一种弹性表面波元件以及电子零件。在为了利用包含泄漏弹性表面波的弹性表面波，而在钽酸锂制的压电基板上配置叉指换能器电极的弹性表面波元件中，即便所述弹性表面波元件的频带为2GHz以上的高频带，也将传播损耗抑制得较小。使用包含旋转45°～46°的Y-X板的钽酸锂，作为压电基板（10），并且将叉指换能器电极（2）的膜厚（h）设定为7.5%λ～8%λ，同时针对叉指换能器电极（2）的电极指（6）群，将线占有率（r）设定为0.55～0.65。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种利用了泄漏弹性表面波(Leaky Surface Acoustic Wave, LSAff)的弹性表面波元件、及具备所述弹性表面波元件的电子零件。
技术介绍
Y-X钽酸锂(LiTaO3 :弹性表面波在X轴方向、于钽酸锂基板上传播的基板，该钽酸锂基板是相对于绕着结晶轴的X轴仅以某个角度旋转的Y轴而垂直切断)被用作利用弹性表面波(SAW Surface Acoustic Wave)中的L (泄漏(Leaky)) SAW的弹性表面波元件的代表性压电基板。所述弹性表面波元件是作为共振器等而构成，该共振器包括叉指换能器(Inter Digital Transducer, IDT)电极,例如具备一对汇流条(bus bar)与配置在所述这些汇流条间的电极指群；及反射器，形成在所述IDT电极的弹性表面波的传播方向两侧。在X轴方向上、于所述压电基板中传播的体声波(BAW :Bulk Acoustic Wave)，如图19所示，有着传播速度比较慢的横波(3349m/s)、传播速度比所述横波快的横波(4214m/s)及纵波(5588m/s)。而且，在此种压电基板中，所述较快的横波变成剪切水平(Shear Horizontal, SH)波(变位方向与压电基板的表面平行的横波),并集中于压电基板的表面，且变成所述LSAW。所述LSAW并非完全的SH波，还包含剪切垂直(Shear Vertical,SV)成分。此时，LSAW在所述压电基板中传播时,会产生传播损耗。若对产生此种传播损耗的理由的具体一例进行说明，则如上所述，所述LSAW的传播速度快于SV体声波(较慢的横波)，故而该LSAW中的SV成分与SV体声波耦合，随着传播进行而产生能量损耗。此处，如下所述，关于LSAW的传播损耗，对电极指的对数设定为无限(无限周期IDT)的情况已进行了分析，但对于实际的有限结构的情况并未进行分析。而且，在专利文献I 6中，虽然分别记载了压电基板的切割角(cut angle)、IDT电极的膜厚等，但是并未研究LSAW的传播损耗的详细内容。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开平9-167936专利文献2 国际公开2008-4408专利文献3 :日本专利特开2003-283298专利文献4 :日本专利特开2006-87145专利文献5 :日本专利特开2007-74754专利文献6 :日本专利特开昭63-238708
技术实现思路
本专利技术是鉴于所述情况研究而成的专利技术，目的在于提供一种弹性表面波元件及电子零件，在为了利用包含泄漏弹性表面波(Leaky Surface Acoustic Wave, LSAW)的弹性表面波、而于钽酸锂基板上配置了 IDT电极的弹性表面波元件中，即便所述弹性表面波元件的频带为2GHz以上的高频带，也能将传播损耗抑制得较小。本专利技术是一种弹性表面波元件，利用包含2GHz以上的频率的LSAW的弹性表面波，该弹性表面波元件包括压电基板，构成为在相对于绕着结晶轴的X轴旋转45° 46°的Y轴而垂直切断的钽酸锂基板上，在X轴方向上传播弹性表面波；IDT电极，包含含有导电体膜的一对汇流条、及含有导电膜的电极指群，所述一对汇流条是以沿着弹性表面波的传播方向分别延伸并相互平行的方式，而形成在所述压电基板上，所述电极指群是以从所述多个汇流条朝对向的汇流条相互呈梳齿状交叉的方式配置；及反射器，分别设置在弹性表面波的传播方向上的所述IDT电极的一方侧及另一方侦牝且所述反射器分别包含一对反射器汇流条、及反射器电极指群，所述一对反射器汇流条以沿着弹性表面波的传播方向分别延伸并相互平行的方式，而形成在所述压电基板上，所述反射器电极指群以将所述多个反射器汇流条彼此相互连接的方式而各自形成；将所述电极指群的周期长设为λ，则所述电极指群的各个所述导电体膜的膜厚为7.5% λ 8% λ，将所述电极指的宽度尺寸及相互邻接的电极指间的隔开尺寸分别设为D及S，则用宽度尺寸D与隔开尺寸S的和除宽度尺寸D所得的值来表现的线占有率为O. 55 O. 65。在抑制频率相对于该线占有率的变动而变动的情况下，所述线占有率优选设定为O. 55 O. 60，另一方面，在扩大所述弹性表面波元件的共振频率与反共振频率之间的间隔的情况下，所述线占有率优选设定为`O. 60 O. 65。S卩，在利用弹性表面波元件构成带通滤波器(band pass filter)的情况下,通过将主要的IDT电极的线占有率设定为O. 60 O. 65，通带的宽波段化变得最容易。而且，本专利技术的电子零件包括所述弹性表面波元件。专利技术的效果本专利技术在利用包含2GHz以上的频率的LSAW的弹性表面波的弹性表面波元件中，利用包含旋转45° 46°的Y-X板的钽酸锂基板作为压电基板。而且，将IDT电极的电极指群的膜厚设定为7. 5%λ 8%λ (λ :电极指的周期长)，并且针对IDT电极的电极指群，将线占有率设定为O. 55 O. 65。因此，可一边抑制因制造不均导致的频率特性的偏移，一边将弹性表面波的传播损耗抑制得较小。附图说明图1是表示本专利技术的弹性表面波元件的一例的平面图。图2 (a)、图2 (b)是表示所述弹性表面波元件的压电基板的切割角的说明图。图3是表示所述弹性表面波元件的纵截面图。图4是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图5是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图6是表示针对所述弹性表面波元件所得的特性的模式图。图7是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图8是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图9是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图10是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图11是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图12是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图13是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图14是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图15是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图16是针对所述弹性表面波元件所得的特性图。图17是表示所述弹性表面波元件的其他例的电路图。图18是表示所述弹性表面波元件的其他例的平面图。图19表示弹性表面波的传播速度的概略图。附图标记1:共振器2:1DT 电极3 :反射器4:抽出电极5 :汇流条6:电极指7 :反射器汇流条8 :反射器电极指10:压电基板11:输入端口12:输出端口13:接地端口20 电容21:电感22:电阻23:晶体管24 : 二极管25 :输入端子26:端口27:输出端口h :膜厚r:线占有率具体实施例方式弹性表面波元件的概略参照图1 图3，来说明本专利技术的弹性表面波元件的实施方式的一例。首先，在说明弹性表面波元件以如下方式构成的理由之前，对所述弹性表面波元件的概略进行说明。如图1所示，弹性表面波元件构成为利用SAW (弹性表面波，surface acoustic wave)中的L (Leaky) SAW，所述例子中是在压电基板10上形成多个共振器1，且电气地呈梯形相互连接，从而构成梯形带通滤波器(band pass filter)。如图2 (a)、图2 (b)的示意性所示，所述压电基板10是由旋转Y-X钽酸锂基板(弹性表面波在X轴方向、于钽酸锂基板上传播的基板，该钽酸锂基板是相对于绕着结晶轴的X轴仅旋转角度Θ的Y轴本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种弹性表面波元件，利用包含2GHz以上的频率的泄漏弹性表面波的弹性表面波，所述弹性表面波元件的特征在于包括：压电基板，构成为：在相对于绕着结晶轴的X轴旋转45°～46°的Y轴而垂直切断的钽酸锂基板上，使弹性表面波沿着X轴方向传播；叉指换能器电极，包含：含有导电体膜的一对汇流条、及含有导电膜的电极指群，所述一对汇流条是以沿着弹性表面波的传播方向分别延伸并相互平行的方式，而形成在所述压电基板上，且所述电极指群是以从所述多个汇流条朝对向的汇流条相互呈梳齿状交叉的方式配置；及反射器，分别设于弹性表面波的传播方向的所述叉指换能器电极的一方侧及另一方侧，且所述反射器分别包含：一对反射器汇流条、及反射器电极指群，所述一对反射器汇流条以沿着弹性表面波的传播方向分别延伸并相互平行的方式，而形成在所述压电基板上，所述反射器电极指群以将所述多个反射器汇流条彼此相互连接的方式而各自形成；将所述电极指群的周期长设为λ，则所述电极指群的各个所述导电体膜的膜厚为7.5%λ～8%λ，将所述电极指的宽度尺寸及相互邻接的电极指间的隔开尺寸分别设为D及S，则用宽度尺寸D和隔开尺寸S的和除宽度尺寸D所得的值表示的线占有率为0.55～0.65。...
【技术特征摘要】
2011.10.18 JP 2011-229055;2012.08.03 JP 2012-17301.一种弹性表面波元件，利用包含2GHz以上的频率的泄漏弹性表面波的弹性表面波，所述弹性表面波元件的特征在于包括 压电基板，构成为在相对于绕着结晶轴的X轴旋转45° 46°的Y轴而垂直切断的钽酸锂基板上，使弹性表面波沿着X轴方向传播； 叉指换能器电极，包含含有导电体膜的一对汇流条、及含有导电膜的电极指群，所述一对汇流条是以沿着弹性表面波的传播方向分别延伸并相互平行的方式，而形成在所述压电基板上，且所述电极指群是以从所述多个汇流条朝对向的汇流条相互呈梳齿状交叉的方式配置；及 反射器，分别设于弹性表面波的传播方向的所述叉指换能器电极的一方侧及另一方侦牝且所述反射器分别包含一对反射器汇流条、及反射...
【专利技术属性】
技术研发人员：广田和博，森淳史，
申请(专利权)人：日本电波工业株式会社，
类型：发明
国别省市：
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