顶撑传动检测控制方法、装置、系统及干刻设备制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液晶显示器制造技术领域，公开了一种顶撑传动检测控制方法、装置、系统及干刻设备，以减少顶撑设备的维修时间，提高干刻设备稼动率。所述控制系统包括：顶撑设备，包括至少两组支撑组件，每组支撑组件包括：气缸、与气缸的活塞连接的气缸杆、与气缸杆连接的驱动轴、与驱动轴连接的至少一个丝杠，以及对应每个丝杠连接的连接杆和与连接杆连接用于支撑基板的支撑杆；多个气压计，每个气压计与一个气缸对应连接；控制设备，信号连接每一个气压计，针对每一组支撑组件，用于根据气压变化量得到支撑杆的当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间；显示设备，信号连接控制装置，用于显示所述当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示器制造
，特别涉及一种顶撑传动检测控制方法、装置、系统及干刻设备。
技术介绍
干刻，即干法刻蚀，是生产薄膜晶体管液晶显示器的关键技术之一。在干刻设备的结构设计中，顶撑设备设置于一个腔体中，是基板的传动部件，其主要作用是传动支撑进入腔体后的基板。如图I和图2所示，现有技术中的顶撑设备包括可支撑基板的四个支撑杆1，每个所述支撑杆I固定连接有连接杆2和带动所述连接杆2转动的丝杠3，还包括气缸4，气缸4两侧的气缸杆分别通过一根驱动轴5与两个丝杠3连接并驱动两个丝杠3转动。在干刻设备运行中，经常出现驱动轴5旋转超时或旋转角度不够等旋转异常情况，此时只能打开腔体人工观察和记录驱动轴5的旋转情况并手动调节气缸4的气压以保证该顶撑设备的驱动轴正常工作进而使设备能够正常工作。现有技术存在的缺陷在于，干刻设备中顶撑设备的维修较费时，干刻设备的稼动率较低。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种顶撑传动检测控制方法、装置、系统及干刻设备，用以减少干刻设备中顶撑设备的维修所需的时间，进而提高干刻设备的稼动率。为了达到上述目的，本专利技术提供如下技术方案—种顶撑传动检测控制系统,包括顶撑设备，包括至少两组支撑组件，每组支撑组件包括气缸、与气缸的活塞连接的气缸杆、与气缸杆连接的驱动轴、与驱动轴连接的至少一个丝杠，以及对应每个丝杠连接的连接杆和与连接杆连接用于支撑基板的支撑杆；多个气压计，每个气压计与一个气缸对应连接，用于测量对应气缸内的气压变化量;控制设备，信号连接每一个气压计，针对每一组支撑组件，用于根据气压变化量和支撑杆旋转角度的对应关系得到支撑杆的当前旋转角度，根据气压变化量和支撑杆旋转速度的对应关系得到支撑杆的当前旋转速度，根据气压变化量和支撑杆旋转时间的对应关系得到支撑杆的当前旋转时间；显示设备，信号连接所述控制装置，用于显示每一组支撑组件的支撑杆的当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间。一种干刻设备，包括前述技术方案所述的顶撑传动检测控制系统。一种顶撑传动检测控制方法，包括获取每一个气压计所测量的对应气缸的当前气压变化量；针对每一组支撑组件，根据气压变化量和支撑杆旋转角度的对应关系得到支撑杆的当前旋转角度，根据气压变化量和支撑杆旋转速度的对应关系得到支撑杆的当前旋转速度，根据气压变化量和支撑杆旋转时间的对应关系得到支撑杆的当前旋转时间，并将所述当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间输出给显示设备。一种顶撑传动检测控制装置，包括获取单元，用于获取获得每一个气压计所测量的对应气缸的当前气压变化量；控制单元，用于针对每一组支撑组件，根据气压变化量和支撑杆旋转角度的对应关系得到支撑杆的当前旋转角度，根据气压变化量和支撑杆旋转速度的对应关系得到支撑杆的当前旋转速度，根据气压变化量和支撑杆旋转时间的对应关系得到支撑杆的当前旋转时间，并将所述当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间输出给显示单元。在本专利技术技术方案中，由于控制设备可根据气压变化量和支撑杆旋转角度的对应关系得到支撑杆的当前旋转角度，根据气压变化量和支撑杆旋转速度的对应关系得到支撑杆的当前旋转速度，根据气压变化量和支撑杆旋转时间的对应关系得到支撑杆的当前旋转时间，并将所述当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间输出给显示设备显示，这样操作人员可以实时得知设备的工作状况，当确定设备出现异常时，及时手动调整气缸的气压， 而不必再打开设备腔体人工观察驱动轴的转动情况，简化了顶撑设备的故障处理流程，节省了维修时间，提高了干刻设备的稼动率。附图说明图1为现有技术顶撑设备主视图2为现有技术顶撑设备俯视图3为本专利技术实施例提供的顶撑传动检测控制系统主视图4为本专利技术实施例提供的顶撑传动检测控制方法流程示意图; 图5为本专利技术实施例提供的顶撑传动检测控制装置结构示意图。附图中标记如下1-支撑杆 2-连接杆3-丝杠4-气缸 5-驱动轴6-气压计7_控制设备 8-显不设备100-获取单元200-控制单元9-气缸杆具体实施方式本专利技术的目的在于提供一种顶撑传动检测控制方法、装置、系统及干刻设备，用以减少干刻设备中顶撑设备的维修所需的时间，进而提高干刻设备的稼动率。如图3所示，本专利技术实施例所提供的顶撑传动检测控制系统，包括顶撑设备，包括至少两组支撑组件，每组支撑组件包括气缸4、与气缸的活塞连接的气缸杆9、与气缸杆9连接的驱动轴(图中未示出)、与驱动轴连接的至少一个丝杠3，以及对应每个丝杠3连接的连接杆2和与连接杆2连接用于支撑基板的支撑杆I ;多个气压计6，每个气压计6与一个气缸4对应连接，用于测量对应气缸4内的气压变化量；控制设备7，信号连接每一个气压计6，针对每一组支撑组件，用于根据气压变化量和支撑杆旋转角度的对应关系得到支撑杆I的当前旋转角度，根据气压变化量和支撑杆旋转速度的对应关系得到支撑杆I的当前旋转速度，根据气压变化量和支撑杆旋转时间的对应关系得到支撑杆I的当前旋转时间；显示设备8，信号连接所述控制装置7，用于显示每一组支撑组件的支撑杆I的当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间。本专利技术实施例所提供的顶撑传动检测控制系统的工作过程如下各组支撑组件的气缸4开启后，气压计6测量每个气缸4的气压变化量，控制设备7获取各个气压计6的检测结果，根据气压变化量和支撑杆旋转角度的对应关系得到支撑杆I的当前旋转角度，根据气压变化量和支撑杆旋转速度的对应关系得到支撑杆I的当前旋转速度，根据气压变化量和支撑杆旋转时间的对应关系得到支撑杆I的当前旋转时间，显示设备8进一步将控制设备7计算得到的每一组支撑组件的支撑杆I的当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间显示在显示屏上。这样，操作人员可以实时得知设备的工作状况，当确定设备出现异常时，及时手动调整气缸的气压，而不必再打开设备腔体人工观察驱动轴的转动情况，简化了顶撑设备的故障处理流程，节省了维修时间，提高了干刻设备的稼动率。支撑组件的数量应至少为两组，具体数量不限。在图3所示的实施例中，支撑组件为两组，每组支撑组件对应两组丝杠3、连接杆2和支撑杆I。支撑组件所包含丝杠3、连接杆2和支撑杆I的组数也可以为其它数量，这里不做限制。优选的，所述控制设备7，进一步用于针对每一组支撑组件，当所述当前旋转角度、 当前旋转速度和当前旋转时间任一超出设定的传动参数规格范围时，输出传动异常警报信息；所述显示设备8，进一步用于显示所述传动异常警报信息。这样，操作人员可以更加直观的判断传动是否发生异常，而无需人工将当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间与设定的传动参数规格范围进行比较，进一步节省了时间，提高了操作维修效率。更优的，该顶撑传动检测控制系统还包括存储设备(图中未示出)，用于存储每一组支撑组件的历史旋转角度、历史旋转速度和历史旋转时间；所述控制设备7，信号连接所述存储设备，进一步用于针对每一组支撑组件，根据存储设备所存储的历史旋转角度、历史旋转速度和历史旋转时间得到传动历史记录分析信息；所述显示设备8，进一步用于显示所述传动历史记录分析信息。存储设备可以为独立的物理实体，也可以集成于控制设备7 中。传动历史记录分析信息可以体现为图表等形式，这样，操作人员可以直观的监控传动历史，利用其统计发现积累性传动异常，并及时进行调整，不但提高了操本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种顶撑传动检测控制系统，其特征在于，包括：顶撑设备，包括至少两组支撑组件，每组支撑组件包括：气缸、与气缸的活塞连接的气缸杆、与气缸杆连接的驱动轴、与驱动轴连接的至少一个丝杠，以及对应每个丝杠连接的连接杆和与连接杆连接用于支撑基板的支撑杆；多个气压计，每个气压计与一个气缸对应连接，用于测量对应气缸内的气压变化量；控制设备，信号连接每一个气压计，针对每一组支撑组件，用于根据气压变化量和支撑杆旋转角度的对应关系得到支撑杆的当前旋转角度，根据气压变化量和支撑杆旋转速度的对应关系得到支撑杆的当前旋转速度，根据气压变化量和支撑杆旋转时间的对应关系得到支撑杆的当前旋转时间；显示设备，信号连接所述控制装置，用于显示每一组支撑组件的支撑杆的当前旋转角度、当前旋转速度和当前旋转时间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵吾阳，倪水滨，欧飞，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：