玻璃微结构加氢正压热成型方法技术

本发明专利技术提供一种玻璃微结构加氢正压热成型方法，包括以下步骤：在衬底上刻蚀形成微型凹槽阵列；将玻璃片与上述衬底粘结，使得微型凹槽密封；将上述粘结好的玻璃片和衬底放置在高压氢气中加热，加热温度低于玻璃的软化点温度，并保温，使氢气渗透至微型凹槽内，直至微型凹槽内外压力达到平衡；将上述玻璃片和衬底在0-1大气压力的氛围下加热至玻璃软化点温度及以上并保温，待密封的微型凹槽内压缩氢气膨胀产生正压力使得密封腔体对应的玻璃成型后，再冷却到常温，得到圆片级玻璃微腔阵列。本发明专利技术利用加热状态下高压氢能够快速透过玻璃扩散入密封微槽内的特点，使玻璃热成型压力在宽范围可调，具有低成本、样品缺陷少的优点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种玻璃微结构加氢正压热成型方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，在衬底（1）上刻蚀形成微型凹槽（2）阵列；第二步，将玻璃片（6）与上述衬底（1）粘结，使得微型凹槽（2）密封；第三步，将上述粘结好的玻璃片（6）和衬底（1）放置在高压氢气中加热，加热温度低于玻璃的软化点温度，并保温，使氢气渗透至微型凹槽（2）内，直至微型凹槽（2）内外压力达到平衡；第四步，将上述玻璃片（6）和衬底（1）在0?1大气压力的氛围下加热至玻璃软化点温度或以上并保温，待密封的微型凹槽（2）内压缩氢气膨胀产生正压力使得密封腔体对应的玻璃成型后，再冷却到常温，得到圆片级玻璃微腔（8）阵列。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：尚金堂，邹羽，吉宇，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：