移动体装置、物体处理装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、及元件制造方法制造方法及图纸

通过基板支承构件(60)在Y步进定盘(20)上于扫描方向以既定行程移动，保持于该基板支承构件(60)的基板(P)即以被空气悬浮装置(59)从下方支承的状态于扫描方向以既定行程移动。又，由于具有空气悬浮装置(59)的Y步进导件(50)与基板支承构件(60)一起移动于交叉扫描方向，因此能使基板(P)往扫描方向及／或交叉扫描方向任意移动。此时，由于Y步进定盘(20)也与基板支承构件(60)及Y步进导件(50)一起移动于交叉扫描方向，因此基板支承构件(60)随时支承于Y步进定盘(20)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于一种，更具体地讲，是关于使物体沿既定二维平面移动的移动体装置、对保持于该移动体装置的物体进行既定处理的物体处理装置、在保持在该移动体装置的物体形成既定图案的曝光装置、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法、以及使用前述曝光装置的元件制造方法。
技术介绍
以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的微影工艺中，主要使用例如步进重复方式的投影曝光装置(所谓的步进机)、或步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进机(亦称扫描机))等。此种曝光装置，曝光对象的物体(玻璃板或晶圆(以下总称为“基板”))放置于基板载台装置上。然后，电路图案在光罩(或标线片)形成，通过投影透镜等光学系统的曝光，用光的照射转印至基板(参照例如专利文献I)。近年来，曝光装置的曝光对象物即基板、特别是液晶显示元件用的矩形玻璃板的尺寸，例如一边三公尺以上等，有大型化的倾向，这样就使曝光装置的载台装置也大型化，其重量也亦增大。因此，被期望开发出一种载台装置，是能将曝光对象物(基板)高速且高精度地导引，进而可谋求小型化、轻量化。先行技术文献[专利文献][专利文献I]美国专利技术专利申请公开第2010/ 0018950号。
技术实现思路
根据本专利技术的第I个特征，提供一种移动体装置，其包括:第I移动体，保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的物体的端部，在至少所述二维平面内的第I方向以既定行程移动；第2移动体，包含在所述第I移动体的在所述第I方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，能与所述第I移动体一起移动在所述二维平面内与前述第I方向正交的第2方向；以及第3移动体，与所述物体支承构件在至少所述第I方向通过振动分离，在所述第I移动体的在前述第I方向的可移动范围内从下方支承所述第I移动体，能与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。藉此，通过第I移动体在第3移动体上在第I方向以既定行程移动，保持在该第I移动体的物体，则在被物体支承构件从下方支承的状态下在第I方向以既定行程移动。又，具有物体支承构件的第2移动体由于与第I移动体一起移动在第2方向，因此能将物体往第I方向及/或第2方向任意移动。此时，由于第3移动体也与第I及第2移动体一起移动于第2方向，因此第I移动体随时被第3移动体支承。又，由于物体在其可移动范围内随时被物体支承构件从下方支承，因此可抑制因自重导致的弯曲。因此，与将物体载置于具有与该物体相同程度面积的保持构件上并驱动该保持构件的情形相比较，能使装置更轻量化、小型化。又，由于第2移动体与第3移动体在至少第I方向在振动上分离，因此能抑制例如第I移动体移动于第I方向时产生的第I方向的振动、反作用力等在第2及第3移动体相互间传达。根据本专利技术的第2特征，提供一种物体处理装置，其包括:本专利技术的移动体装置；以及执行装置，为了进行与上述物体相关的既定处理，从与所述保持装置相反的侧对所述物体中保持在所述保持装置的部分执行既定动作。根据本专利技术的第3特征，提供一种第I曝光装置，其包括:本专利技术的移动体装置；以及通过能量光束使上述物体曝光据以将既定图案形成在所述物体上的图案形成装置。根据本专利技术的第4特征，提供一种平板显示器的制造方法，其包括:使用所述第I曝光装置使作为所述物体而用于平板显示器装置的基板曝光的动作；以及使曝光后的所述基板显影的动作。根据本专利技术的第5特征，提供一种元件制造方法，其包括:使用所述第I曝光装置使所述物体曝光的动作；以及使曝光后的前述物体显影的动作。根据本专利技术的第6特征，提供一种第2曝光装置，通过能量束使物体曝光并且将既定图案形成于所述物体上，其包括:第I移动体，可保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的所述物体的端部，在至少上述二维平面内的第I方向以既定行程移动;第2移动体，包含在所述第I移动体的在所述第I方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，能与所述第I移动体一起移动在所述二维平面内与所述第I方向正交的第2方向；第3移动体，与所述物体支承构件在至少所述第I方向于振动分离，在所述第I移动体的在所述第I方向的可移动范围内从下方支承所述第I移动体，能与所述第2移动体一起移动在所述第2方向；以及曝光系统，通过所述能量光束使所述物体曝光。根据本专利技术的第7特征，提供一种平板显示器的制造方法，其包括:使用所述第2曝光装置使作为所述物体而用于平板显示器装置的基板曝光的动作；以及使曝光后的前述基板显影的动作。根据本专利技术的第8特征，提供一种元件制造方法，其包括:使用所述曝光装置使所述第2物体曝光的动作；以及使曝光后的所述物体显影的动作。附图说明图1是第I实施形态的液晶曝光装置的概略构成图。图2是图1的液晶曝光装置所具有的基板载台装置的俯视图。图3是图2的基板载台装置所具有的Y步进定盘的俯视图。图4是图3的B — B线剖面图。图5是图2的基板载台装置所具有的底座定盘及Y步进导件的俯视图。图6是图5的C —C线剖面图。图1 (A)是图2的基板载台装置所具有的基板支承构件的俯视图，图7⑶是图7(A)的D — D线剖面图。图8是图2的基板载台装置所具有的定点载台的剖面图。图9㈧及图9(B)是用以说明曝光处理时的基板载台装置的动作的图(其I及其2)。图10㈧及图10⑶是用以说明曝光处理时的基板载台装置的动作的图(其3及其4)。图11是第2实施形态的基板载台装置的俯视图。图12是图11的E — E线剖面图。图13是第3实施形态的基板载台装置的俯视图。图14是图13的F —F线剖面图。图15是第4实施形态的基板载台装置的俯视图。图16是图14的G — G线剖面图。图17是第5实施形态的基板载台装置的俯视图。图18是图17的H — H线剖面图。图19(A)及图19⑶是显示基板支承构件的变形例(其I及2)的图。具体实施例方式《第I实施例》以下，根据图1 图10⑶说明本专利技术的第I实施例。图1是第I实施形态的液晶曝光装置10的构成的概略显示图。液晶曝光装置10是用于液晶显示装置(平板显示器)的矩形玻璃基板P(以下单称为基板P)为曝光对象物的步进扫描方式的投影曝光装置、亦即所谓扫描机。液晶曝光装置10如图1所示，具备照明系统Ι0Ρ、保持光罩M的光罩载台MST、投影光学系统PU支承上述光罩载台MST及投影光学系统PL等的装置本体30、保持基板P的基板载台装置PST、以及此等的控制系统等。以下的说明中，将在曝光时光罩M与基板P相对投影光学系统PL分别相对扫描的方向设为X轴方向、将在水平面内与X轴方向正交的方向设为Y轴方向、将与X轴及Y轴正交的方向设为Z轴方向，且将绕X轴、Y轴、及Z轴的旋转(倾斜)方向分别设为θχ、0y、及ΘΖ方向。又，将在X轴、Y轴、以及Z轴方向的位置分别作为X位置、Y位置、以及Z位置来说明。照明系统Ι0Ρ，与美国专利技术专利第6，552，775号说明书等所揭示的照明系统为相同构成。亦即，照明系统IOP是将从未图示的光源(例如水银灯)射出的光分别经过未图示的反射镜、分色镜、快门、波长选择过滤器、各种透镜等，作为曝光用照明光(照明光)IL照射于光罩Μ。照明光IL是使用例如i线(波长365nm)、g线(波长436nm)、h线(波长405nm)等的光(或者上述i线、g线、h线的合成光)。又，照明光IL的波长，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.09.07 US 61/380,433;2011.09.01 US 13/223,9701.一种移动体装置，其具备: 第I移动体，其保持沿与水平面平行的既定二维平面配置的物体的端部，并且于至少所述二维平面内的第I方向以既定行程移动； 第2移动体，其包含在所述第I移动体的在所述第I方向的可移动范围内从下方支承所述物体的物体支承构件，并且能与所述第I移动体一起移动于在所述二维平面内与所述第I方向正交的第2方向；以及 第3移动体，其与所述物体支承构件在至少所述第I方向于振动上分离，并且在所述第I移动体的在所述第I方向的可移动范围内从下方支承所述第I移动体，能与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。2.按权利要求1所述的移动体装置，其中，所述第2移动体在第I底座构件上移动于所第2方向；以及 所述第3移动体在与所述第I底座构件振动上分离的第2底座构件上在所述第2方向上移动。3.按权利要求1或2所述的移动体装置，其中，所述第I移动体以非接触方式支承于所述第3移动体上。4.按权利要求1至3中任一项所述的移动体装置，其进一步具备能在所述第2移动体上移动于所述第I方向的第4移动体；以及 所述第I移动体通过被所述第4移动体诱导而移动于所述第I方向。5.按权利要求4所述的移动体装置，其中，在所述第4移动体被驱动于所述第I方向时，所述第I移动体是 通过包含设于所述第4移动体的固定子与设于所述第I移动体的可动子的第I线性马达而与所述第4移动体同步被驱动。6.按权利要求4或5所述的移动体装置，其中，在所述第4移动体被驱动于所述第I方向时，所述第I移动体是通过包含设于所述第4移动体的固定子与设于所述第I移动体的可动子的第2线性马达而被微幅驱动于所述第2方向及绕与所述二维平面正交的轴的方向的至少一方。7.按权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其中，所述第2移动体通过驱动装置驱动于所述第2方向； 所述第2移动体与所述第3移动体通过连结装置连结；以及 所述第3移动体通过所述连结装置被所述第2移动体牵引而与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。8.按权利要求7所述的移动体装置，其中，所述连结装置的六个自由度方向中，除了所述第2方向以外的五个自由度方向的刚性较所述第2方向的刚性低。9.按权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其中，所述第2移动体被驱动装置驱动于所述第2方向；以及 所述第3移动体通过与所述驱动装置驱动的所述第2移动体接触并按压而与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。10.按权利要求9所述的移动体装置，其中，在使所述第3移动体在所述第2方向上移动至既定位置后，所述第2移动体被所述驱动装置驱动于与所述第3移动体分离的方向。11.按权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其进一步具备从第2及第3移动体的一方往另一方喷出气体的气体静压轴承； 其中所述第2移动体被驱动装置驱动于所述第2方向；以及 所述第3移动体通过被所述驱动装置驱动的所述第2移动体透过所述气体以非接触方式按压而与所述第2移动体一起移动于所述第2方向。12.按权利要求1至6中任一项所述的移动体装置，其中，所述第2移动体被第I驱动装置驱动于所述第2方向；以及 所述第3移动体通过与所述第I驱动装置独立控制的第2驱动装置而与所述第2移动体同步驱动于所述第2方向。13.按权利要求12所述的移动体装置，其中，所述第I驱动装置与所述第2驱动装置使用共通的固定子。14.按权利要求1至13中任一项所述的移动体装置，其中，所述物体支承构件以非接触方式支承前述物体。15.按权利要求14所述的移动体装置，其中，所述物体支承构件通过往所述物体的下面喷出加压气体而以非接触方式支承该物体。16.按权利要求1至15中任一项所述的移动体装置，其进一步具备干涉仪系统，所述干涉仪系统通过对所述第I移动体所具有的反射面照射测距光束且接收其反射光，以根据其反射光求出所述第I移动体的位置信息； 其中根据所述干涉仪系统的输出而控制所述第I移动体在所述二维平面内的位置。17.按权利要求1至16中任一项所述的移动体装置，其进一步具备调整装置，所述调整装置包含具有较所述物体面积小的保持面的保持装置，使用所述保持装置从所述物体下方保持所述物体之中与所述保持面对向的部分以调整与所述二维平面交叉的方向的位置。18.按权利要求17所述的移动体装置，其中，所述保持装置以非接触方式保持所述物体。19.按权利要求18所述的移动体装置，其中，所述调整装置从所述保持装置对所述物体喷出加压气体且通过吸引所述保持装置与所述物体之间的气体，对所述物体施加重力方向的负荷而以非接触方式保持所述物体。20.按权利要求17至19中任一项所述的移动体装置，其中，所述调整装置在所述二维平面的位置是固定。21.按权利要求20所述的移动体装置，其中，所述调整装置搭载于与所述第2移动体振动上分离的构件上。22.按权利要求21所述的移动体装置，其中，所述第I移动体将所述物体保持成能移动于与所述既定二维平面交叉的方向。23.按权利要求20至22任一项所述的移动体装置，其中，所述物体支承构件在所述第I方向于所述调整装置的一侧及另一侧支承所述物体。24.按权利要求17至23中任一项所述的移动体装置，其中，所述调整装置进一步具有用以抵销所述保持装置的重量的重量抵销装置。25.一种物体处理装置，其具备: 如权利要求17至24任一项所述的移动体装置；以及 执行装置，其为了进行与所述物体上的既定处理，从与所述保持装置相反的侧对通过所述物体的所述保持装置保持的部分执行既定动作。26.按权利要求25所述的物体处理装置，其中，所述执行装置是使用能量光束将既定图案形成于所述物体的装置。27.一种曝光装置，其具备: 如权利要求1至24中任一项的移动体装置；以及 通过能量光束使所述物体曝光据以将既定图案形成于所述物体上的图案形成装置。28.按权利要求27所述的曝光装置，其中，所述物体是用于平板显...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：
国别省市：