机器人手以及机器人制造技术

本发明专利技术提供防止高温环境下的劣化的机器人手以及机器人。机器人手和机器人构成为：具备由纤维强化塑料形成的叉，并且所述叉具有通过在外表面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。另外，被覆层例如通过使包含聚酰亚胺的膜材料即聚酰亚胺膜以呈螺旋状的方式卷绕而形成，所述被覆层也可以仅形成在叉的外周面的一部分。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及机器人手以及机器人。
技术介绍
以往，下述机器人已被公知所述机器人具有机器人手，所述机器人手具备多个叉，将玻璃基板等基板载置于所述叉上，进行基板的搬送和相对于货架状的盒的取出和送入。由于大型液晶面板显示器的普及，因而所述机器人有很多处理大型基板的机会。对于所述大型基板，大多采用机器人手，所述机器人手具备纤维强化塑料制的叉，所述纤维强化塑料制的叉轻量且具有与基板重量对应的预定的刚性(例如参照专利文献I)。专利文献1:日本特开平11-176904号公报但是，上述的纤维强化塑料是在耐热性方面存在问题的材料。因此，一般来说，现有的机器人手在烧结炉中烧结而成的玻璃基板的搬送作业中，存在着受到烧结炉的辐射热等而容易劣化的问题。
技术实现思路
实施方式的第一方式就是鉴于上文而完成的，其目的在于提供能够防止高温环境下的劣化的机器人手和机器人。实施方式的第一方式涉及的机器人手具备叉，所述叉由纤维强化塑料形成。叉具有通过在外周面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。实施方式的第二方式所述的机器人手为，在第一方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉以呈螺旋状的方式卷绕有聚酰亚胺膜，所述聚酰亚胺膜为包含聚酰亚胺的膜材料。实施方式的第三方式所述的机器人手为，在第一或第二方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉在所述外周面的一部分具有所述被覆层。实施方式的第四方式所述的机器人手为，在第三方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉是用于载置基板的部件，所述叉在用于载置所述基板的区域的外周面具有所述被覆层。实施方式的第五方式所述的机器人手为，在第一至第四方式中的任意一项所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述被覆层的厚度随着所述叉的部位不同而不同。实施方式的第六方式所述的机器人手为，在第五方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉具有这样的所述被覆层，即在所述部位分别具有与预先估计的温度分布相对应的厚度。实施方式的第七方式所述的机器人手为，在第六方式所述的机器人手的基础上，其特征在于，所述叉的末端部的所述被覆层的厚度比所述叉的基部的所述被覆层的厚度厚。本专利技术还提供具有所述实施方式中的任意一项所述的机器人手的机器人。根据实施方式的上述方式，能够防止高温环境下的劣化。附图说明图1是表示包含实施方式涉及的机器人手和机器人的基板搬送系统的结构例的图。图2A是表示实施方式涉及的机器人手的结构例的图。图2B是表示实施方式涉及的机器人手的结构例的图。图3A是表示叉的内部结构的图。图3B是表示叉的外壳结构的放大图。 图4A是表示聚酰亚胺膜的卷绕方向的图。图4B是表示对被切断的聚酰亚胺膜进行贴附的变形例的图。图5A是表示盖的俯视图和安装前后的样子的图。图5B是沿图5A所示的A-A’线的剖视图。图5C是表示变形例涉及的盖的图。图6A是表示局部地形成聚酰亚胺被覆层的变形例的图。图6B是表示局部地形成聚酰亚胺被覆层的变形例的图。标号说明1:基板搬送系统；10 :机器人(robot) ；11 :升降机构；12 :回转机构；13 :伸缩机构；14 :支承部件；15 :机器人手(hand) ；16 :基座；20 :控制器；30 :盒；100 :基板；150 :叉；150a =CFRP层；150b :聚酰亚胺被覆层;150bl、150b2、150b3 :聚酰亚胺被覆层；150ba :粘接剂;151 :引导件；152 :支承座；153 :传感器；154 :螺纹孔；155 :盖；155a :露出部；155b :插入部；155c :螺纹孔；200 :螺钉。具体实施例方式下面，参照附图详细说明本申请公开的机器人手和机器人的实施方式。另外，本专利技术不受下面所示的实施方式限定。图1是表示包含实施方式涉及的机器人手15和机器人10的基板搬送系统I的结构例的图。另外，为了便于理解说明，在图1中图示了包含以铅直向上为正方向的Z轴的三维正交坐标系。所述正交坐标系在下面说明所采用的其他附图中有时也会示出。如图1所示，基板搬送系统I具有机器人10、控制器20和盒30。机器人10将以多层方式收纳在盒30中的基板100 —张一张地取出和放入并进行搬送。这里，对机器人10的结构例进行说明。如图1所示，机器人10具有升降机构11、回转机构12、伸缩机构13、支承部件14、机器人手15和基座16。升降机构11是支承于基座16的、用于进行沿包含图中的X轴和Z轴的XZ平面升降的动作的机构，所述基座16固定于地板等。回转机构12是支承于升降机构11的、用于进行绕与Z轴平行的旋转轴线回转的动作的机构。伸缩机构13是支承于回转机构12的、用于进行沿XY平面伸缩的动作的机构。另外，在图1中图示了一对伸缩机构13，但为了使附图便于理解，一个伸缩机构13的图示被从中途省略了。机器人10通过这些升降机构11、回转机构12和伸缩机构13构成所谓的多关节臂。另外，所述多关节臂的各关节由未图示的伺服马达进行驱动。控制器20是用于保存所述伺服马达的指示程序，并按照所述指示程序控制多关节臂的动作的控制装置。并且，在该多关节臂的末端部经由支承部件14安装有机器人手15。机器人手15具有一对板状的叉150,用于将基板100载置到所述叉150。另外,下面，有时将叉150的用于载置基板100的一侧的表面记载为“载置面”。而且，叉150由支承部件14进行支承，所述支承部件14被支承在伸缩机构13的端部(即多关节臂的末端部)。盒30是基板100的收纳装置，以使基板100的板面平行地朝向图中的XY平面的方式将基板100以多层方式收纳于所述盒30。并且，机器人10在从盒30搬出基板100时，沿着作为搬出对象的基板100的下表面，将叉150插入以多层方式收纳的基板100的间隔中，从而载置基板100并将基板100搬出。而且，机器人10在将基板100搬入盒30时，在载置有作为搬入对象的基板100的状态下将叉150插入盒30，从而搬入基板100。另外，所述机器人10的搬出和搬入动作在将基板100相对于未图示的烧结炉搬出和搬入时也是同样的。即，将烧结前的基板100—张一张地设置到烧结炉的基板搬入口，将烧结后的基板100—张一张地从烧结炉的基板搬出口取出。此时，受到来自烧结炉的辐射热等。下面，利用图2A和图2B说明实施方式涉及的机器人手15的结构例。图2A和图2B是表不实施方式涉及的机器人手15的结构例的图。另外，图2A表不从Z轴的正方向观察机器人手15时的俯视图，图2B表不从Y轴的正方向观察机器人手15时的侧视图。如图2A和图2B所示，机器人手15具有叉150。叉150是用于载置基板100的部件。另外，在此，示出了具有一对叉150的情形，但叉150的个数不受限定。这里，优选的是，叉150由纤维强化塑料等具有预定的刚性且轻量的材料形成。通过由所述材料形成，即使在载置大型基板100的情况下，也能抑制由于基板100和机器人手15自身的重量所产生的挠曲等。另外，本实施方式中，叉150由以碳纤维作为强化材料的CFRP (Carbon FiberReinforced Plastics)、即所谓的碳纤维强化塑料形成。而且，叉150的基部固定于支承部件14，所述支承部件14安装于上述的多关节臂的末端部。而且，如图2A和图2B所示，I个叉本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机器人手，其特征在于，所述机器人手具备叉，所述叉由纤维强化塑料形成，并且所述叉具有通过在外周面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。

【技术特征摘要】
2011.09.22 JP 2011-2080451.一种机器人手，其特征在于， 所述机器人手具备叉，所述叉由纤维强化塑料形成，并且所述叉具有通过在外周面被覆聚酰亚胺而形成的被覆层。2.根据权利要求1所述的机器人手，其特征在于， 所述叉以呈螺旋状的方式卷绕有聚酰亚胺膜，所述聚酰亚胺膜为包含聚酰亚胺的膜材料。3.根据权利要求1或2所述的机器人手，其特征在于， 所述叉在所述外周面的一部分具有所述被覆层。4.根据权利要求3所述的机器人手，其特征在于， 所述叉是用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：原田修，塚本克则，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：