【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
移动挡板为半导体薄膜制程设备中常见的关键核心零件之一。移动挡板会因为长时间的使用,零件表面会逐渐劣化,时间久了就会影响半导体生产设备稳定度;当此状况产生时,大部份处理的方式都是采取“报废零件、新品采购”的方式。众所皆知的,半导体生产生设备相关的零部件皆为国外进口,国内本身并无制造能力,相对的,相关零部件的采购成本自然就高,又因为是国外进口所以采购时程又长,当需要大量采购时,庞大的金钱与时间的成本,都是沉重的负担。因此,采取何种抛光方法来达到复原移动挡板质量的目的是本领域技术人员致力于解决的难题之一。
技术实现思路
本专利技术的目的,就是针对上述问题而提供,该快速抛光方法能有效地延长移动挡板的使用寿命,降低时间与金钱的成本。本专利技术为达目的所采用的技术方案是:本专利技术的,包括以下步骤:a.采用喷砂方式对移动挡板整体进行喷涂,将移动挡板表面的伤痕先修整均匀;b.使用砂纸对移动挡板表面先做初步修整,使其表面伤痕均匀;c.使用研磨布将移动挡板表面进行二次修整,使其表面伤痕更加均匀;d.重复b、c步骤直到移动挡板表面伤痕消失;e.使用抛光剂,对移动挡板表面进行镜面处理,直到表面亮丽如新为止。本专利技术清洗方法具有以下优点:1.本专利技术方法操作简单,作业人员操作与训练容易,作业中产生异常风险低;2.本专利技术方法过程单纯,不需投资大量生产设备成本即可达成;3.采用本专利技术方法处理后的移动挡板,能有效地达到使用要求,且有效地降低生产设备的当机机率;4.本专利技术方法能有效地延长移动挡板的使用寿命,降低在旧品报废、新品采购上所花费的时间与 ...
【技术保护点】
一种用于移动挡板的快速抛光方法,其特征在于,包括以下步骤:a.采用喷砂方式对移动挡板整体进行喷涂,将移动挡板表面的伤痕先修整均匀;b.使用砂纸对移动挡板表面先做初步修整,使其表面伤痕均匀;c.使用研磨布将移动挡板表面进行二次修整,使其表面伤痕更加均匀;d.重复b、c步骤直到移动挡板表面伤痕消失;e.使用抛光剂,对移动挡板表面进行镜面处理,直到表面亮丽如新为止。
【技术特征摘要】
1.一种用于移动挡板的快速抛光方法,其特征在于,包括以下步骤:a.采用喷砂方式对移动挡板整体进行喷涂,将移动挡板表面的伤痕先修整均匀;b.使用砂纸对移动挡板表面先做初步修整,使其表面...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐国栋,
申请(专利权)人:上海科秉电子科技有限公司,科治新技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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