石墨舟陶瓷圈制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面，内表面，内表面上开设导流槽；所述外表面直径为8mm；内表面直径为?6.3?mm。本实用新型专利技术结构简单，实用；形状尺寸合适，便于放入硅片，不易发生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；直径小，轻便，节能环保。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种陶瓷圈，特别涉及一种石墨舟陶瓷圈。
技术介绍
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率。这个工序就用到石墨舟。把硅片放到石墨舟中，经过一定的条件产生化学反映，在娃片表面镀上一层膜。石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率，现有石墨舟包括石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放·电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。石墨舟上固定有不同数量的石墨舟片，石墨舟片是用陶瓷杆穿套起来的，石墨舟片之间依靠同样穿套在陶瓷杆上的陶瓷圈来控制距离。硅片非常轻薄，厚度为18丝，且易碎。在将硅片放入石墨舟中时，现有陶瓷圈形状不便，尺寸过大，常因为硅片碰到陶瓷圈发生碎裂，且陶瓷圈取出和放置时不方便，且清洗时清洗的强酸不易排出，容易腐蚀陶瓷圈。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述不足，提供一种形状及大小合适，方便硅片放入，易排出清洗强酸的陶瓷圈。实现本技术目的技术方案是一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面，内表面，内表面上开设导流槽；所述外表面直径为8mm ;内表面直径为6. 3 mm。上述石墨舟陶瓷圈,在主体圆环状结构上末端有一个半圆形缺口。本技术具有积极的效果(1)结构简单，实用；(2)形状尺寸合适，便于放入硅片，不易发生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；(3)直径小，轻便节能环保。附图说明为了使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明，其中图I为本技术结构示意图。其中1外表面，2内表面，3导流槽。具体实施方式实施例(I)见图1，本技术石墨舟陶瓷圈，其为圆环状结构，包括外表面1，内表面2，外表面直径为8mm ;内表面直径为6. 3mm ;内表面上开设导流槽,在主体圆环状结构上末端有一个半圆形缺口。以上所述的具体实施例，对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之 内。权利要求1.一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面(1)，内表面(2)，其特征在于内表面(2)上开设导流槽(3);所述外表面(I)直径为8mm ;内表面(2)直径为6. 3 mm。2.根据权利要求I所述石墨舟陶瓷圈，其特征在于在主体圆环状结构上末端有一个半圆形缺口。专利摘要本技术涉及一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面，内表面，内表面上开设导流槽；所述外表面直径为8mm；内表面直径为 6.3 mm。本技术结构简单，实用；形状尺寸合适，便于放入硅片，不易发生硅片因碰撞陶瓷圈而碎裂；直径小，轻便，节能环保。文档编号H01L21/673GK202796888SQ20122040603公开日2013年3月13日 申请日期2012年8月15日 优先权日2012年8月15日专利技术者吴建洪 申请人:常州市立新石墨有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨舟陶瓷圈，其主体为圆环状结构，包括外表面（1），内表面（2），其特征在于：内表面（2）上开设导流槽（3）；所述外表面（1）直径为8mm；内表面（2）直径为?6.3?mm。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建洪，
申请(专利权)人：常州市立新石墨有限公司，
类型：实用新型
国别省市：