵的控制信号输入端与所述中央处理器的第二输出端连接；所述原水电导率仪的信号输出端连接所述中央处理器的第三输入端；所述第一温度传感器的信号输出端连接所述中央处理器的第四输入端；所述冲洗电磁阀的控制信号输入端连接所述中央处理器的第三输出端；所述液位传感器的信号输出端连接所述中央处理器的第五输入端；所述输送泵的控制信号输入端连接所述中央处理器的第四输出端；所述紫外线灯的控制信号输入端连接所述中央处理器的第五输出端；所述三级水取水电磁阀的控制信号输入端连接所述中央处理器的第六输出端；所述循环电磁阀的控制信号输入端连接所述中央处理器的第七输出端；所述排放电磁阀的控制信号输入端连接所述中央处理器的第十输出端，所述超纯水取水电磁阀的控制信号输入端连接所述中央处理器的第八输出端；所述超纯水电阻率仪的信号输出端连接所述中央处理器的第六输入端，所述第二温度传感器的信号输出端连接所述中央处理器的第七输入端；所述超纯水流量计的信号输出端连接所述中央处理器的第八输入端；所述三级水流量计的信号输出端连接所述中央处理器的第九输入端。由于设置有压力传感器、进水流量计、原水电导率仪、温度传感器、三级水电导率仪、液位传感器、三级水流量计、超纯水电阻率仪和超纯水流量计，能够对超纯水制造系统中三级水循环部分和超纯水循环部分分别进行准确的监控，能够有效实时的了解超纯水制造系统各环节的运行情况，同时由于增加了减压阀，能够使供水压力分配更加均衡，避免部分管路因供水超压而导致系统故障。进一步的，所述冲洗电磁阀两端并联有第一手动球阀，所述第一反渗透模块的废水出水口连接第二手动球阀的进水口，所述第二手动球阀的出水口连接在所述进水流量计和原水电导率仪之间的水管上；所述第二反渗透模块的废水出水口通过第三手动球阀连接单向阀的进水口，所述单向阀的出水口连接在所述进水流量计和原水电导率仪之间的水管上。在冲洗电磁阀故障的时候能够使用第一手动球阀应急向外排水，同时还能对反渗透模块排出的废水进行循环利用，由于加入了单向阀，能够有效的避免废液回流。进一步的，还包括报警器、存储器和触摸屏；所述报警器的信号输入端连接所述中央处理器的第九输出端，所述存储器和触摸屏分别与所述中央处理器双向连接；所述中央处理器还连接有数据传输接口，所述中央处理器通过所述数据传输接口进行数据交互。由于增加了报警器、存储器和触摸屏，系统能够发送报警信号给报警器进行报警，同时能够通过触摸屏显示信息并通过触摸屏发送控制信号给中央处理器，中央处理器可以通过数据传输接口与上位机或存储介质进行数据交互，其交互数据更加方便。本专利技术还提供一种基于超纯水循环控制系统的超纯水循环控制方法，包括制造超纯水的步骤、超纯水系统水路消毒的步骤和取用超纯水的步骤；所述超纯水系统水路消毒按以下步骤进行:步骤一、中央处理器调配消毒液浓度；步骤二、中央处理器控制系统进行循环消毒清洗；步骤三、中央处理器控制取水口进行消毒清洗；步骤四、中央处理器控制消毒液排出系统；所述步骤一包括启动补水和停止补水的步骤，所述启动补水包括以下步骤:用于接收启动纯水箱补水信号的步骤；用于读取液位传感器数值的步骤；用于判断纯水箱的水位是否低于高液位的步骤；如果水位高于或等于高液位，则进入用于关闭增压泵的步骤，然后进入用于关闭进水电磁阀的步骤；如果水低于高液位，则进入用于打开进水电磁阀的步骤；用于打开进水电磁阀的步骤；用于开启增压泵的步骤，开启增压泵后返回用于读取液位传感器数值的步骤；所述停止补水包括以下步骤:用于接收关闭纯水箱补水信号的步骤；用于关闭增压泵的步骤；用于关闭进水电磁阀的步骤；所述步骤二包括循环消毒清洗和停止循环清洗的步骤；所述循环消毒清洗包括以下步骤:用于接收循环消毒清洗信号的步骤；用于打开循环电磁阀的步骤；用于启动输送泵的步骤；所述停止循环清洗包括以下步骤:用于接收停止循环消毒清洗信号的步骤；用于关闭输送泵的步骤；用于关闭循环电磁阀的步骤；所述步骤三包括取水口消毒液清洗和停止取水口消毒液清洗的步骤；所述取水口消毒液清洗包括以下步骤:用于接收启动取水口消毒清洗信号的步骤；用于读本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超纯水机全自动控制系统，包括连接有进水管的原水滤芯（1），所述原水滤芯（1）的出水口连接进水电磁阀（2）的进水口，在所述原水滤芯（1）出水口与进水电磁阀（2）进水口之间的水管安装有压力传感器（3），其特征在于：所述进水电磁阀（2）的出水口通过减压阀（4）连接增压泵（5）的进水口，所述减压阀（4）与增压泵（5）之间的水管设置有进水流量计（6）和原水电导率仪（7），所述原水电导率仪（7）内置有第一温度传感器（8），所述增压泵（5）的出水口连接第一反渗透模块（9）的进水口，所述第一反渗透模块（9）的废水出水口连接冲洗电磁阀（10）的进水口，所述第一反渗透模块（9）的三级水出水口与第二反渗透模块（11）的进水口连接，所述第二反渗透模块（11）的三级水出水口与纯水箱（12）的进水口连接，所述第二反渗透模块（11）与纯水箱（12）之间的水管上还设置有三级水电导率仪（14），所述纯水箱（12）内安装有液位传感器（13），所述纯水箱（12）的出水口连接第一三通管（15）的第一进水口，所述第一三通管（15）的出水口与输送泵（16）的进水口连接，所述输送泵（16）的出水口与第二三通管（17）的进水口连接，所述输送泵（16）与第二三通管（17）之间的水管内还设置有紫外线灯（18），所述第二三通管（17）的第一出水口通过三级水取水电磁阀（19）与第一囊式超滤（20）的进水口连接，所述第二三通管（17）与三级水取水电磁阀（19）之间还设置有三级水流量计（21），所述第二三通管（17）的第二出水口连接纯化模块（22）的进水口，所述纯化模块（22）的出水口连接除热原超滤模块（23）的进水口，所述纯化模块（22）与所述除热原超滤模块（23）之间的水管上还设置有超纯水电阻率 仪（24），所述超纯水电阻率仪（24）内置第二温度传感器（25），所述除热原超滤模块（23）的循环水出水口通过循环电磁阀（26）连接所述第一三通管（15）的第二进水口，所述除热原超滤模块（23）的循环水出水口连接排放电磁阀（27）的进水口，所述除热原超滤模块（23）的超纯水出水口通过超纯水取水电磁阀（28）与第二囊式超滤（29）的进水口连接，所述超纯水取水电磁阀（28）与第二囊式超滤（29）之间的水管上还设置有超纯水流量计（30）；所述压力传感器（3）的信号输出端连接所述中央处理器（31）的第一输入端；所述进水电磁阀（2）的控制端与所述中央处理器（31）的第一输出端连接；所述进水流量计（6）的信号输出端所述中央处理器（31）的第二输入端；所述增压泵（5）的控制信号输入端与所述中央处理器（31）的第二输出端连接；所述原水电导率仪（7）的信号输出端连接所述中央处理器（31）的第三输入端；所述第一温度传感器（8）的信号输出端连接所述中央处理器（31）的第四输入端；所述冲洗电磁阀（10）的控制信号输入端连接所述中央处理器（31）的第三输出端；所述液位传感器（13）的信号输出端连接所述中央处理器（31）的第五输入端；所述输送泵（16）的控制信号输入端连接所述中央处理器（31）的第四输出端；所述紫外线灯（18）的控制信号输入端连接所述中央处理器（31）的第五输出端；所述三级水取水电磁阀（19）的控制信号输入端连接所述中央处理器（31）的第六输出端；所述循环电磁阀（26）的控制信号输入端连接所述中央处理器（31）的第七输出端；所述排放电磁阀（27）的控制信号输入端连接所述中央处理器（31）的第十输出端，所述超纯水取水电磁阀（28）的控制信号输入端连接所述中央处理器（31）的第八输出端；所述超纯水电阻率仪（24）的信号输出端连接所述中央处理器（31）的第六输入端，所述第二温度 传感器（25）的信号输出端连接所述中央处理器（31）的第七输入端；所述超纯水流量计（30）的信号输出端连接所述中央处理器（31）的第八输入端；所述三级水流量计（21）的信号输出端连接所述中央处理器（31）的第九输入端。...

【技术特征摘要】
1.一种超纯水机全自动控制系统，包括连接有进水管的原水滤芯(1)，所述原水滤芯(I)的出水口连接进水电磁阀(2 )的进水口，在所述原水滤芯(I)出水口与进水电磁阀(2 )进水口之间的水管安装有压力传感器(3)，其特征在于:所述进水电磁阀(2)的出水口通过减压阀(4)连接增压泵(5)的进水口，所述减压阀(4)与增压泵(5)之间的水管设置有进水流量计(6)和原水电导率仪(7)，所述原水电导率仪(7)内置有第一温度传感器(8)，所述增压泵(5 )的出水口连接第一反渗透模块(9 )的进水口，所述第一反渗透模块(9 )的废水出水口连接冲洗电磁阀(10)的进水口，所述第一反渗透模块(9)的三级水出水口与第二反渗透模块(11)的进水口连接，所述第二反渗透模块(11)的三级水出水口与纯水箱(12)的进水口连接，所述第二反渗透模块(11)与纯水箱(12)之间的水管上还设置有三级水电导率仪(14),所述纯水箱(12)内安装有液位传感器(13)，所述纯水箱(12)的出水口连接第一三通管(15)的第一进水口，所述第一三通管(15)的出水口与输送泵(16)的进水口连接，所述输送泵(16)的出水口与第二三通管(17)的进水口连接，所述输送泵(16)与第二三通管(17)之间的水管内还设置有紫外线灯(18)，所述第二三通管(17)的第一出水口通过三级水取水电磁阀(19)与第一囊式超滤(20)的进水口连接，所述第二三通管(17)与三级水取水电磁阀(19)之间还设置有三级水流量计(21)，所述第二三通管(17)的第二出水口连接纯化模块(22 )的进水口，所述纯化模块(22 )的出水口连接除热原超滤模块(23 )的进水口，所述纯化模块(22)与所述除热原超滤模块(23)之间的水管上还设置有超纯水电阻率仪(24)，所述超纯水电阻率仪(24)内置第二温度传感器(25)，所述除热原超滤模块(23)的循环水出水口通过循环电磁阀(26)连接所述第一三通管(15)的第二进水口，所述除热原超滤模块(23)的循环水出水口连接排放电磁阀(27)的进水口，所述除热原超滤模块(23)的超纯水出水口通过超纯水取水电磁阀(28)与第二囊式超滤(29)的进水口连接，所述超纯水取水电磁阀(28)与第二囊式超滤(29)之间的水管上还设置有超纯水流量计(30)； 所述压力传感器(3)的信号输出端连接所述中央处理器(31)的第一输入端；所述进水电磁阀(2)的控制端与所述中央处理器(31)的第一输出端连接；所述进水流量计(6)的信号输出端所述中央处理器(31)的第二输入端；所述增压泵(5)的控制信号输入端与所述中央处理器(31)的第二输出端连接；所述原水电导率仪(7)的信号输出端连接所述中央处理器(31)的第三输入端；所述第一温度传感器(8)的信号输出端连接所述中央处理器(31)的第四输入端；所述冲洗电磁阀(10)的控制信号输入端连接所述中央处理器(31)的第三输出端；所述液位传感器(13)的信号输出端连接所述中央处理器(31)的第五输入端；所述输送泵(16)的控制信号输入端连接所述中央处理器(31)的第四输出端；所述紫外线灯(18)的控制信号输入端连接所述中央处理器(31)的第五输出端；所述三级水取水电磁阀(19)的控制信号输入端连接所述中央处理器(31)的第六输出端；所述循环电磁阀(26)的控制信号输入端连接所述中央处理器(31)的第七输出端；所述排放电磁阀(27)的控制信号输入端连接所述中央处理器(31)的第十输出端，所述超纯水取水电磁阀(28)的控制信号输入端连接所述中央处理器(31)的第八输出端；所述超纯水电阻率仪(24)的信号输出端连接所述中央处理器(31)的第六 输入端，所述第二温度传感器(25)的信号输出端连接所述中央处理器(31)的第七输入端；所述超纯水流量计(30)的信号输出端连接所述中央处理器(31)的第八输入端；所述三级水流量计(21)的信号输出端连接所述中央处理器(31)的第九输入端。2.如权利要求1所述的超纯水机全自动控制系统，其特征是:所述冲洗电磁阀(10)两端并联有第一手动球阀(32)，所述第一反渗透模块(9)的废水出水口连接第二手动球阀(33 )的进水口，所述第二手动球阀(33 )的出水口连接在所述进水流量计(6 )和原水电导率仪(7)之间的水管上；所述第二反渗透模块(11)的废水出水口通过第三手动球阀(34)连接单向阀(35 )的进水口，所述单向阀(35 )的出水口连接在所述进水流量计(6 )和原水电导率仪(7)之间的水管上。3.如权利要求1或2所述的超纯水机全自动控制系统，其特征是:还包括报警器(36)、存储器(37)和触摸屏(38);所述报警器(36)的信号输入端连接所述中央处理器(31)的第九输出端，所述存储器(37)和触摸屏(38)分别与所述中央处理器(31)双向连接；所述中央处理器(31)还连接有数据传输接口(39)，所述中央处理器(31)通过所述数据传输接口(39)进行数据交互。4.一种基于超纯水机全自动控制系统的超纯水机全自动控制方法，其特征在于:包括制造超纯水的步骤、超纯水系统水路消毒的步骤和取用超纯水的步骤；所述超纯水系统水路消毒按以下步骤进行: 步骤一、中央处理器(31)调配消毒液浓度； 步骤二、中央处理器(31)控制系统进行循环消毒清洗； 步骤三、中央处理器(31)控制取水口进行消毒清洗； 步骤四、中央处理器(31)控制消毒液排出系统； 所述步骤一包括启动补水和停止补水的步骤，所述启动补水包括以下步骤: 用于接收启动纯水箱(1 2)补水信号的步骤； 用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 用于判断纯水箱(12)的水位是否低于高液位的步骤；如果水位高于或等于高液位，则进入用于关闭增压泵(5)的步骤，然后进入用于关闭进水电磁阀(2)的步骤；如果水低于高液位，则进入用于打开进水电磁阀(2)的步骤； 用于打开进水电磁阀(2)的步骤； 用于开启增压泵(5)的步骤，开启增压泵(5)后返回用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 所述停止补水包括以下步骤: 用于接收关闭纯水箱(12)补水信号的步骤； 用于关闭增压泵(5)的步骤； 用于关闭进水电磁阀(2)的步骤； 所述步骤二包括循环消毒清洗和停止循环清洗的步骤； 所述循环消毒清洗包括以下步骤: 用于接收循环消毒清洗信号的步骤； 用于打开循环电磁阀(26)的步骤； 用于启动输送泵(16)的步骤； 所述停止循环清洗包括以下步骤: 用于接收停止循环消毒清洗信号的步骤； 用于关闭输送泵(16)的步骤；用于关闭循环电磁阀(26)的步骤； 所述步骤三包括取水口消毒液清洗和停止取水口消毒液清洗的步骤； 所述取水口消毒液清洗包括以下步骤: 用于接收启动取水口消毒清洗信号的步骤； 用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 用于判断纯水箱(12)的水位是否高于低液位的步骤；如果水位低于低液位，则进入用于关闭输送泵(16)的步骤，然后进入用于关闭三级水取水电磁阀(19)的步骤，然后进入用于关闭超纯水取水电磁阀(28)的步骤；如果水位高于低液位，则进入用于打开三级水取水电磁阀(19)的步骤； 用于打开三级水取水电磁阀(19)的步骤； 用于启动输送泵(16)的步骤 ； 用于第一次计时的步骤； 如果计时未结束，则返回用于第一次计时的步骤；如果计时结束，则进入用于打开超纯水取水电磁阀(28)的步骤； 用于打开超纯水取水电磁阀(28)的步骤； 用于关闭三级水取水电磁阀(19)的步骤； 用于第二次计时的步骤 如果第二次计时未结束，则返回用于计时的步骤；如果第二次计时结束，则返回用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 所述停止取水口消毒液清洗包括以下步骤: 用于接收关闭取水口消毒清洗信号的步骤； 用于关闭输送泵(16)的步骤； 用于关闭三级水取水电磁阀(19)的步骤； 用于关闭超纯水取水电磁阀(28)的步骤； 所述步骤四包括启动排水和停止排水的步骤； 所述启动排水包括以下步骤: 用于接收启动排水信号的步骤； 用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 用于判断纯水箱(12)的水位是否高于低液位的步骤；如果水位等于或低于低液位，则进入用于关闭输送泵(16)的步骤，然后进入用于关闭排放电磁阀(27)的步骤；如果水位高于低液位，则进入用于打开排放电磁阀(27)的步骤； 用于打开排放电磁阀(27)的步骤； 用于启动输送泵(16)的步骤，启动输送泵(16)后返回所述用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 所述停止排水包括以下步骤: 用于接收停止排水信号的步骤； 用于关闭输送泵(16)的步骤； 用于关闭排放电磁阀(27)的步骤。5.如权利要求4所述的超纯水机全自动控制方法，其特征是:还包括系统运行自检的步骤；所述系统运行自检包括以下步骤: 用于第一次读取进水流量计(6)累计数值的步骤； 用于判断进水总量是否超过设定值的步骤；如果进水总量超过设定值，则进入用于报警提示更换原水滤芯(I)的步骤；如果进水总量未超过设定值，则进入用于打开进水电磁阀(2)的步骤； 用于打开进水电磁阀(2)的步骤； 用于控制增压泵(5)启动的步骤； 用于读取进水流量计(6)当前数值的步骤； 用于判断进水流量是否低于设定值的步骤；如果进水流量低于设定值，则进入用于报警提示低流量的步骤；如果进水流量高于或等于设定值，则进入用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 用于判断纯水箱(12)水位是否达到高液位的步骤；如果纯水箱(12)水位未达到高液位，则返回用于第一次读取进水流量计(6)累计数值的步骤；如果纯水箱(12)水位达到高液位，则进入用于打开冲洗电磁阀(10)的步骤； 用于打开冲洗电磁阀(10)的步骤； 用于第二次读取进水流量计(6)累计数值的步骤； 用于判断进水总量是否超过设定值的步骤；如果进水总量超过设定值，则进入用于报警提示更换原水滤芯(I)的步 骤；如果进水总量未超过设定值，则进入用于冲洗计时的步骤； 用于冲洗计时的步骤； 用于判断冲洗计时是否结束的步骤；如果冲洗计时未结束，则返回用于冲洗计时的步骤；如果冲洗计时结束，则进入用于关闭进水电磁阀(2)的步骤； 用于关闭进水电磁阀(2)的步骤； 用于关闭增压泵(5)的步骤； 用于关闭冲洗电磁阀(10)的步骤。6.如权利要求5所述的超纯水机全自动控制方法，其特征是:所述制造超纯水包括以下步骤: 用于接收超纯水循环信号的步骤； 用于读取液位传感器(13)数值的步骤； 用于判断纯水箱(12)的水位是否高于低液位的步骤；如果水位低于或等于低液位，则进入所述系统运行自检；如果液位高于低液位，则进入用于判断紫外线灯使用时长是否超过设定值的步骤； 用于判断紫外线灯(18)使用时长是否超过设定值的步骤；如果紫外线灯(18)使用时长超过设定值，则进入用于报警提示更换紫外线灯(18)的步骤，然后进入用于读取紫外线灯(18)输出点的步骤；如果紫外线灯(18)使用时长未超过设定值，则进入用于启动紫外线灯(18)的步骤； 用于启动紫外线灯(18)的步骤； 用于读取紫外线灯(18)输出点的步骤；用于判断是否有输出报警信号的步骤；如果有输出报警信号，则进入用于报警提示更换紫外线灯(18)的步骤，然后进入用于打开循环电磁阀(26)的步骤；如果没有输出报警信号，则进入用于打开循环电磁阀(26)的步骤； 用于打开循环电磁阀(26)的步骤； 用于启动输送泵(16)的步骤； 用于读取、控制存储超纯水电阻率的步骤； 用于读取、控制存储超纯水温度的步骤； 用于判断超纯水电阻率是否低于设定值的步骤；如果超纯水电阻率高于或等于设定值，则返回用于打开循环电磁阀(26)的步骤；如果超纯水电阻率低于设定值，则进...

【专利技术属性】
技术研发人员：林莹陈，
申请(专利权)人：林莹陈，
类型：发明
国别省市：台湾;71