新干法吸附式废气处理机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道、树脂罐和N2输入管道，所述废气管道与树脂罐连接，树脂罐分别通过管道和检测管道与喷射器连接，废气管道通过管道与排出器连接，废气管道上设有压力传感器，压力传感器与压力控制器连接，压力控制器与E/P调节器连接；N2输入管道与树脂罐连接，N2输入管道通过管道与排出器连接，N2输入管道分别通过管道与输入管道连接，输入管道通过E/P调节器与喷射器连接，所述入口阀、阀门和旁通阀分别通过管道与输入管道和输出管道连接。本实用新型专利技术的有益效果为：性能好、安全等级高；具备警报功能；设备使用寿命长。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种半导体制造业中，处理产生废气的设备，尤其涉及到ー种新干法吸附式废气处理机。
技术介绍
废气处理设备是エ厂中必备的设备，在当今环境问题日益严重的国际情势下，各个国家对エ厂排放废弃物的要求也越来越严格，对于半导体行业，废气是主要的污染物，如何更好处理在生产中产生的废气一直是困扰各个半导体厂家发展的问题，目前市场上处理半导体生产中产生的废气的设备多为欧美日韩和中国台湾地区进ロ，虽然产品エ艺已相对成熟，但是单价较高，更新较慢，后期维护成本较高，在安全上面也会存在一定的问题。因此，对现有技术应该进ー步改进。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种新干法吸附式废气处理机，以克服目前现有技术存在的上述不足。本技术的目的是通过以下技术方案来实现一种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道、树脂罐和N2输入管道，所述废气管道与树脂罐连接，树脂罐分别通过带有阀门的管道和带有传感阀和色彩标记传感器的检测管道与喷射器连接，所述废气管道通过设有旁通阀的管道与排出器连接，所述废气管道上设有压力传感器和入口阀，压カ传感器与压カ控制器连接，压カ控制器与E/P调节器连接；所述N2输入管道与树脂罐连接，N2输入管道通过设有压カ阀的管道与排出器连接，N2输入管道分别通过带有电磁阀ー的管道和带有传感器的管道与输入管道连接，输入管道通过E/P调节器与喷射器连接，所 述入口阀、阀门和旁通阀分别通过带有电磁阀ニ和排气阀的管道与输入管道和输出管道连接，所述入ロ阀通过带有排气阀的管道与传感阀连接。所述N2输入管道和检测管道分别设有流量计，所述排气阀上具有打开按钮和关闭按钮，所述输入管道和喷射器连接的管道上设有单向阀。本技术的有益效果为在工作状态中，性能好、安全等级高；通过各种设置以及感应器能够具备相应的警报功能；气体输送管内部的防腐蚀以及防固体结晶形成的技能延长了设备的寿命，依靠低压防止了主设备和真空泵的逆流现象出现环境的亲和性，废树脂和废弃物可以分开处理，废气监视处理系统完全能够处理在TLV以下的有害气体，有害气体经过处理后可以减少至1/20000以下。附图说明下面根据附图对本技术作进ー步详细说明。图1是本技术实施例所述的新干法吸附式废气处理机的结构示意图。图中1、废气管道；2、树脂罐；3、N2输入管道；4、传感阀；5、色彩标记传感器；6、检测管道、喷射器；8、旁通阀；9、排出器；10、压カ传感器；11、入口阀；12、压カ控制器；13、E/P调节器；14、压カ阀；15、电磁阀一 ；16、传感器；17、输入管道；18、电磁阀ニ ；19、排气阀；20、流量计；21、输出管道；22、单向阀。具体实施方式如图1所示，本技术实施例所述的ー种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道1、树脂罐2和N2输入管道3，所述废气管道I与树脂罐2连接，树脂罐2分别通过带有阀门的管道和带有传感阀4和色彩标记传感器5的检测管道6与喷射器7连接，所述废气管道I通过设有旁通阀8的管道与排出器9连接，所述废气管道I上设有压力传感器10和入口阀11，压カ传感器10与压カ控制器12连接，压カ控制器12与E/P调节器13连接；所述N2输入管道3与树脂罐2连接，N2输入管道3通过设有压カ阀14的管道与排出器9连接，N2输入管道3分别通过带有电磁阀ー 15的管道和带有传感器16的管道与输入管道17连接，输入管道17通过E/P调节器13与喷射器7连接，所述入口阀11、阀门和旁通阀8分别通过带有电磁阀ニ 18和排气阀19的管道与输入管道17和输出管道21连接，所述入口阀11通过带有排气阀19的管道与传感阀4连接。所述N2输入管道3和检测管道6分别设有流量计20。所述排气阀19上具有打开按钮和关闭按钮。所述输入管道17和喷射器7连接的管道上设有单向阀22。具体使用时，废气通过废气管道I进入树脂罐2，同时干燥的N2通过队输入管道3也进入树脂罐2，并对废气进行处理，处理好的废气后可排放到自然界中，产品控制在低压(约720托)时进行操作，能够预防废气的泄露及相关事故发生，高效的管道系统和温度监视系统能够确保设备使用的高度安全化，内部所安置的90%感应器能够对已经吸附废气的树脂样品进行颜色检查辨别，有异常便会自动触发警报器告知使用者。本技术不局限于上述最佳实施方式，任何人在本技术的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是具有与本申请相同或相近似的技术方案，均落在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道（1）、树脂罐（2）和N2输入管道（3），其特征在于：所述废气管道（1）与树脂罐（2）连接，树脂罐（2）分别通过带有阀门的管道和带有传感阀（4）和色彩标记传感器（5）的检测管道（6）与喷射器（7）连接，所述废气管道（1）通过设有旁通阀（8）的管道与排出器（9）连接，所述废气管道（1）上设有压力传感器（10）和入口阀（11），压力传感器（10）与压力控制器（12）连接，压力控制器（12）与E/P调节器（13）连接；所述N2输入管道（3）与树脂罐（2）连接，N2输入管道（3）通过设有压力阀（14）的管道与排出器（9）连接，N2输入管道（3）分别通过带有电磁阀一（15）的管道和带有传感器（16）的管道与输入管道（17）连接，输入管道（17）通过E/P调节器（13）与喷射器（7）连接，所述入口阀（11）、阀门和旁通阀（8）分别通过带有电磁阀二（18）和排气阀（19）的管道与输入管道（17）和输出管道（21）连接，所述入口阀（11）通过带有排气阀（19）的管道与传感阀（4）连接。

【技术特征摘要】
1.一种新干法吸附式废气处理机，包括废气管道(I)、树脂罐(2)和N2输入管道(3)，其特征在于所述废气管道(I)与树脂罐(2 )连接，树脂罐(2 )分别通过带有阀门的管道和带有传感阀(4)和色彩标记传感器(5)的检测管道(6)与喷射器(7)连接，所述废气管道(I)通过设有旁通阀(8)的管道与排出器(9)连接，所述废气管道(I)上设有压力传感器(10)和入口阀(11)，压力传感器(10)与压力控制器(12)连接，压力控制器(12)与E/P调节器(13 )连接；所述N2输入管道(3 )与树脂罐(2 )连接，N2输入管道(3 )通过设有压力阀(14 )的管道与排出器(9)连接，N2输入管道(3)分别通过带有电磁阀一(15)的管道和带有传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮毅，
申请(专利权)人：阮毅，
类型：实用新型
国别省市：