MEMS传声器制造技术

技术编号:8701359 阅读:146 留言:0更新日期:2013-05-13 04:32
本实用新型专利技术涉及MEMS传声器,该传声器包括基板、安装在基板的顶面上的传感元件、覆盖传感元件且与基板的顶面形成密封的覆盖层、覆盖基板、传感元件和覆盖层的成形的覆盖材料、以及延伸穿过覆盖材料和覆盖层的声音开口。而且,本实用新型专利技术公开了一种用于制造根据本实用新型专利技术的传声器的方法和一种用于制造多个传声器的方法。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种传声器,包括:基板,安装在基板的顶面上的传感元件,覆盖传感元件且与基板的顶面形成密封的覆盖层,覆盖基板、传感元件和覆盖层的成形的覆盖物,以及延伸穿过该成形的覆盖物和覆盖层的声音开口。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:W帕尔A莱德尔
申请(专利权)人:埃普科斯股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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