本实用新型专利技术提供了一种炉管自动恢复系统，包括固态继电器和电压比较器，所述电压比较器设在机台内，所述电压比较器通过第一机台端口与炉丝连接，所述炉丝同时与固态继电器连接，所述固态继电器通过第二机台端口与电压比较器相连。本实用新型专利技术通过电压比较器对加热器是否开路进行了判断，同时通过固态继电器的引入，实现了在炉丝开路情况下对炉丝的重新连通和加热，使得沉积过程能够继续，将突然事故的损失降低到最小，提高了加热器的安全性能。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种炉管的自动恢复系统。
技术介绍
气相沉积是指利用气相中发生的物理化学过程，在材料表面形成具有特种性能的金属或化合物涂层的过程，包括化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）。其中，化学气相沉积(Chemical vapor deposition，简称CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料的工艺技术。它本质上属于原子范畴的气态传质过程。沉积过程是在炉管中进行的，沉积过程中，炉管内运行温度最高达1200℃，炉管内设有加热器，当加热器出现故障，尤其在运行过程中出现故障，将对产品以致命的打击，产品报废将无法避免。在业界还没有能够解决沉积过程中突然故障的有效办法。目前，加热器主要为一根绕成若干炉丝圈的炉丝，造成其损坏通常有两种情况：（1）加热器的加热炉丝断裂开路；（2）加热器的加热炉丝短路烧毁造成炉丝开路。无论哪种情况，只要发生了，炉管内的温度将达不到设定值，即达不到沉积的要求，将会导致产品的报废。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种能够有效解决炉丝开路故障的炉管自动恢复系统。为解决这一技术问题，本技术提供了一种炉管自动恢复系统，所述炉管包括一加热器，所述加热器为一根绕成若干炉丝圈的炉丝，所述炉管自动恢复系统包括固态继电器和电压比较器，所述电压比较器设在机台内，所述电压比较器通过第一机台端口与炉丝连接，所述炉丝同时与固态继电器连接，所述固态继电器通过第二机台端口与电压比较器相连。优选的，在上述的炉管自动恢复系统中，所述固态继电器包括三个端口，两个端口分别连接炉丝的相邻的两个炉丝圈，另一个端口通过第二机台端口与电压比较器连接。优选的，在上述的炉管自动恢复系统中，所述电压比较器通过两个第一机台端口分别连接炉丝的相邻的两个炉丝圈，同时所述电压比较器通过第二机台端口与连接相同炉丝圈的固态继电器连接。优选的，在上述的炉管自动恢复系统中，所述固态继电器通过炉丝上引出的电源节点将所述炉丝连通。优选的，在上述的炉管自动恢复系统中，机台内包括一警报器，所述警报器通过第二机台端口与所述固态继电器连接。本技术通过电压比较器对加热器是否开路进行了判断，同时通过固态继电器的引入，实现了在炉丝开路情况下对炉丝的重新连通和加热，使得沉积过程能够继续，将突然事故的损失降低到最小，提高了加热器的安全性能。附图说明图1是本技术一实施例的炉管自动恢复系统的结构示意图；图2是本技术一实施例的炉管自动恢复系统的电源接点的示意图；图3是本技术一实施例的炉管自动恢复系统的控制信号示意图；图中，100—炉丝；101—固态继电器；102—电压比较器；103—机台；104—警报器；105—第一机台端口；106—第二机台端口；107—第一电源接点；108—第二电源接点。具体实施方式以下将对本技术的炉管自动恢复系统作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参照附图1，并结合附图2，本实施例提供了一种炉管自动恢复系统，用于实现对炉管的自动恢复，所述炉管包括一加热器，所述加热器为一根绕成若干炉丝圈的炉丝100，所述炉管自动恢复系统包括固态继电器101和电压比较器102，所述电压比较器102设在机台103内，所述电压比较器102通过第一机台端口105与炉丝100连接，所述炉丝100同时与固态继电器101连接，所述固态继电器101通过第二机台端口106与电压比较器102相连。请参考图3，当沉积系统运行过程中，机台103发出运行信号，炉管对炉丝100进行加热，本实施例通过电压比较器102对加热器即炉丝100是否开路进行了判断，如果发生开路，电压比较器102则会给固态继电器101发出触发信号，接收到触发信号的固态继电器101开始运作，实现对炉丝100的重新连通，进而加热，使得沉积过程能够继续，将突然事故的损失降低到最小，提高了加热器的安全性能。所述固态继电器101包括三个端口，两个端口分别连接炉丝100的相邻的两个炉丝圈，另一个端口通过第二机台端口106与电压比较器102连接。所述电压比较器102通过两个机台端口分别连接炉丝100的相邻的两个炉丝圈，同时所述电压比较器102通过机台103与连接相同炉丝圈的固态继电器101连接。每一层炉丝圈均与固态继电器101和电压比较器102连接，可以更有效、充分地对开路的炉丝100进行加热，以保证每一个炉丝圈内发生开路本实施例提供的炉管自动恢复系统都能起到作用。炉丝100通过引出的电源接点被所述固态继电器101连通。请参考图2，相邻的两个炉丝圈上均设有第一电源接点107和第二电源接点108，两个电源接点被导线连通并连接到固态继电器101上。当炉丝100发生开路时，电压比较器102检测到开路并向固态继电器101发出触发信号，固态继电器101开始运作，第一电源接点107和第二电源接点108通过固态继电器101连通，即所述固态继电器101通过炉丝100上引出的电源节点（第一电源节点107和第二电源节点108）将所述开路的炉丝连通。从而实现炉丝100的再连接。机台103内包括一警报器104，所述警报器104通过第二机台端口106与所述固态继电器101连接。请参考图1和图3，断裂的炉丝100通过引出的第一电源接点107和第二电源接点108被继电器连通，进而进行加热，同时任意固态继电器101的运作<本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种炉管自动恢复系统，所述炉管包括一加热器，所述加热器为一根绕成若干炉丝圈的炉丝，其特征在于：所述自动恢复系统包括固态继电器和电压比较器，所述电压比较器设在机台内，所述电压比较器通过第一机台端口与炉丝连接，所述炉丝同时与固态继电器连接，所述固态继电器通过第二机台端口与电压比较器相连。
【技术特征摘要】
1.一种炉管自动恢复系统，所述炉管包括一加热器，所述加热器为一根绕成
若干炉丝圈的炉丝，其特征在于：所述自动恢复系统包括固态继电器和电压比
较器，所述电压比较器设在机台内，所述电压比较器通过第一机台端口与炉丝
连接，所述炉丝同时与固态继电器连接，所述固态继电器通过第二机台端口与
电压比较器相连。
2.如权利要求1所述的炉管自动恢复系统，其特征在于：所述固态继电器包
括三个端口，两个端口分别连接炉丝的相邻的两个炉丝圈，另一个端口通过第
二机台端口与...
【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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