【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种生产用化学药品的容器,尤其涉及一种用于装载扩散液态源的源瓶。
技术介绍
目前太阳能电池生产制造扩散过程中,多采用液态源POCUt为磷源掺杂剂。在实际生产过程中,源瓶的进气管通入气体的N2,由N2携带POCl3通过源瓶的出气管送出,进入下一道工序进行生产,随生产的进行,液态源的液面在不断下降,从而减小了,N2的携源量,从而进入扩散炉管的POCl3量减少。为保证产品质量,得到稳定的方块电阻,要求源瓶液位高度必须3 3cm,即淹没进气管道2cm以上,这样对于源瓶内部剩余的POCl3只能报废处理,造成了生产成本的增加,以1500ml源瓶为例,其在3cm液位时溶液体积为400ml,这些被浪费的POCl3也会在废液处理过程对环境的污染。如专利公告号为CN201804844的专利公开了一种用于扩散工艺的源瓶,在瓶体底面局部向下凹陷形成一集源槽,进气管向瓶体内部延伸至接近所述集源槽的底面。该技术提高了源的利用率,降低了生产成本,但这种结构的集源瓶需要在瓶体底部加装支撑,放置稳固度不高,在通入气体时易引起震动,降低了可靠性。
技术实现思路
本技术为解决现有技术问题,提供一种利用率高、生产成本低、可靠性好的用于装载扩散液态源的源瓶。本技术的技术方案是一种用于装载扩散液态源的源瓶,包括瓶体,该瓶体设置有出口位于所述瓶体底部的进气管和入口位于所述瓶体上部的出气管,其特征在于所述瓶体的底部设置有集源槽,所述进气管下端的进气孔设置于所述集源槽内;所述瓶体底部设置有加厚部,所述加厚部与所述集源槽位于所述瓶体底部的不同位置。在源瓶的瓶底设置集源槽,并使进气管的管口处于集源槽内,以 ...
【技术保护点】
一种用于装载扩散液态源的源瓶,包括瓶体(1),该瓶体(1)设置有出口位于所述瓶体(1)底部的进气管(2)和入口位于所述瓶体(1)上部的出气管(3),其特征在于:所述瓶体(1)的底部设置有集源槽(5),所述进气管(2)下端的进气孔(21)设置于所述集源槽(5)内;所述瓶体(1)底部设置有加厚部(6),所述加厚部(6)与所述集源槽(5)位于?所述瓶体(1)底部的不同位置。
【技术特征摘要】
1.一种用于装载扩散液态源的源瓶,包括瓶体(1),该瓶体(I)设置有出口位于所述瓶体(I)底部的进气管(2)和入口位于所述瓶体(I)上部的出气管(3),其特征在于所述瓶体(I)的底部设置有集源槽(5 ),所述进气管(2 )下端的进气孔(21)设置于所述集源槽(5 )内;所述瓶体(I)底部设置有加厚部(6),所述加厚部(6)与所述集源槽(5)位于所述瓶体(I)底部的不同位置。2.根据权利要求I所述用于装载扩散液态源的源瓶,其特征在于所述集源槽(5)呈柱形。3.根据权利要求I或2所述用于装载扩散液态源的源瓶,其特征在于所述瓶体(I)还设置有温度感应器(4),该温度感应器(4)的探头设置于所述集源槽(5)内。4.根据权利要求3所述用于装载扩散液态源的源瓶,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘元来,欧阳辉,王虎,陆波,姚琪,
申请(专利权)人:浙江贝盛光伏股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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