一种电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体制造技术

本实用新型专利技术涉及一种电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体，其包括箱体、设置在箱体内的射频电极、设置在箱体内的与射频电极平行的接地电极以及设置在接地电极下方的接地电极驱动调节装置。本实用新型专利技术为模块化结构，可以方便的搭建单腔体或多腔体PECVD系统，通过调节装置实现了电极间距可调，可以获得最佳电极间距，以获得最佳膜层质量与生长速率，扩大了设备应用范围，满足不同膜层对电极间距的要求。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体。
技术介绍
采用等离子体增强化学气相沉积系统制备硅基薄膜器件由于具有基底温度低、生长速度快、薄膜均匀性好等特点倍受青睐。随着产业化进程的发展，模块化的PECVD等离子反应内腔体将是一种发展趋势，基于这种模块化的反应内腔体可以方便的搭建单腔体或多腔体PECVD系统。大面积平行板式PECVD具有设备结构简单，可制备大面积薄膜而广泛应用于太阳能领域。目前在现有设备上多采用固定电极的PECVD反应内腔体，当PECVD电极固定后，无法根据膜层要求获得最佳极间距；同时，生长不同的薄膜往往需要不同的电极间距，可调节电极间距的PECVD系统为膜层的优化与扩大设备的应用范围提供了空间。综上，电极间距可调节的模块化大面积平行板式PECVD反应内腔体将成光伏领域的核心设备。它将为客户自由搭建PECVD系统提供空间。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种调节简单、使用方便的电极间距可调节的模块化PECVD反应内腔体。本技术采用如下技术方案:本技术包括箱体、设置在箱体内的射频电极、设置在箱体内的与射频电极平行的接地电极以及设置在接地电极下方的接地电极驱动调节装置。本技术所述的驱动调节装置包括设置在接地电极下方的调节螺栓以及设置在箱体上的与调节螺栓相配合的调节螺母。本技术所述的驱动调节装置由设置在接地电极下方的支撑棒以及与支撑棒相连接的设置在箱体外的驱动装置构成。本技术所述的箱体上设置有纵向排列的导轨。本技术所述的箱体上设置有抽气孔。本技术所述的接地电极穿置有顶杆，所述顶杆下方设置有顶板，顶板下方设置有穿置在箱体中的与外部驱动装置连接的顶块。本技术的有益效果为:本技术为模块化结构，可以方便的搭建单腔体或多腔体PECVD系统，通过调节装置实现了电极间距可调，可以获得最佳电极间距，以获得最佳膜层质量与生长速率，扩大了设备应用范围，满足不同膜层对电极间距的要求。附图说明图1为本技术调节装置为手动调节结构示意图。图2为本技术调节装置为自动调节结构示意图。图3为本技术箱体结构示意图。在附图中，I箱体，2射频电极，3接地电极，4驱动装置，5支撑棒，6工件，7调节螺栓，8调节螺母，9导轨，10抽气孔，11工件传输口，12顶杆，13顶板，14顶块。具体实施方式如附图1、2所示，本技术包括箱体1、设置在箱体I内的射频电极2、设置在箱体I内的与射频电极2平行的接地电极3以及设置在接地电极3下方的接地电极驱动调节>j-U ρ α装直。如附图1所示，本技术所述的驱动调节装置为手动调节，其包括设置在接地电极3下方的调节螺栓7以及设置在箱体I上的与调节螺栓7相配合的调节螺母8。如附图2所示，本技术所述的驱动调节装置为自动调节，其由设置在接地电极3下方的支撑棒5以及与支撑棒5相连接的设置在箱体I外的驱动装置4构成。如附图1、2、3所示，本技术所述的箱体I上设置有纵向排列的导轨9。如附图1、2、3所示，本技术所述的箱体I上设置有抽气孔10。如附图1、2所示，本技术所述的接地电极3穿置有顶杆12，所述顶杆下方设置有顶板13，顶板13下方设置有穿置在箱体I中的与外部驱动装置连接的顶块14。本技术通过导轨I套装在外腔体中，内外腔体分别配有独立的真空控制系统，内腔体通过抽气孔10与其对应`的真空控制系统连接；射频电极2通过接入点与外部的射频发生器、射频匹配器连接；反应气体的引入可以从带有气体均匀分布功能的射频电极2引入；用于顶杆12控制的顶块14与外部驱动装置连接，以辅助实现工件的自动传输。当本技术驱动调节装置为自动调节时，用于电极间距调节的驱动装置4通过支撑棒5与内腔体连接，支撑棒5与箱体I螺纹连接，驱动装置4带动支撑棒5转动实现其电极间距调节作用。通过工件传输口 11把工件6放在接地电极3上，工件6为玻璃或硅片等基底，工件6放置好后，封闭工件传输口 11，内腔体已形成单独的密闭空间。先对外腔体与本技术之间的间隙抽真空，再通过抽气孔10对箱体I抽真空,使内外腔体间隙的真空度高于内腔体内的真空度，这样即使在内腔体密闭性较差的条件下大气环境中的气体也无法直接污染到内腔体，保证了反应所需要的真空环境。通过驱动调节装置调节射频电极2和接地电极3之间的间距，调节范围为IOmm至200mm。调好间距后，根据工艺要求通入相应的反应气体，如硅烷、磷烷、三甲基硼烷等。在射频电极2接入射频频率范围在300Khz至30GHZ，反应气体在射频电场激励作用下发生等离子体化学反应，在工件6表面形成所需要的薄膜。反应结束后，推动顶块14，通过顶板13和顶杆12将工件6顶出接地电极3表面,打开工件传输口 11，即可将工件取走。本技术为模块化结构，可以方便的搭建单腔体或多腔体PECVD系统，通过驱动调节装置实现了电极间距可调，可以获得最佳极间距，以获得最佳膜层质量与生长速率，扩大了设备应用范围，满足不同膜层对电极间距的要求。当本技术驱动调节装置为手动调节时，适合于工艺较稳定不需要频繁调节电极间距的膜层制备。当工艺变更需要调节电极间距时，通过调节螺栓7，获得工艺需求的电极间距即可满足一段时期的生产需求，为扩展设备的应用范围提供了空间。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种模块化PECVD反应内腔体，其特征在于其包括箱体（1）、设置在箱体（1）内的射频电极（2）、设置在箱体（1）内的与射频电极（2）平行的接地电极（3）以及设置在接地电极（3）下方的接地电极驱动调节装置。

【技术特征摘要】
1.种模块化PECVD反应内腔体，其特征在于其包括箱体(I )、设置在箱体(I)内的射频电极(2)、设置在箱体(I)内的与射频电极(2)平行的接地电极(3)以及设置在接地电极(3)下方的接地电极驱动调节装置。2.据权利要求1所述的一种模块化PECVD反应内腔体，其特征在于所述的驱动调节装置包括设置在接地电极(3)下方的调节螺栓(7)以及设置在箱体(I)上的与调节螺栓(7)相配合的调节螺母(8)。3.据权利要求1所述的一种模块化PECVD反应内腔体，其特征在于所述的驱动调节装置由设置在接地电极(3)下方的支...

【专利技术属性】
技术研发人员：关峰，黄跃龙，马云祥，孙晓东，高锦成，王志强，王颖，李爽，延小鹏，
申请(专利权)人：保定天威薄膜光伏有限公司，
类型：实用新型
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