一种机械手制造技术

本实用新型专利技术提供了一种机械手，包括垂直运动部分、回转运动部分与直角支座，所述垂直运动部分包括磁偶式无杆气缸、拖板联接板、直角支板、上横联板与下横联扳；所述回转运动部分包括三相交流低速同步电机、同步带轮、同步带、涨紧轮座、传感器安装板、传感器转盘、挡光片、主轴、轴承座、轴承与传感器；所述回转运动部分通过轴承与垂直运动部分两端固定；所述回转运动部分与垂直运动部分固定于直角支座。本实用新型专利技术提供的一种机械手，可直接操作硅片进入腐蚀液中，保证了操作人员的安全，减轻操作员工作强度，提高成品率，提高了生产效率，还可以确保产品的腐蚀效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种机械手，属于全自动机械领域。
技术介绍
现有的加工工艺在对硅片进行腐蚀加工时，通常依靠人工进行操作，腐蚀液一般为强酸性溶剂，对人体有极大的伤害；在进行腐蚀操作时，操作人员需要佩戴全套的防护工具，且不能与腐蚀溶剂直接接触，这样一来不仅操作人员的安全得不到保证，而且生产的效率极低，腐蚀效果也不能保证。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供了一种机械手，可直接操作硅片进入腐蚀液中，既保证了操作人员的安全，又提高了生产效率，还可以确保产品的腐蚀效果。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案:本技术一种机械手，包括垂直运动部分、回转运动部分与直角支座，所述垂直运动部分包括磁偶式无杆气缸、拖板联接板、直角支板、上横联板与下横联扳；所述上横联板与下横联板的一端水平固定于竖直拖板联接板的上下端，形成上下两个直角，直角支板固定于直角位置，拖板联接板上还固定有磁偶式无杆气缸；所述回转运动部分包括三相交流低速同步电机、同步带轮、同步带、涨紧轮座、传感器安装板、传感器转盘、挡光片、主轴、轴承座、轴承与传感器；所述同步带轮的周围一圈固定有同步带，且固定于涨紧轮座上，轴承座上嵌套有主轴，主轴上又固定有同步轮带，同步带轮侧连接有三相交流低速同步电机，轴承顶端固定有传感器转盘，轴承侧竖直固定有传感器安装板，传感器安装板上固定有传感器，传感器与传感器转盘之间固定有挡光片；所述回转运动部分通过轴承与垂直运动部分两端固定；所述回转运动部分与垂直运动部分固定于直角支座。进一步地，所述轴承包括向心球轴承与止推滚珠轴承。进一步地，所述回转运动部分与垂直运动部分通过内六角螺钉固定于直角支座。进一步地,所述主轴的数量为2个。本技术提供的一种机械手，可直接操作硅片进入腐蚀液中，保证了操作人员的安全，减轻操作员工作强度，提高成品率，提高了生产效率，还可以确保产品的腐蚀效果。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中:图1是本技术一种机械手的侧视结构示意图；图2是本技术一种机械手的正视结构示意图；图3是本技术一种机械手的俯视结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。如图1、2、3所示，本技术一种机械手，包括垂直运动部分、回转运动部分与直角支座1，所述垂直运动部分包括磁偶式无杆气缸14、拖板联接板2、直角支板4、上横联板5与下横联扳3 ;所述上横联板5与下横联板3的一端水平固定于竖直拖板联接板2的上下端，形成上下两个直角，直角支板4固定于直角位置，拖板联接板2上还固定有磁偶式无杆气缸14 ;所述回转运动部分包括三相交流低速同步电机16、同步带轮7、同步带13、涨紧轮座11、传感器安装板10、传感器转盘8、挡光片9、主轴6、轴承座12、轴承15与传感器17 ；所述同步带轮7的周围一圈固定有同步带13，且固定于涨紧轮座11上，轴承座12上嵌套有主轴6，主轴6上又固定有同步轮带13，同步带13轮侧连接有三相交流低速同步电机16，轴承15顶端固定有传感器转盘8，轴承15侧竖直固定有传感器安装板10，传感器安装板10上固定有传感器17，传感器17与传感器转盘8之间固定有挡光片9 ;所述回转运动部分通过轴承15与垂直运动部分两端固定；所述回转运动部分与垂直运动部分通过内六角螺钉固定于直角支座I。机械手垂直向下动作，传感器17检测到设定位置，磁偶式无杆气缸14停止动作。随后三相交流低速同步电机16启动带动两根主轴6旋转，到设定的时间后固定在传感器转盘8上的挡光片9转到传感器17检测的位置后三相交流低速同步电机16停止动作，机械手垂直向上动作，传感器17检测到设定位置，磁偶式无杆气缸14停止动作。本技术提供的一种机械手，可直接操作硅片进入腐蚀液中，保证了操作人员的安全，减轻操作员工作强度，提高成品率，提高了生产效率，还可以确保产品的腐蚀效果。以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种机械手，包括垂直运动部分、回转运动部分与直角支座，其特征在于:所述垂直运动部分包括磁偶式无杆气缸、拖板联接板、直角支板、上横联板与下横联板； 所述上横联板与下横联板的一端水平固定于竖直拖板联接板的上下端，形成上下两个直角，直角支板固定于直角位置，拖板联接板上还固定有磁偶式无杆气缸； 所述回转运动部分包括三相交流低速同步电机、同步带轮、同步带、涨紧轮座、传感器安装板、传感器转盘、挡光片、主轴、轴承座、轴承与传感器； 所述同步带轮的周围一圈固定有同步带，且固定于涨紧轮座上，轴承座上嵌套有主轴，主轴上又固定有同步轮带，同步带轮侧连接有三相交流低速同步电机，轴承顶端固定有传感器转盘，轴承侧竖直固定有传感器安装板，传感器安装板上固定有传感器，传感器与传感器转盘之间固定有挡光片。所述回转运动部分通过轴承与垂直运动部分两端固定； 所述回转运动部分与垂直运动部分固定于直角支座。2.根据权利要求1所述的一种机械手，其特征在于:所述轴承包括向心球轴承与止推滚珠轴承。3.根据权利要求1所述的一种机械手，其特征在于:所述回转运动部分与垂直运动部分通过内六角螺钉固定于直角支座。4.根据权利要求1所述的一种机械手,其特征在于:所述主轴的数量为2个。专利摘要本技术提供了一种机械手，包括垂直运动部分、回转运动部分与直角支座，所述垂直运动部分包括磁偶式无杆气缸、拖板联接板、直角支板、上横联板与下横联扳；所述回转运动部分包括三相交流低速同步电机、同步带轮、同步带、涨紧轮座、传感器安装板、传感器转盘、挡光片、主轴、轴承座、轴承与传感器；所述回转运动部分通过轴承与垂直运动部分两端固定；所述回转运动部分与垂直运动部分固定于直角支座。本技术提供的一种机械手，可直接操作硅片进入腐蚀液中，保证了操作人员的安全，减轻操作员工作强度，提高成品率，提高了生产效率，还可以确保产品的腐蚀效果。文档编号C23F1/08GK202936517SQ20122029047公开日2013年5月15日 申请日期2012年6月19日 优先权日2012年6月19日专利技术者储瑞清 申请人:无锡市瑞达电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机械手，包括垂直运动部分、回转运动部分与直角支座，其特征在于：所述垂直运动部分包括磁偶式无杆气缸、拖板联接板、直角支板、上横联板与下横联板；所述上横联板与下横联板的一端水平固定于竖直拖板联接板的上下端，形成上下两个直角，直角支板固定于直角位置，拖板联接板上还固定有磁偶式无杆气缸；所述回转运动部分包括三相交流低速同步电机、同步带轮、同步带、涨紧轮座、传感器安装板、传感器转盘、挡光片、主轴、轴承座、轴承与传感器；所述同步带轮的周围一圈固定有同步带，且固定于涨紧轮座上，轴承座上嵌套有主轴，主轴上又固定有同步轮带，同步带轮侧连接有三相交流低速同步电机，轴承顶端固定有传感器转盘，轴承侧竖直固定有传感器安装板，传感器安装板上固定有传感器，传感器与传感器转盘之间固定有挡光片。所述回转运动部分通过轴承与垂直运动部分两端固定；所述回转运动部分与垂直运动部分固定于直角支座。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：储瑞清，
申请(专利权)人：无锡市瑞达电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32