【技术实现步骤摘要】
本技术涉及热解氮化硼坩埚
，具体地说是ー种热解氮化硼细颈蒸发坩埚。
技术介绍
分子束外延是一种在晶体基片上生长闻质量的晶体薄I旲的新技术。在超闻真空条件下，由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气，经小孔准直后形成的分子束或原子束，直接喷射到适当温度的单晶基片上，同时控制分子束对衬底扫描，就可使分子或原子按晶体排列ー层层地“长”在基片上形成薄膜。由于热解氮化硼在高温下与绝大多数熔融金属、半导体材料不润湿、不反应；电绝缘性能好和高温下无杂质挥发；热导性好和热膨胀系数低等优点。因此，分子束外延一般使用热解氮化硼坩埚。但现有的热解氮化硼坩埚蒸发出的分子束流不稳定，影响产品的质量。有鉴于上述现有的热解氮化硼蒸发坩埚在使用中存在的诸多问题，本技术的设计人依靠多年的工作经验和丰富的专业知识积极加以研究和创新，最終研发出ー种新颖的热解氮化硼细颈蒸发坩埚，提供了稳定的分子束流。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种热解氮化硼细颈蒸发坩埚，能提供稳定的分子束流，提高产品的质量。为了解决上述技术问题，本技术采用了如下技术方案一种热解氮化硼细颈蒸发坩埚，包括呈圆柱形的坩埚本体，所述圆柱形的坩埚本体的上部连接逐渐收缩的颈部，颈部的上端逐渐扩大形成坩埚出ロ。进ー步，所述热解氮化硼细颈蒸发坩埚的壁厚为0. 5_5mm。进ー步，所述颈部内径与坩埚本体内径的比例为1:2 10。与现有技术相比，本技术的有益效果在于本技术的一种热解氮化硼细颈蒸发坩埚的本体呈圆柱形，其上部收缩成细颈，有效保证了蒸汽量的稳定，从而提供了稳定的分子束流。附图说明图1为本技术的一种热解氮...
【技术保护点】
一种热解氮化硼细颈蒸发坩埚，其特征在于，包括呈圆柱形的坩埚本体，所述圆柱形的坩埚本体的上部连接逐渐收缩的颈部，颈部的上端逐渐扩大形成坩埚出口。
【技术特征摘要】
1.一种热解氮化硼细颈蒸发坩埚，其特征在于，包括呈圆柱形的坩埚本体，所述圆柱形的坩埚本体的上部连接逐渐收缩的颈部，颈部的上端逐渐扩大形成坩埚出口。2.根据权利要求1所述的一种热解氮化硼细...
【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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