【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子器件残余气体的检测领域，具体来说，涉及一种。
技术介绍
真空电子器件(vacuum electronic device)指借助电子在真空或者气体中与电磁场发生相互作用，将一种形式电磁能量转换为另一种形式电磁能量的器件。具有真空密封管壳和若干电极，管内抽成真空，残余气体压力为10_4 10_8帕。有些在抽出管内气体后，再充入所需成分和压强的气体。广泛用于广播、通信、电视、雷达、导航、自动控制、电子对抗、计算机终端显示、医学诊断治疗等领域。大量事实证明，VED的损坏机制包括如下几个方面阴极耗尽与中毒、管体打火、灯丝损坏等，其中阴极与管体问题都与管内残余气体有着密不可分的关系。VED在长期存储过程中，真空度变化将会导致其寿命衰退。增强可靠性必须解决VED存储期内真空度保持问题。解决真空度问题首先需要对真空度进行检验，传统对残余气体检测方案是使用四极质谱仪等气体分析仪，需要将四极质谱仪与真空器件内残余气体接触。使用这种方法有明显的缺点，测试仪器与真空器件环境接触，改变了器件的结构，影响器件内残余气体检测结果；对真空电子器件检测破坏了真空环境。因此提出一种简便易行、非破坏性的检测方法具有非常广阔的应用前景。
技术实现思路
技术问题本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置，该光谱检测装置可对存储态真空电子器件残余气体进行检测，并且不会破坏存储态真空电子器件，保持器件的完整性；同时，还提供该光谱检测装置的检测方法，该检测方法采用非接触性的方式，完成对存储态真空电子器件残余气体浓度的检测，简单易行。技术方案为解决上述...
【技术保护点】
一种存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置，其特征在于，该光谱检测装置包括单光子计数器（1）、光源（2）、第一旋转平台（3）、第二旋转平台（4）、检测器（5）、支架（6）和计算机（7），支架（6）位于第一旋转平台（3）外侧，单光子计数器（1）固定连接在支架（6）上，且单光子计数器（1）位于第一旋转平台（3）上方，单光子计数器（1）的信号输出端与计算机（7）的信号输入端连接；检测器（5）中相对的两个侧面为入光面（501）和出光面（502），入光面（501）和出光面（502）均由玻璃制成，检测器（5）通过支座固定连接在第一旋转平台（3）上，检测器（5）与真空电子器件阴极（8）附近的漂移管（9）相连通；光源（2）固定连接在第二旋转平台（4）上；第二旋转平台（4）连接在第一旋转平台（3）上，且第二旋转平台（4）可在第一旋转平台（3）上旋转；单光子计数器（1）、光源（2）和检测器（5）到第一旋转平台（3）的距离均相等。
【技术特征摘要】
1.一种存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置，其特征在于，该光谱检测装置包括单光子计数器(I)、光源(2)、第一旋转平台(3)、第二旋转平台(4)、检测器(5)、支架(6 )和计算机(7 )，支架(6 )位于第一旋转平台(3 )外侧，单光子计数器(I)固定连接在支架(6)上，且单光子计数器(I)位于第一旋转平台(3)上方，单光子计数器(I)的信号输出端与计算机(7)的信号输入端连接；检测器(5)中相对的两个侧面为入光面(501)和出光面(502)，入光面(501)和出光面(502)均由玻璃制成，检测器(5)通过支座固定连接在第一旋转平台(3)上，检测器(5)与真空电子器件阴极(8)附近的漂移管(9)相连通；光源(2)固定连接在第二旋转平台(4)上;第二旋转平台(4)连接在第一旋转平台(3)上，且第二旋转平台(4)可在第一旋转平台(3)上旋转；单光子计数器(I)、光源(2)和检测器(5)到第一旋转平台(3)的距离均相等。2.按照权利要求1所述的存储态真空电子器件残余气体的光谱检测装置，其特征在于，所述的光源(2)的输出端口位于第二旋转平台(4)的几何中心。3.按照权利要求1所述的存储态真空...
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