【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种石墨工艺钉,特别涉及一种上下配合的分体石墨工艺钉。技术背景太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜,其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中,经过一定的条件产生化学反映,在娃片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率,现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上,每个舟片上可放固定数量的硅片,然后,将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内,采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后,取出石墨舟,将硅片从石墨舟上卸取下来。 石墨工艺钉用于限定硅片的位置,通常由2-3个石墨工艺钉组合成一定角度,有效限定硅片的位置,常用的石墨工艺钉为菱形或圆柱形一体结构的石墨工艺钉,安装在石墨舟上时,为依靠外力挤压,压紧。这种安装方式,随意性较大,不牢靠,经过一定时间的使用,易发生松动,造成硅片的镀膜时的质量的下降,颜色不一等。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述不足,提供一种安装紧固,牢靠的石墨工艺钉。实现本技术目的技术方案是一种石墨工艺钉,为分体结构,具有卡帽和与之相配合的卡柱。上述石墨工艺钉,所述卡帽具有圆形卡帽底座和横截面直径小于卡帽底座的圆柱形卡帽突出部,其中卡帽突出部内部有内螺纹。上述石墨工艺钉,所述卡柱由卡柱底座和卡柱突出部组成,其中卡柱突出部具有与卡帽突出部的内螺纹相配合的外螺纹。本技术具有积极的效果(I)结构简单,容易加工;(2)采用分体结构,利用螺纹安装,紧固,不易 ...
【技术保护点】
一种石墨工艺钉,其特征在于:为分体结构,具有卡帽(1)和与之相配合的卡柱(2)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴建洪,
申请(专利权)人:常州市立新石墨有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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