【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种，适用于超声扫描显微镜检测及 超声波C扫描检测领域。二、
技术介绍
超声扫描显微镜是检测电子封装结构内部缺陷的一种非常有效的手段，它是一种 利用聚焦高频超声，通常为IOMHz 2GHz，对物体表面、亚表面及其内部一定深度内的细微 结构显微成像，进行可视化观察的技术，它主要是针对半导体器件、芯片、材料内部的失效 分析，可以检查材料内部的晶格结构，杂质颗粒、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡等。超声扫描显微镜所用的高频聚焦超声换能器是其最关键的部件，它的选取对检测 效果有着很重要的影响。高频聚焦超声换能器的主要性能指标有中心频率、焦距、焦区声束 宽度等，对于超声显微C扫描成像而言，焦区声束宽度越小，扫描出的图像越清晰，即横向 分辨率越高。由于焦区声束宽度除了由换能器本身的透镜几何特征决定之外，换能器的中 心频率对其的影响很大。一般来说，频率越高，焦区声束宽度越窄，横向成像精度越高，因此 在超声显微检测时，一般希望所用换能器的频率越高越好。但是，当换能器的频率提高时， 声强的衰减会迅速增大，其穿透能力会急剧下降，而且一般频率越高，其信噪比越差，回波 信号常湮没在噪声信号中，扫描的图像反而会由于噪点的增加而变得模糊。因此，需要有一 种方法来达到用相对较低频率的超声换能器，来达到较高频率换能器的成像效果。本专利技术 提出的就可以解决这个问题。传统的超声扫描显微镜在成像时使用的都是时域信号，适用信号的幅值或TOF等 来实现C扫描成像。由于超声换能器焦区声束宽度的存在，换能器接收到的信号幅度会被 焦区平均，再加上噪声的影响，成像受焦区的影响很大。本专利技...
【技术保护点】
超声扫描显微镜的频域成像方法，其特征在于：它在对C扫描过程中产生的A扫信号进行全波采集的基础上，对每一个A扫波形的数据闸门内的信号进行快速傅立叶变换(FFT)，找出其中的最大幅值，归一化后用相应的颜色灰度来表示其强度，最后将这些点绘制在屏幕上，即可完成超声显微扫描的频域成像。频域成像能展现传统时域波形难以发现的一些细节，成像相对更加清晰。
【技术特征摘要】
1.超声扫描显微镜的频域成像方法，其特征在于它在对C扫描过程中产生的A扫信号进行全波采集的基础上，对每一个A扫波形的数据闸门内的信号进行快速傅立叶变换(FFT)，找出其中的最大幅值，归一化后用相应的颜色灰度来表示其强度，最后将这些点绘制在屏幕上，即可完成超声显微扫描的频域成像。频域成像能展现传统时域波形难以发现的一些细节，成像相对更加清晰。2.根据权利要求1所述的全波采集，其特征在于A扫描波形窗口中...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐春广，刘中柱，门伯龙，赵新玉，肖定国，郭祥辉，杨柳，李喜朋，阎红娟，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：
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