充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置制造方法及图纸

一种充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置，充气逆止阀利用一第一与第二弹性元件分别提供弹力作用在上、下阀门，其中上、下阀门彼此结合为一组。利用外力(充气装置的移动)控制充气逆止阀的一移动控制部，使第二弹性元件移除对下阀门的弹力作用，藉此减缓控制由上、下阀门形成的阀门，而使气体较容易进入阀门。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种充气逆止阀以及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置。
技术介绍
现今的半导体精密元件的工艺多区分为多个处理腔体，利用精密元件收纳装置在各处理腔体的间搬移精密元件。为了使精密元件的保存与运输过程中保持无污染的清洁状态，并为了隔绝精密元件与大气的接触，在精密元件收纳装置中充入气体便是目前解决的手段的一。因此目前市面上的精密元件收纳装置会设有一个逆止阀，使得充入精密元件收纳装置的气体不会外泄。逆止阀的原理是利用弹簧与阀门，也就是利用弹簧的弹力抵住阀门。当充入气体时，进气的力量会大于弹簧的弹力，因此能推动阀门，而达成充气的目的，使得精密元件收纳装置内充满气体，例如氮气。一般而言，充气装置在提供气体到精密元件收纳装置时，进气的推力并不会太大，仅需大于逆止阀弹簧的弹力即可。但是逆止阀弹簧的弹力也不可过大，否则进气的推力若无法使阀门完全打开，会导致精密元件收纳装置内的气体不足，就未能达到清洁精密元件的功效。然而，若将逆止阀弹簧的弹力降低，利用精密元件收纳装置在各处理腔体之间搬移的过程中，任何的晃动或震动都会很容易导致逆止阀的弹簧被震开，也就是非正常的开启阀门，进而造成精密元件收纳装置的漏气。有鉴于此，有必要提供一种气密性较佳的充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种气密性较佳的充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置，以便在精密元件收纳装置的搬运过程中，不易因摇晃而导致漏气。为达上述目的，本技术提供一种充气逆止阀，其包括一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。上述的充气逆止阀，其中该上阀门向下延伸一第一柱体，且该下阀门向上延伸一第二柱体，该第一柱体与该第二柱体彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出。上述的充气逆止阀，其中该上阀门与该下阀门为一体成型。上述的充气逆止阀，其中该第二弹性元件为一弹片。上述的充气逆止阀，其中该弹片与该移动控制部结合为一体。上述的充气逆止阀，其中该第二弹性元件是一弹簧，且该移动控制部还包括一沟槽，该沟槽对应于该弹簧，以使该弹簧的一部分嵌入该沟槽。为达上述目的，本技术还提供一种具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，该精密元件收纳装置包括一收纳本体，其具有一开口 ；及一门体，其对应于该开口，以密封该开口 ；其中，至少一贯穿孔位于该门体或该收纳本体，该充气逆止阀嵌合于该贯穿孔，以控制气体的进出；其中该充气逆止阀包括一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。上述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其中该上阀门向下延伸一第一柱体，且该下阀门向上延伸一第二柱体，该第一柱体与该第二柱体彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出。上述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其中该上阀门与该下阀门为一体成型。上述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其中该第二弹性元件为一弹片，且该弹片与该移动控制部结合为一体。以下结合附图和具体实施例对本技术进行详细描述，但不作为对本技术的限定。附图说明图1是关于本技术的精密元件收纳装置的分解示意图；图2是关于本技术的充气逆止阀的立体图；图3是关于本技术的充气逆止阀的分解示意图；图4是依据图3的另一视角的分解示意图；图5是依据图2的剖视示意图；图6是依据图5，显示充气装置50作用在充气逆止阀的剖视示意图；图7是依据图6，利用箭头方向显示气体流向。其中，附图标记收纳本体I门体3充气逆止阀2开口 12贯穿孔11上盖部20a下盖部20b上盖固定部24第一弹性元件22上阀门23盖体21固定槽231主盖体211滤网212隔网213垫圈29下盖固定部25第二弹性元件28移动控制部27下阀门26第一柱体230第二柱体260沟槽272穿孔251进气口261、270、240 突出部 271充气装置50具体实施方式为能更了解本技术的
技术实现思路
，特举多个较佳具体实施例说明如下。应可了解的是以下所提的上、下、左、右等方向仅是用以说明相对位置，并非用以限制本技术。另外，图示的元件数量也只是用以举例说明，并非用以限制本技术。请先参考图1及图2，本技术提供的精密元件收纳装置，其包括一收纳本体1、一门体3及至少一充气逆止阀2。收纳本体I具有一开口 12。门体3对应于该开口 12，门体3可密封精密元件收纳装置的开口 12。如图1所示，收纳本体I上设有贯穿孔11，充气逆止阀2是嵌合于贯穿孔11，以控制气体的进出(以下将有进一步说明)。应可了解的是，嵌设有充气逆止阀2的贯穿孔11也可被设在门体3 (图未示)。贯穿孔11设置的位置及数量是对应于承载介面(load port)的充气装置50 (显示在图5)。请同时参考图3与图4，本技术的充气逆止阀2包括一上盖部20a及一下盖部20b。上盖部20a包括一上盖固定部24、一第一弹性兀件22、一上阀门23及一盖体21。第一弹性元件22位于上阀门23与盖体21之间，并利用第一弹性元件22提供弹力作用在上阀门23。在本实施例中，第一弹性兀件22是一弹簧,该弹簧22的一部份被嵌入上阀门23的固定槽231。藉此固定弹簧22。盖体21包括主盖体211、滤网212及隔网213。由于滤网212及隔网213都与传统的滤网及隔网相同，因此未在此多赘述。为了增加气密性，还可在上阀门23与上盖固定部24之间设有一垫圈29。利用主盖体211扣合盖住上盖固定部24，可将滤网212、隔网213、第一弹性元件22、上阀门23、垫圈29等组件固定在主盖体211与上盖固定部24之间。下盖部20b包括一下盖固定部25、一第二弹性元件28、一移动控制部27及一下阀门26本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种充气逆止阀，其特征在于，包括：一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。

【技术特征摘要】
1.一种充气逆止阀，其特征在于，包括一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。2.根据权利要求1所述的充气逆止阀，其特征在于，该上阀门向下延伸一第一柱体，且该下阀门向上延伸一第二柱体，该第一柱体与该第二柱体彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出。3.根据权利要求2所述的充气逆止阀，其特征在于，该上阀门与该下阀门为一体成型。4.根据权利要求1所述的充气逆止阀，其特征在于，该第二弹性元件为一弹片。5.根据权利要求3所述的充气逆止阀，其特征在于，该弹片与该移动控制部结合为一体。6.根据权利要求1所述的充气逆止阀，其特征在于，该第二弹性元件是一弹簧，且该移动控制部还包括一沟槽，该沟槽对应于该弹簧，以使该弹簧的一部分嵌入该沟槽。7.一种具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗孝嘉，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：