无扩散泵式复合膜镀膜机制造技术

本发明专利技术涉及加热技术领域，具体涉及一种真空镀膜机。无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，抽真空系统连接镀膜室为镀膜室抽取真空，抽真空系统中设有真空泵系统，真空泵采用罗茨泵系统。罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效果好、即时启动等优点。有助于提高整个无扩散泵式复合膜镀膜机的性能稳定性，并提高镀膜质量，以及大大降低能耗。罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统，高真空多级罗茨泵系统由至少两台罗茨泵单体逐级连接构成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及加热
，具体涉及一种真空镀膜机。
技术介绍
在卷绕式真空镀膜机中，装有送料辊、冷却滚筒，以及展平辊。送料辊上装有基体膜卷。基体膜卷上的基体膜依次绕过冷却滚筒、展平辊。通过展平辊对基体膜进行展平，在展平后对通过蒸发源将金属蒸汽蒸到基体膜上，完成镀膜操作。在镀膜工作中至少有送料辊、冷却滚筒、展平辊，三个旋转部件需要精确配合工作。因为基体膜非常薄，非常脆弱，在这些旋转部件进料速度出现差池后，很容易造成基体膜撕裂的故障。要精确控制三个部件的进料速度完全同步非常困难，需要复杂的机械机构，·以及自动化系统进行支持，会带来成本高。另外传统的真空镀膜机，采用的真空泵都是扩散泵。扩散泵存在耗能高、启动时间长、抽真空效果差等问题。扩散泵所消耗的能耗，已经占据了整个真空镀膜机的能耗的一大部分。在镀膜工作中至少有送料辊、冷却滚筒、展平辊，三个旋转部件需要精确配合工作。因为基体膜非常薄，非常脆弱，在这些旋转部件进料速度出现差池后，很容易造成基体膜撕裂的故障。要精确控制三个部件的进料速度完全同步非常困难，需要复杂的机械机构，以及自动化系统进行支持，会带来成本高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种无扩散泵式复合膜镀膜机，以解决上述技术问题。本专利技术所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，所述抽真空系统连接所述镀膜室为所述镀膜室抽取真空，其特征在于所述抽真空系统中设有真空泵系统，所述真空泵采用罗茨泵系统。罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效果好、即时启动等优点。有助于提高整个无扩散泵式复合膜镀膜机的性能稳定性，并提高镀膜质量，以及大大降低能耗。所述罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统，所述高真空多级罗茨泵系统由至少两台罗茨泵单体逐级连接构成；所述罗茨泵单体包括一罗茨泵主体，所述罗茨泵主体设有一进气口，以及一出气口，所述罗茨泵主体包括一罗茨泵腔，所述罗茨泵腔底部设有一底座，所述进气口和所述出气口分别设置在所述罗茨泵腔两侧。原有的罗茨泵单体的进气口和出气口都是分别设置在上方和下方。在将多个罗茨泵单体组合成高真空多级罗茨泵时，因为受到高度限制，只能是将多个罗茨泵单体水平放置。多个水平放置的罗茨泵单体连接过程中需要用到大量连接管路以及转弯接头。连接管路和转弯接头造成系统复杂化，同时会为空气流动造成阻力，影响抽真空效果。本专利技术将进气口和出气口设置在两侧，各个罗茨泵单体间可以较为直接的进行多级连接，省去大量连接管路和转弯接头，进而简化系统，降低空气流通阻力，提高抽真空效果。所述进气口设有锁紧接头，所述出气口设有与所述锁紧接头配套的锁紧接口。组合成高真空多级罗茨泵过程中，在连接多个罗茨泵主体时，可以直接将上级罗茨泵主体的所述出气口上的所述锁紧接口，连接次级罗茨泵主体的所述进气口的所述锁紧接头。从而直接省略连接管路，进一步简化结构，降低空气流通阻力，和提供抽真空效果。所述锁紧接头与所述锁紧接口距离所述底座的底部的高度相等。以便于在平整的底面上直接对接安装。 所述罗茨泵主体还包括一提供动力的电机，所述电机设有电机外壳，所述电机外壳为密封腔体结构，所述电机外壳与所述罗茨泵腔联通。因为将电机封存在所述电机外壳内，而所述电机外壳与所述述罗茨泵腔联通，所以可以省去电机转轴与罗茨泵主体内的转子连接时使用的密封系统，并提高系统可靠性，以及提供工作效率。但是这会使电机处于真空状态下运行。所以需要使用真空电机。所述电机采用一水冷式真空密封电机，所述水冷式真空密封电机包括转子和定子，所述定子上设有由导线绕制而成的定子线圈，所述导线外套有塑料套管。通过塑料套管将导线密封，进而实现与外部的绝缘，杜绝因为电离离子或者导电粒子的存在造成短路烧毁电机的风险。所述转子上设有有导线绕制而成的转子线圈，绕制所述转子线圈的导线外套有塑料套管。也可以，所述转子采用永磁转子。水冷式真空密封电机构成永磁电机结构，以节省能源，并减小提交。还包括一水冷系统，所述水冷系统包括一水循环系统和一驱动水循环的驱动系统，所述水循环系统包括一散热管，所述散热管绕制在所述定子上。通过散热管吸收定子上的热量，进而避免定子因无法散热而造成过热，损坏设备，甚至烧毁。所述塑料套管采用橡胶套管。以保证结构牢固。所述镀膜室内设有高低可调节蒸发箱系统，所述蒸发箱系统内设有作为蒸发源的蒸发箱，所述蒸发箱设置在一蒸发箱支架上，所述蒸发箱通过一升降机构连接所述蒸发箱支架。通过上述设计，允许蒸发箱在升降机构的作用下调整高度，以便于实现对镀层的厚度、均匀度调整。相对一传统的结构，本专利技术所生产的产品更加丰富。所述升降机构采用一电动升降机构，所述电动升降机构包括一连接所述蒸发箱的升降部件，所述升降部件通过一减速机构连接一伺服电机，所述伺服电机的控制端连接一控制系统，所述控制系统设有一人机交互机构。通过人机交互系统，控制伺服电机的工作状态，进而控制升降部件升降，再进而控制所述蒸发箱升降。所述电动升降机构还设有一定位锁紧机构，所述定位锁紧机构设有一锁紧部件，所述锁紧部件连接一电动机构，所述电动机构的控制端连接所述控制系统，受所述控制系统控制。在蒸发箱的高度调整到合适位置时，通过所述锁紧机构对升降机构进行锁紧，进而实现牢固定位，以便于稳定工作。所述镀膜室内设有送料辊、冷却滚筒、展平辊，所述展平辊采用滑差式展平辊，所述滑差式展平辊包括一展平辊辊体，所述展平辊辊体连接转轴，所述展平辊辊体包括一辊筒、一辊芯，所述辊筒为筒状，所述辊芯为管状；所述辊筒套接在所述辊芯外，构成滑动连接；所述转轴连接到所述辊芯上。 通过上述设计，将展平辊辊体分成辊筒与辊芯两部分，并且构成滑动连接关系。在展平辊主体与其他部件在进料速度上出现不匹配时，在基体膜的拉力下，所述辊筒相对于辊芯产生相对滑动，在转动关系上产生滑差，通过滑差消除展平辊主体与其他部件在进料速度上出现的不匹配关系，从而避免基体膜在拉力下损坏的可能性。所述辊筒套接在所述辊芯外，并在所述辊筒套接与所述辊芯之间填充阻尼油。通过阻尼油实现阻尼作用。还可以，所述辊筒与所述辊芯之间设有阻尼器件，通过所述阻尼器件所述辊筒与所述辊芯连接在一起。所述阻尼器件可以采用轴承，轴承的滚珠与轴承支架间充有阻尼油。通过阻尼油实现阻尼作用。通过上述设计，有效消除了展平辊与其他转动部件在进料时因为进料速度不匹配，造成对基体膜不匹配的问题。相对于以往通过复杂的机械机构和自动化系统进行支持的方式，具有结构简单、成本低、性能稳定等特点。所述冷却滚筒采用伸缩冷却滚筒，包括一辊筒套、一冷却滚筒芯，所述辊筒套在所述冷却滚筒芯外，所述辊筒套为筒状，所述冷却滚筒芯为管状；所述辊筒套接在所述辊芯外；还包括一冷却液输送管路，所述冷却液输送管路呈螺旋状绕制在所述冷却滚筒芯外侧。上述设计中通过螺旋状的冷却液输送管路，为冷却滚筒芯输送冷却液，进而使套在外部的辊筒套获得冷却，再进而使绕在上面的基体膜获得冷却。所述冷却液输送管路采用金属波纹管。可以采用钢制的金属波纹管。通过金属波纹管上的波纹结构的弹性，吸收掉热胀冷缩带来的长度变化，避免因为长度变化造成的设备损坏。所述冷却液输送管路固定在所述冷却滚筒芯外侧，所述辊筒套在所述冷却液输送管路外，并与所述冷却滚筒芯转动连接。所本文档来自技高网...

【技术保护点】
无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，所述抽真空系统连接所述镀膜室为所述镀膜室抽取真空，其特征在于：所述抽真空系统中设有真空泵系统，所述真空泵采用罗茨泵系统。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈生贩，陈显东，江裕捺，陈生镇，陈发杰，
申请(专利权)人：上海宏昊企业发展有限公司，
类型：发明
国别省市：