【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微电子机械系统MEMS
,为一种。
技术介绍
在微波技术研究中，微波功率和频率是表征微波信号特征的两个重要参数。对这两个参数的检测已成为电磁测量的重要组成部分。微波信号频率和功率的检测器在军事、个人通信和科学研究等方面都有非常广泛的应用。现有的微波频率检测技术主要基于外差法、计数法、谐振法和比相法，微波功率检测技术主要基于二极管、热电偶和热敏电阻的方法。尽管这些检测技术已经形成，但是其缺点在于无法系统集成频率检测与功率检测。随着科学技术的不断发展，现代个人通信系统和雷达系统要求越来越高:微型化，结构简单化以及在线式的微波频率检测器已成为一种趋势。近年来，随着MEMS技术的快速发展以及对MEMS悬臂梁结构和MEMS间接式微波功率传感器研究的不断深入，使基于悬臂梁和间接式功率传感器的微波频率和功率检测的系统集成成为可能。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是:现有的微波信号检测无法系统集成频率检测与功率检测，用户需要简单的结构，较小的体积以及可在线检测的微波频率、功率检测器。本专利技术的技术方案为:微电子机械微波频率和功率检测系统，所述微波检测系统包括MEMS可重构天线、MEMS可调滤波器、控制电路和微波检测器，MEMS可重构天线接收微波信号，经MEMS可调滤波器后，得到待测微波信号输入微波检测器，控制电路分别连接MEMS可重构天线和MEMS可调滤波器，所述微波检测器在GaAs衬底上设有待测信号传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、一个功合器以及四个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW...
【技术保护点】
微电子机械微波频率和功率检测系统，其特征是所述微波检测系统包括MEMS可重构天线、MEMS可调滤波器、控制电路和微波检测器，MEMS可重构天线接收微波信号，经MEMS可调滤波器后，得到待测微波信号输入微波检测器，控制电路分别连接MEMS可重构天线和MEMS可调滤波器，所述微波检测器在GaAs衬底上设有待测信号传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、一个功合器以及四个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线输入一个MEMS间接式微波功率传感器，四个MEMS悬臂梁结构分为两对，对称悬于待测信号传输线的信号线上方，其中位于待测信号传输线的信号线同一侧两个MEMS悬臂梁结构分别连接一个MEMS间接式微波功率传感器，另一侧对称的两个MEMS悬臂梁结构分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS间接式微波功率传感器。
【技术特征摘要】
1.微电子机械微波频率和功率检测系统，其特征是所述微波检测系统包括MEMS可重构天线、MEMS可调滤波器、控制电路和微波检测器，MEMS可重构天线接收微波信号，经MEMS可调滤波器后，得到待测微波信号输入微波检测器，控制电路分别连接MEMS可重构天线和MEMS可调滤波器， 所述微波检测器在GaAs衬底上设有待测信号传输线、四个结构完全相同的MEMS悬臂梁结构、一个功合器以及四个结构完全相同的MEMS间接式微波功率传感器，待测信号传输线为CPW传输线，所述CPW传输线由信号线和地线构成，待测微波信号通过待测信号传输线输入一个MEMS间接式微波功率传感器，四个MEMS悬臂梁结构分为两对，对称悬于待测信号传输线的信号线上方，其中位于待测信号传输线的信号线同一侧两个MEMS悬臂梁结构分别连接一个MEMS间接式微波功率传感器，另一侧对称的两个MEMS悬臂梁结构分别连接至功合器，功合器的输出端连接一个MEMS间接式微波功率传感器。2.根据权利要求1所述的微电子机械微波频率和功率检测系统，其特征是微波检测器沿待测信号传输线方向，两对MEMS悬臂梁结构之间的距离L为中心频率点所对应波长的1/4，所述中心频率点指所述微波频率检测器的频率检测范围的中心频率点。3.根据权利要求1或2所述的微电子机械微波频率和功率检测系统，其特征是微波检测器的MEMS悬臂梁结构与功合器以及MEMS间接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接，功合器与MEMS间接式微波功率传感器之间通过CPW传输线连接；悬臂梁结构包括悬臂梁和锚区，悬臂梁与下方的待测信号传输线的信号线之间设有绝缘介质层。4.根据权利要求1或2所述的微电子机械微波频率和功率检测系统，其特征是微波检测器的功合器包括不...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。