【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片抛光领域，特别涉及一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构。
技术介绍
随着IC制造技术的飞速发展，为了提高IC的集成度，要求硅片的刻线宽度越来越细。相应地，对硅片表面层质量的要求也日益增高，即要求硅片表面高度平整光洁，几何尺寸均匀，有精确的定向，表面层无任何的损伤。然而，从硅单晶锭到单晶硅片需要一系列的机械和化学加工过程，如切、磨、抛等。在硅片切割、研磨、磨削等加工过程中会不可避免地在硅片表面产生微划痕、微裂纹、残余应力、晶格畸变等加工损伤，然而，硅片加工表面层损伤及加工表面层物理化学性质的任何微小变化都会导致器件成为废品。目前，在硅片的打磨过程中，抛光机的中心轮与下定盘是连接固定的，在转动过程中，中心轮就容易发生磨损，碎屑就会掉落到下定盘上，从而导致放置在下定盘上的硅片的表面损伤。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，结构简单，安装方便，降低硅片因中心轮磨损产生损伤的风险，极大的減少了设备部件的加工成本，并且对娃片生广品质有了进一步的提尚。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是提供一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，包括中心杆、中心轮和中心轮安装基座,所述的中心杆的下端沿着圆周均匀布置有若干个中心杆安装螺纹孔，所述的中心轮安装基座的上端和下端都沿着圆周均匀布置有若干个基座安装螺纹孔，所述的中心杆的下端通过螺栓穿过中心杆安装螺纹孔和基座安装螺纹孔连接固定有中心轮安装基座，所述的基座安装螺纹孔的下端通过螺栓连接固定有中心轮，所述的中心轮居中布置于下定盘的上方且与下定盘之间留有空隙。所述的中心杆安装螺纹孔与基座安装螺纹孔...
【技术保护点】
一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，包括中心杆（2）、中心轮（4）和中心轮安装基座（3），其特征在于，所述的中心杆（2）的下端沿着圆周均匀布置有若干个中心杆安装螺纹孔（21），所述的中心轮安装基座（3）的上端和下端都沿着圆周均匀布置有若干个基座安装螺纹孔（31），所述的中心杆（2）的下端通过螺栓穿过中心杆安装螺纹孔（21）和基座安装螺纹孔（31）连接固定中心轮安装基座（3），所述的基座安装螺纹孔（31）的下端通过螺栓连接固定中心轮（4），所述的中心轮（4）居中布置于下定盘（5）的上方且与下定盘（5）之间留有空隙。
【技术特征摘要】
1.一种娃片抛光的悬挂式中心轮结构，包括中心杆(2)、中心轮(4)和中心轮安装基座(3)，其特征在于，所述的中心杆(2)的下端沿着圆周均匀布置有若干个中心杆安装螺纹孔(21)，所述的中心轮安装基座(3)的上端和下端都沿着圆周均匀布置有若干个基座安装螺纹孔(31)，所述的中心杆(2)的下端通过螺栓穿过中心杆安装螺纹孔(21)和基座安装螺纹孔(31)连接固定中心轮安装基座(3)，所述的基座安装螺纹孔(31)的下端通过螺栓连接固定中心轮(4)，所述的中心轮(4)居中布置于下定盘(5)的上方且与下定盘(5)之间留有空隙。2.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：史洪超，胡孟君，徐国科，张世波，何良恩，徐继东，厉惠宏，卢峰，刘建刚，刘亮荣，安卫良，
申请(专利权)人：浙江金瑞泓科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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