本发明专利技术涉及一种脆性材料用划线轮、使用此划线轮的脆性材料衬底的划线装置以及划线工具。本发明专利技术提供一种切割面质量(端面强度)强、接触性良好、可内切且交点跳跃少的构成的脆性材料用划线轮。本发明专利技术的划线轮具有：共有旋转轴的两个圆锥台的底部相交形成圆周棱线(13)的外周缘部、以及沿该圆周棱线(13)在圆周方向上交替地形成的多个切口(15)及突起(16)；突起(16)是由圆周棱线(13)经切取而残留的在圆周方向上具有长度b之圆周棱线(13)的部分所构成，切口(15)其圆周方向的长度a短于突起(16)的圆周方向的长度b，且遍及圆周棱线(13)整周是以8μm以上且18μm以下的节距P形成。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种划线后的玻璃的切割面质量(端面强度)高、接触性良好、可内切 且交点跳跃少的构成的脆性材料用划线轮、采用该划线轮的脆性材料衬底的划线装置及划线工具。
技术介绍
以往，液晶显示面板或有机电致发光(EL, electroluminescent)面板等平 板显示器面板、太阳能电池等的制造步骤中，设有脆性材料衬底的划线步骤。例如，液 晶显示面板具有使两块玻璃衬底贴合，并对其间隙内注入液晶的构成。而且，在称为 LCOS (Liquid-Crystal-On-Si I icon,娃基液晶)的投影机用衬底中的反射型衬底的情况 下，使用石英衬底与半导体晶片贴合而成的一对衬底。此种衬底贴合而成的贴合衬底通常 是在作为母衬底的大尺寸贴合衬底的表面上形成划线，然后通过沿着形成的划线将衬底断 裂而分割成特定尺寸的单位衬底。所述分割步骤至切取步骤是一面使划线轮承载符合脆性材料衬底的材质或厚度 等诸条件的负载，一面使划线轮在脆性材料衬底的表面上滚动，形成划线，使脆性材料承载 特定的力，由此，沿着划线分割脆性材料衬底，制造单个的面板或玻璃板。另外，将在母衬底上形成划线称为“划线”。将沿通过划线而形成的划线，折断母衬 底称为“断裂”。将通过划线与断裂而分割成所期望尺寸的脆性材料衬底称为“断开”。进而， 将经由断开步骤后的搬送，将已断开的脆性材料衬底切割成单个的单位衬底称为“分离”。而且，在本专利技术中，将通过形成划线而从衬底的表面使垂直裂纹在衬底的板厚方 向上伸展的划线轮性质称为“渗透效应”。在此，使用图4 图7说明以往的划线装置及使用该划线装置的划线方法。另外， 图4是以往的划线装置的前视图，图5A是说明以往的SBSB方式的玻璃衬底的分割步骤的 图，图5B是说明以往的SSBB方式的玻璃衬底的分割步骤的图，图6A是以往的划线轮前视 图，图6B是图6A的划线轮的侧视图，图7是说明进行交叉划线时产生的交点跳跃现象的透 视图。首先，使用图4说明以往的划线方法。另外，在该图中，将左右方向作为X方向、将 与纸面正交的方向作为Y方向进行以下说明。该划线装置50具备利用真空吸附机构将载 置的玻璃衬底G固定且可水平旋转的划线台51 ;支撑划线台51可在Y方向上移动且相互 平行的一对导轨52 ;使划线台51沿导轨52移动的滚珠螺杆53 ;沿X方向架设在划线台51 上方的导杆54 ;可沿X方向滑动地设置在导杆54上且对划线轮58赋予切断压力的划线头 55 ;使划线头55沿导杆54滑动的电动机56 ;摆动自如地设在划线头55的下端且通过划线 头55进行升降的划线轮保持具57 ;可旋转地安装在划线轮保持具57下端的划线轮58 ;以 及设置在导杆54的上方且用于识别在划线台51上的玻璃衬底G上形成的对准标记的一对 CCD相机59。在此，使用图5来说明采用该划线装置50的衬底断开步骤的两例。另外，以下说明是以用于液晶显示设备用面板的贴合玻璃即玻璃衬底G为例，且为方便起见，而将一侧的玻璃衬底暂称为A面衬底，将另一侧的玻璃衬底暂称为B面衬底。第I例中，(I)首先，如图5A(a)所示，以A面衬底为上侧，将玻璃衬底G载置在划线装置的划线台上，使用划线轮58对A面衬底进行划线，形成划线Sa。(2)其次，使玻璃衬底G上下反转，将所述玻璃衬底G搬送至断裂装置。然后，如图 5A(b)所示，利用该断裂装置，沿着与划线Sa对向的线将断裂杆BB抵住载置在衬垫(mat)M 上的玻璃衬底G的B面衬底。由此，下侧的A面衬底的裂纹从划线Sa朝向上方伸展，使得 A面衬底沿划线Sa分割。(3)接下来，将玻璃衬底G搬送至划线装置的划线台上。然后，在该划线装置中，如图5A (c)所示，使用划线轮58对B面衬底进行划线，形成划线Sb。(4)随后，将玻璃衬底G上下反转后搬送至断裂装置。然后，如图5A(d)所示，沿着与划线Sb对向的线，将断裂杆BB抵住载置在衬垫M上的所述玻璃衬底G的A面衬底。由此，下侧的B面衬底的裂纹从划线Sb朝向上方伸展，使得B面衬底沿划线Sb分割。 本专利技术中，将包含所述步骤的断开方式称为SBSB方式(S代表划线，B代表断裂)。此外，第两例中，(I)首先，如图5B(a)所示，以A面衬底为上侧，将玻璃衬底G载置在划线装置的划线台上，使用划线轮58对A面衬底进行划线，形成划线Sa。(2)其次，将玻璃衬底G上下反转，将所述玻璃衬底G载置在划线台上，使用划线轮 58对B面玻璃衬底进行划线，形成划线Sb (图5B (b))。(3)接下来，将玻璃衬底G搬送至断裂装置。然后，如图5B(c)所示，在该断裂装置中，沿着与划线Sa对向的线将断裂杆BB抵住载置在衬垫M上的玻璃衬底G的B面玻璃衬底。由此，下侧的A面衬底的裂纹从划线Sa朝向上方伸展，使得A面衬底沿划线Sa分割。(4)接下来，使玻璃衬底G上下反转后，如图5B(d)所示载置在断裂装置的衬垫M 上。然后，沿着与划线Sb对向的线将断裂杆BB抵住玻璃衬底G的A面衬底。由此，下侧的 B面衬底的裂纹从划线Sb朝向上方伸展，使得B面衬底沿划线Sb分割。另外，本说明书中，将包含所述步骤的断开方式称为SSBB方式。通过实施所述两例的(I) (4)各步骤，而将玻璃衬底G在所期望的位置上沿划线分割成两个。进而，通过略微施力，使玻璃衬底G在所期望的分离位置分离。而且，在下述专利文献I中，揭示一种具有高渗透效应的划线轮的专利技术。在此，使用图6说明所述专利文献I中揭示的划线轮60的构成。另外，图6A是下述专利文献I中所示的划线轮的示意前视图，图6B是图6A的划线轮的示意右侧视图及局部放大图。该划线轮60包含形成有圆周棱线61的外周缘部、以及沿着圆周棱线61在圆周方向上交替地形成的多个切口 62b及突起62a。突起62a是通过以特定的节距及深度切取圆周棱线61而形成。作为该划线轮60,可使用例如厚度W为约O. 65mm、直径Φ为I 20mm、 圆周棱线的收敛角d为85 160°的划线轮。可通过使用该划线轮60形成划线而从玻璃衬底的表面在垂直方向上形成对于玻璃衬底的板厚为相对较深的垂直裂纹。在将此种具有高渗透效应的划线轮60用于断开步骤的情况下，可简化或省略图5A(b)及图5A(d)所示的SBSB方式中的断裂步骤或图5B(c)及图5B(d)所示的SSBB方式中的断裂步骤。另外，玻璃原材料制造厂商不断进行衬底材料的改良、热处理加工中的各种改良 后最终发现，在使用具备以往的刀刃(常规刀刃)的划线轮(以下，也称为常规划线轮)进 行划线的情况下，会产生“接触不良”的状态，即，在划线轮刚开始滚动后刀刃便在衬底表面 上打滑，未能开始形成划线的现象。因此，不断要求与具备以往的常规刀刃的划线轮相比为 “接触良好”的刀刃。另外，如果使用下述专利文献I中揭示的具备高渗透刀刃的划线轮(以 下，也称为高渗透划线轮)，则可暂且达到“接触良好”，但是难以确保例如平板显示器面板 的制造现场所要求的端面强度的质量规格。而且，当使用具备常规刀刃的划线轮时，在端面强度方面虽可取得良好的结果，但 如果进行交叉划线，则存在产生如图7所示的交点跳跃之类的问题。另外，图7是说明进行 交叉划线时产生的交点跳跃现象的透视图。在此，详细说明“交点跳跃”。在使用所述划线装置50将玻璃衬底G断开的情况 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种脆性材料用划线轮，其特征在于，其包含共有旋转轴的两个圆锥台的底部相交而形成圆周棱线的外周缘部、以及沿所述圆周棱线在圆周方向上交替地形成的多个切口及突起，所述突起是由所述圆周棱线经切取后残留的在圆周方向上具有长度的所述圆周棱线的部分所构成，且所述切口其圆周方向的长度短于所述突起的圆周方向的长度，且遍及所述圆周棱线整周是以8μm以上且18μm以下的节距形成。
【技术特征摘要】
2011.09.30 JP 2011-2184601.一种脆性材料用划线轮，其特征在于，其包含共有旋转轴的两个圆锥台的底部相交而形成圆周棱线的外周缘部、以及沿所述圆周棱线在圆周方向上交替地形成的多个切口及关起， 所述突起是由所述圆周棱线经切取后残留的在圆周方向上具有长度的所述圆周棱线的部分所构成，且 所述切口其圆周方向的长度短于所述突起的圆周方向的长度，且遍及所述圆周棱线整周是以8 μ m以上且18 μ m以下的节距形成。2.根据权利要求1所述的脆性材料用划线轮，其特征在于， 所述切口其圆周方向的长度为Iym以上且小于9 ym的范围。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：地主贵裕，中垣智贵，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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