薄膜状工件的除水系统技术方案

一种薄膜状工件的除水系统，能够实现系统整体构造的简单化、小型化，能够可靠地除去工件表面及背面的水分并提高成品率和生产性。本发明专利技术的薄膜状工件的除水系统包括：除水头（200A、200B），其具有将高压气体从喷射嘴向工件（W）的一面方向喷射的喷射单元、从吸引嘴吸引到达了工件的一面的高压气体的吸引单元；供给侧气体流路（103、106A、106B），其向喷射单元供给高压气体；回收侧气体流路（107A、107B、108），其将被吸引的高压气体回收；搬运装置，其搬运工件，通过以工件依次通过除水头的附近的方式搬运工件，利用高压气体从工件的表面及背面脱离后的水分与高压气体一同经由所述吸引嘴以及回收侧气体流路而被回收。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在例如液晶显示装置以及等离子显示装置、有机EL显示装置等使用的偏光板保护膜、带接触面板用透明电极的薄膜等的制造工序中，用于从薄膜状(网状)工件的表面除去水分的除水系统。另外，在以下的说明中，作为原则，称为工件的“表面”的用语并不仅是原本的“表面”，也包含“背面”，在需要对二者进行区分的情况下，分为“表面”、“背面”进行使用。
技术介绍
以往，在这种光学用薄膜的制造工序中，为了将附着于薄膜状工件的尘埃除去或将工件浸溃在碱水溶液中将表面碱化后将碱水溶液除去，使用纯净水对工件表面进行清洗。此时，若在工件表面残留有水分，则在后续工序中在工件表面涂敷液晶高分子及定向膜等的情况下会带来不良影响，使产品的成品率降低，故而要求可靠地除去工件表面的水分。因此，例如在专利文献I及专利文献2中记载有如下的清洁化方法以及洗净装置，通过一对辊(夹持辊)将被喷射了纯净水的薄膜状工件夹入并将工件表面的水分一定程度地除去，然后，从鼓风机经由空气刀向工件的表面以及背面喷射高压气体，利用其风压将水分除去。专利文献1:(日本)特开2005 - 279577号公报“薄膜的清洁化方法”(0014段、图1等)专利文献2 :(日本)特开2007 - 246849号公报“光学用塑料薄膜的洗净方法、光学用塑料薄膜的制造方法及光学用塑料薄膜的洗净装置以及涂敷装置”(0020段、图1等)在专利文献I及专利文献2记载的现有技术中，通过空气刀被吹起的雾沫会再次附着在工件表面的其他部位及周边的部件上。因此，不得不通过壳体将空气刀的周围覆盖来防止雾沫的飞散，或为了使雾沫不再次附着到工件上，不得不考虑气流方向以及风量而配置供气用鼓风机、雾沫回收用鼓风机、排气口等。另外，通过纯净水及碱水溶液而附着在工件上的水分量根据工件的搬运速度、工件的材质、装置内部的设计上的制约等而变化，该水分量越多，空气刀的级数越有增加的倾向。若空气刀的级数多，则难以最佳地设计回收雾沫的气流方向及周边部件的配置，向空气刀供给高压气体的鼓风机的容量也增加,壳体也变大。结果，具有系统整体的构造复杂而大型化，成本增加的问题。另外，若从设计空间及成本的观点出发使空气刀的级数减少，则在处理速度上产生限制，具有难以提高生产性等的问题。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种能够实现系统整体构造的简单化、小型化，并能够将工件表面的水分可靠地除去而使产品的成品率以及生产性提高的薄膜状工件的除水系统。为了解决上述课题，本专利技术第一方面的薄膜状工件的除水系统，用于将附着在薄膜状工件的表面及背面的水分除去，其中，包括多个除水头，其具有将高压气体从喷射嘴向所述工件的一面方向喷射的喷射单元、从吸引嘴吸引到达了所述工件的一面的高压气体的吸引单元；供给侧气体流路，其将高压气体向所述喷射单元供给；回收侧气体流路，其将被所述吸引单元吸引的高压气体回收；搬运装置，其搬运所述工件，通过以所述工件的表面与一个所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴相对、所述工件的背面与其他的所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴相对的方式搬运所述工件，利用高压气体而从所述工件的表面及背面剥离后的水分与高压气体一同经由所述吸引嘴以及所述回收侧气体流路而被回收。本专利技术第二方面的薄膜状工件的除水系统，在第一方面的基础上，具有除水辊，其将所述工件向所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴方向压接。本专利技术第三方面的薄膜状工件的除水系统，在第一或第二方面的基础上，将使用压辊预先从表面及背面大致除去了水分的所述工件向初级的所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴方向搬运。本专利技术第四方面的薄膜状工件的除水系统，在第一或第二方面的基础上，对从所述喷射单元喷射的高压气体施加超声波振动。本专利技术第五方面的薄膜状工件的除水系统，在第一或第二方面的基础上，在向所述喷射单元供给的高压气体的流路配置有将高压气体冷却的冷却装置。本专利技术不像现有技术那样利用使用空气刀将水分吹飞的方法，而是将通过高压气体从工件表面剥离后的水分与气体一同吸收并向回收侧气体流路回收。因此，雾沫飞散，不会附着在工件的其他部位及周边部件上，能够消除由于考虑气流方向及风量而最适当地设计各种鼓风机以及排气口等而耗费的工序及劳力。另外，由于即使不多级地配置空气刀也能够得到希望的除水效果，故而能够实现装置构造的简单化、小型化。另外，由于雾沫不会飞散，故而也不需要将装置整体覆盖的壳体，能够从外部容易地观察各部的动作状态，并且也容易进行零件的检查、更换等维修作业。总而言之，根据本专利技术，能够实现系统整体的小型化以及设置空间的减少、低成本化，能够将工件表面的水分可靠地除去而实现产品的成品率以及生产性的提高。附图说明图1是表示本专利技术实施方式的构成图；图2是表示图1中的除水头的构造的图，图2 Ca)是俯视图，图2 (b)是侧视图，图2 (c)是图2 (b)中的C方向的向视图；图3是图2 (C)的主要部分的放大图。标记说明101、103、106A、106B、107A、107B、108、111 :气体流路102 :供气用鼓风机104 :冷却线圈105 :过滤单元109 :雾/气分离装置109a:排水管110:气体回收用鼓风机112AU12BU13AU13B :压力传感器200A、200B :除水头201A、201B :管道202A>202B :喷射单元；203A、203B :吸引单元；204A>204B :管道205A.205B :嘴207A :超声波发生器210A、210B:气缸301、302:压辊303、304 :吸水辊305、306:除水用辊307、308 :张力辊309 :气缸W :薄膜状工件具体实施例方式以下，基于附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是表示本专利技术的实施方式的构成图。在图1中，101为向后述的除水头200A、200B供给的气体的流路，该气体流路101与供气用鼓风机102连接。从供气用鼓风机102排出的高压气体从气体流路103经由冷却线圈104、过滤单元105、气体流路103而分支成两个气体流路106A、106B。在一气体流路106A连接第一除水头200A的管道201A，除水头200A的管道204A与气体流路107A连接。另外，在另一气体流路106B连接第二除水头200B的管道201B，除水头200B的管道204B与气体流路107B连接。所述气体流路107A和气体流路107B之后结合并与气体流路108连接，该气体流路108经由雾/气分离装置109、气体流路108而与气体回收用鼓风机110连接。另外，109a为雾/气分离装置109的排水管，111为设于气体回收用鼓风机110的排出侧的气体流路，112A、112B、113A、113B为分别配置于气体流路106A、106B、107A、107B的压力传感器。接着，对除水头200A、200B的构造以及功能进行说明。在图1中，除水头200A具有与管道201A连接的喷射单元202A、与管道204A连接的吸引单元203A。该除水头200A利用从喷射单元202A的嘴喷射的高压气体使附着在薄膜状工件W的一面上的水分浮起而从吸引单元203A的嘴吸收，经由管道204A回收到气体流路107A中。另外，除水头200B具有与管道201B连接的喷射单元202B、与管道20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜状工件的除水系统，其用于将附着在薄膜状工件的表面及背面的水分除去，其特征在于，包括：多个除水头，其具有将高压气体从喷射嘴向所述工件的一面方向喷射的喷射单元、和从吸引嘴吸引到达了所述工件的一面的高压气体的吸引单元；供给侧气体流路，其将高压气体向所述喷射单元供给；回收侧气体流路，其将被所述吸引单元吸引的高压气体回收；搬运装置，其搬运所述工件，通过以所述工件的表面与一个所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴相对、所述工件的背面与其他的所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴相对的方式搬运所述工件，利用高压气体而从所述工件的表面及背面剥离后的水分与高压气体一同经由所述吸引嘴以及所述回收侧气体流路而被回收。

【技术特征摘要】
2011.09.30 JP 2011-2162621.一种薄膜状工件的除水系统，其用于将附着在薄膜状工件的表面及背面的水分除去，其特征在于，包括 多个除水头，其具有将高压气体从喷射嘴向所述工件的一面方向喷射的喷射单元、和从吸引嘴吸引到达了所述工件的一面的高压气体的吸引单元； 供给侧气体流路，其将高压气体向所述喷射单元供给； 回收侧气体流路，其将被所述吸引单元吸引的高压气体回收； 搬运装置，其搬运所述工件， 通过以所述工件的表面与一个所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴相对、所述工件的背面与其他的所述除水头的所述喷射嘴以及所述吸引嘴相对的方式搬运所述工件， 利用...

【专利技术属性】
技术研发人员：河野克直，伊藤孝宏，
申请(专利权)人：武藏野机械有限公司，修谷鲁电子机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：