一种开沟槽腐蚀机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种开沟槽腐蚀机，包括机体、循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽、快排槽、凸轮抖动机构、机械手、储酸槽、配管系统与工作平台，机体为长方体，机体中部固定有工作平台；循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽与快排槽固定在工作平台上；凸轮抖动机构固定于机体上半部分；机械手连接凸轮抖动机构；配管系统固定在机体底部；储酸槽为一单独机箱通过配管系统与机体连接。本实用新型专利技术提供的一种开沟槽腐蚀机，添加一套制冷系统，腐蚀效果好，提高了成品率，利用机械手对硅片在液面下自动上下抖动，硅片腐蚀均匀，且减轻了操作者的劳动强度，减少了有毒气体对人的侵蚀，同时大大提高了工作效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及腐蚀机，尤其涉及一种开沟槽腐蚀机。
技术介绍
现有的腐蚀槽制冷是用冰块或水制冷的，冷却时间长，温度不匀，效果不佳且费时费力；硅片从腐蚀槽到快排槽是手动搬运，抖动硅片也是手动的，费时费力，效果不好；储酸槽液位由接近开关控制，接近开关经常被腐蚀，容易坏。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供了一种开沟槽腐蚀机，添加一套制冷系统，腐蚀效果好，提高了成品率。为了解决上述技术问题，本技术提供了如下的技术方案:本技术一种开沟槽腐蚀机，包括机体、循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽、快排槽、凸轮抖动机构、机械手、储酸槽、配管系统与工作平台，所述机体为长方体，机体中部固定有工作平台；所述循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽与快排槽固定在工作平台上；所述循环冷却腐蚀槽固定于工作平台的前端，盘管冷却腐蚀槽固定于工作平台的中部，常温腐蚀槽固定于工作平台的末端，快排槽固定于工作平台的底端；所述凸轮抖动机构固定于机体上半部分；所述机械手连接凸轮抖动机构；所述配管系统固定在机体底部；所述储酸槽为一单独机箱通过配管系统与机体连接。进一步地，所述快排槽的数量为3个。进一步地，所述循环冷却腐蚀槽与盘管冷却腐蚀槽的材料为PVDF。进一步地，所述常温腐蚀槽的材料为PVC。进一步地，所述快排槽的材料为NPP。本技术提供的一种开沟槽腐蚀机，添加一套制冷系统，腐蚀效果好，提高了成品率，利用机械手对硅片在液面下自动上下抖动，将硅片从腐蚀槽由机械手自动搬送到快排槽，硅片腐蚀均匀，且减轻了操作者的劳动强度，减少了有毒气体对人的侵蚀，同时大大提高了工作效率。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中:图1是本技术一种开沟槽腐蚀机的结构示意图；图2是本技术一种开沟槽腐蚀机的正视结构示意图；图3是本技术一种开沟槽腐蚀机的后视结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。如图1、2、3所示，本技术一种开沟槽腐蚀机，包括机体1、循环冷却腐蚀槽2、盘管冷却腐蚀槽3、常温腐蚀槽4、快排槽5、凸轮抖动机构6、机械手7、储酸槽8、配管系统9与工作平台10，所述机体I为长方体，机体I中部固定有工作平台10 ；所述循环冷却腐蚀槽2、盘管冷却腐蚀槽3、常温腐蚀槽4与快排槽5固定在工作平台10上；所述循环冷却腐蚀槽2固定于工作平台10的前端，盘管冷却腐蚀槽3固定于工作平台10的中部，常温腐蚀槽4固定于工作平台10的末端，快排槽5固定于工作平台10的底端；所述凸轮抖动机构6固定于机体I上半部分；所述机械手7连接凸轮抖动机构6 ;所述配管系统9固定在机体I底部；所述储酸槽8为一单独机箱通过配管系统9与机体I连接。本技术提供的一种开沟槽腐蚀机，添加一套制冷系统，腐蚀效果好，提高了成品率，利用机械手对硅片在液面下自动上下抖动，将硅片从腐蚀槽由机械手自动搬送到快排槽，硅片腐蚀均匀，且减轻了操作者的劳动强度，减少了有毒气体对人的侵蚀，同时大大提高了工作效率。以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种开沟槽腐蚀机，包括机体、循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽、快排槽、凸轮抖动机构、机械手、储酸槽、配管系统与工作平台，其特征在于:所述机体为长方体，机体中部固定有工作平台； 所述循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽与快排槽固定在工作平台上； 所述循环冷却腐蚀槽固定于工作平台的前端，盘管冷却腐蚀槽固定于工作平台的中部，常温腐蚀槽固定于工作平台的末端，快排槽固定于工作平台的底端； 所述凸轮抖动机构固定于机体上半部分； 所述机械手连接凸轮抖动机构；所述配管系统固定在机体底部； 所述储酸槽为一单独机箱通过配管系统与机体连接。2.根据权利要求1所述的一种开沟槽腐蚀机,其特征在于:所述快排槽的数量为3个。3.根据权利要求1所述的一种开沟槽腐蚀机，其特征在于:所述循环冷却腐蚀槽与盘管冷却腐蚀槽的材料为PVDF。4.根据权利要求1所述的一种开沟槽腐蚀机,其特征在于:所述常温腐蚀槽的材料为PVC。5.根据权利要求1所述的一种开沟槽腐蚀机，其特征在于:所述快排槽的材料为NPP。专利摘要本技术提供了一种开沟槽腐蚀机，包括机体、循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽、快排槽、凸轮抖动机构、机械手、储酸槽、配管系统与工作平台，机体为长方体，机体中部固定有工作平台；循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽与快排槽固定在工作平台上；凸轮抖动机构固定于机体上半部分；机械手连接凸轮抖动机构；配管系统固定在机体底部；储酸槽为一单独机箱通过配管系统与机体连接。本技术提供的一种开沟槽腐蚀机，添加一套制冷系统，腐蚀效果好，提高了成品率，利用机械手对硅片在液面下自动上下抖动，硅片腐蚀均匀，且减轻了操作者的劳动强度，减少了有毒气体对人的侵蚀，同时大大提高了工作效率。文档编号C30B33/10GK202936518SQ20122029048公开日2013年5月15日 申请日期2012年6月19日 优先权日2012年6月19日专利技术者储瑞清 申请人:无锡市瑞达电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种开沟槽腐蚀机，包括机体、循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽、快排槽、凸轮抖动机构、机械手、储酸槽、配管系统与工作平台，其特征在于：所述机体为长方体，机体中部固定有工作平台；所述循环冷却腐蚀槽、盘管冷却腐蚀槽、常温腐蚀槽与快排槽固定在工作平台上；所述循环冷却腐蚀槽固定于工作平台的前端，盘管冷却腐蚀槽固定于工作平台的中部，常温腐蚀槽固定于工作平台的末端，快排槽固定于工作平台的底端；所述凸轮抖动机构固定于机体上半部分；所述机械手连接凸轮抖动机构；所述配管系统固定在机体底部；所述储酸槽为一单独机箱通过配管系统与机体连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：储瑞清，
申请(专利权)人：无锡市瑞达电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32