一种化学品泄漏自动检测回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及化学品异常泄漏的处理设备，具体地说是一种化学品泄漏自动检测回收装置，包括漏液收集盒、漏液中转TANK、电动阀、化学品回收TANK及PUMP，其中漏液收集盒下部设有漏斗，该漏头的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中转TANK中；所述PUMP的进口通过进液管路与漏液中转TANK相连通，PUMP的出口通过排液管路与化学品回收TANK相连通；在漏液中转TANK及化学品回收TANK的内部分别安装有中转TANK传感器及回收TANK液位传感器，所述PUMP与中转TANK传感器电连接。本发明专利技术利用PUMP与电动阀及中转TANK传感器的配合，实现了对意外泄漏的化学品进行自动回收，防止对操作人员造成人身伤害。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学品异常泄漏的处理设备，具体地说是一种化学品泄漏自动检测回收装置，应用于半导体制程中危险化学品异常泄漏的检测回收。
技术介绍
在半导体制程中，偶而会发生化学品的意外泄漏，需要及时安全地处理。尤其是刻蚀工艺，会涉及到很多强酸化学品，一旦泄漏，危害很大。传统的化学品泄漏检测无法解决已泄漏出的化学品，就需要操作人员直接面对高浓度的酸，操作非常不方便也不安全；而且，腐蚀性的化学品对人身损害较大，工作环境安全性差。
技术实现思路
为了解决传统化学品泄漏需要人工进行处理而存在的上述问题，本专利技术的目的在于提供一种化学品泄漏自动检测回收装置。该自动检测回收装置可实现对异常泄漏的化学品进行回收，保证操作人员的人身安全。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的:本专利技术包括漏液收集盒、漏液中转TANK、化学品回收TANK及PUMP，其中漏液收集盒下部设有漏斗，该漏头的下端插入位于漏液收集盒下方的漏液中转TANK中；所述PUMP的进口通过进液管路与漏液中转TANK相连通，PUMP的出口通过排液管路与化学品回收TANK相连通；在漏液中转TANK及化学品回收TANK的内部分别安装有中转TANK传感器及回收TANK液位传感器，所述PUMP与中转TANK传感器电连接。其中:所述PUMP与漏液中转TANK之间的进液管路中设有电动阀，该电动阀与所述中转TANK传感器电连接；所述漏斗在竖直方向的截面为倒置的“八”字形，两斜边的夹角为钝角，其中任一条斜边的下部为与漏液中转TANK内壁平行的直边；所述中转TANK传感器具有用于报警漏液中转TANK中回收的化学品6已满的上限位传感器，以及用于检测到回收的化学品6的下限位传感器；所述回收TANK液位传感器具有用于报警化学品回收TANK中回收的化学品已满的上限位传感器。本专利技术的优点与积极效果为:1.本专利技术利用PUMP与电动阀及中转TANK传感器的配合，实现了对意外泄漏的化学品进行自动回收，防止对操作人员造成人身伤害。2.本专利技术的漏斗底部的斜边设计，可防止回收的化学品液体飞溅。3.本专利技术的中转TANK传感器设有上限位传感器及下限位传感器，其中下限位传感器可以检测到漏液中转TANK中是否有回收的化学品，而上限位传感器可以在漏液中转TANK中化学品已满时报警，安全性高。4.本专利技术的回收TANK液位传感器设有上限位传感器,可在化学品回收TANK中回收的化学品已满时进行报警。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；其中:1为漏液上集盒，2为漏斗，3为漏液中转TANK(罐)，4为中转TANK传感器，5为电动阀，6为回收的化学品，7为排液管路，8为化学品回收TANK，9为回收TANK液位传感器，10为PUMP (泵)，11为进液管路。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图1所示，本专利技术包括漏液收集盒1、漏液中转TANK3、电动阀5、中转TANK传感器4、电动阀5、化学品回收TANK8、回收TANK液位传感器9及PUMP10，其中漏液收集盒I位于漏液中转TANK3的上方、用于暂存意外泄漏的化学品，在漏液收集盒I的下表面设有漏斗2，该漏斗2在竖直方向的截面为倒置的“八”字形，两斜边的夹角为钝角，其中任一条斜边的下部为与漏液中转TANK3内壁平行的直边；漏斗2的下端插入漏液中转TANK3中，即图1中漏斗2左侧斜边下部为直边、紧贴在漏液中转TANK3左侧的内壁，既便于漏斗2与漏液中转TANK3定位，而且漏斗斜边的设计还能够防止化学品飞溅，避免对溅到操作人员的身体上造成伤害。PUMPlO位于漏液中转TANK3与化学品回收TANK8之间，PUMPlO的进口通过进液管路11与漏液中转TANK3相连通，PUMPlO的出口通过排液管路与化学品回收TANK8相连通；进液管路11的一端连接于PUMPlO的进口、负责进液，另一端插设在漏液中转TANK3底部的出口，可以将漏液中转TANK3中回收的化学品6全部回收，无残留；排液管路7的一端连接于PUMPlO的出口，另一端伸至化学品回收TANK8的底部，以避免回收的化学品6由上流下引起飞溅。在漏液中转TANK3及化学品回收TANK8的内部分别安装有中转TANK传感器4及回收TANK液位传感器9，PUMPlO与中转TANK传感器4电连接；在PUMPlO与漏液中转TANK3之间的进液管路11中设有电动阀5，该电动阀5位于漏液中转TANK3的出口处、与中转TANK传感器4电连接。所述中转TANK传感器4具有上限位传感器及下限位传感器，其中上限位传感器用于在漏液中转TANK3中回收的化学品6已满时报警，下限位传感器用于检测到回收的化学品6。所述回收TANK液位传感器9具有上限位传感器，用于化学品回收TANK8中回收的化学品6已满时报警。本专利技术的中转TANK传感器4为市购产品，购置于东莞事兴电子有限公司，型号为ZC-PP40I ；电动阀5为市购产品，购置于CKD公司，型号为AMDZ1-4U58BUS-2-FL-440978 ；PUMPlO为市购产品，购置于美国WILDEN公司，型号为p0.25 ;回收TANK液位传感器9为市购产品，购置于东莞事兴电子有限公司，型号为ZC-PP100I。本专利技术的工作原理为:工作时，漏液收集盒I用来暂存意外泄漏的化学品，液体的化学品经过漏斗2收集到漏液中转TANK3中，漏斗2的斜坡设计防止化学品飞溅。漏液中转TANK3中设置了中转TANK传感器4，当中转TANK传感器4的下限位传感器检测到回收的化学品6时，便发出信号驱动PUMP10、同时打开电动阀5，开始通过PUMPlO从漏液中转TANK3中经进液管路11泵出化学品，直至中转TANK传感器4的下限位传感器检测到无化学品，PUMPlO停止工作、关掉电动阀5，化学品经过排液管路7最终收集到化学品回收TANK8中，化学品回收TANK8中设置了回收TANK液位传感器9，回收TANK液位传感器9的上限位传感器起到警报作用，通知操作人员化学品回收TANK8已满。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学品泄漏自动检测回收装置，其特征在于：包括漏液收集盒(1)、漏液中转TANK(3)、化学品回收TANK(8)及PUMP(10)，其中漏液收集盒(1)下部设有漏斗(2)，该漏头(2)的下端插入位于漏液收集盒(1)下方的漏液中转TANK(3)中；所述PUMP(10)的进口通过进液管路(11)与漏液中转TANK(3)相连通，PUMP(10)的出口通过排液管路与化学品回收TANK(8)相连通；在漏液中转TANK(3)及化学品回收TANK(8)的内部分别安装有中转TANK传感器(4)及回收TANK液位传感器(9)，所述PUMP(10)与中转TANK传感器(4)电连接。

【技术特征摘要】
1.一种化学品泄漏自动检测回收装置，其特征在于:包括漏液收集盒(I)、漏液中转TANK (3)、化学品回收TANK (8)及PUMP (10)，其中漏液收集盒(I)下部设有漏斗(2)，该漏头(2)的下端插入位于漏液收集盒⑴下方的漏液中转TANK(3)中；所述PUMP(IO)的进口通过进液管路(11)与漏液中转TANK(3)相连通，PUMP(IO)的出口通过排液管路与化学品回收TANK(8)相连通；在漏液中转TANK(3)及化学品回收TANK(8)的内部分别安装有中转TANK传感器⑷及回收TANK液位传感器(9)，所述PUMP (10)与中转TANK传感器(4)电连接。2.按权利要求1所述的化学品泄漏自动检测回收装置，其特征在于:所述PUMP(IO)与漏液中转TANK ...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙东丰，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：