区熔石墨舟制造技术

技术编号:8429981 阅读:122 留言:0更新日期:2013-03-16 18:01
本实用新型专利技术涉及一种区熔石墨舟,具有石墨舟本体(1),开设在石墨舟本体(1)内部的凹槽(2),所述石墨舟本体(1)中还具有杂质凹槽(3),凹槽(2)与杂质凹槽(3)之间由隔块(4)间隔开。本实用新型专利技术采用两段设计,能够对杂质流动有较好的导向性;具有单独的杂质储存区域,提高提纯效率。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

区熔石墨舟
本技术涉及一种石墨舟,特别涉及一种区熔石墨舟。
技术介绍
区熔法是一种利用局部区域熔化后,通过熔区的运动进行提纯的方法,它是一种制备高纯单晶的方法,广泛应用于硅锗等单晶的制备。区熔法主要可分为水平区熔法和悬浮区熔法两种,两种方法生产工艺不同。物质的固相和液相在密度差的驱动下,均会发生运动,因而可通过区域熔炼控制或者重新分配存在于原料纸的可溶性杂质。同时区熔法可有效消除分凝效应,也可将所期望的杂质均匀掺入晶体中,并在一定程度上控制盒消除位错、包裹体等结构缺陷。区熔法是利用热能在半导体棒料的一端产生一熔区,再熔接单晶籽晶。调节温度使熔区缓慢地向棒的另一端移动,通过整根棒料,生长成一根单晶,晶向与籽晶晶向相同。 区熔法适宜生长那些在熔点温度时具有非常强的溶解能力的材料,可生长熔点极高或活性较强的材料。区熔法主要分为两种,即水平区熔法和悬浮区熔法。水平区熔提纯是只把材料锭的一部分熔化形成熔区,并使熔区从锭条的一端移动另一端。因为每次熔化的仅是锭条的一部分,当熔区第二次在锭首时,由于杂质浓度较高的尾部没被熔化,所以小熔区中的杂质浓度一定比原来锭的杂质浓度要小,熔区移动后,新凝固的固相杂质浓度要比第一次小。这样当熔区一次次通过锭条时,材料就能逐渐被提纯,使中间部分纯度达到要求的程度。生产中,锗锭放在一个清洁处理过的高纯区熔石墨舟中,舟放入石英管中,区熔时,石英管内填充氢气或其他惰性气体保护或者抽真空,防止锗在高温时被氧化。现有区熔石墨舟为整体结构,杂质的流动仅仅靠区熔过程中产生的动力,影响到提纯的质量,无杂质储存的区域,不易区分杂质。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述不足,提供一种杂质流动具有更好的导向性,且具有存放杂质的区域的,区熔石墨舟 。实现本技术目的的技术方案是一种区熔石墨舟,具有石墨舟本体,开设在石墨舟本体内部的凹槽,所述石墨舟本体中还具有杂质凹槽,凹槽与杂质凹槽之间由隔块间隔开。上述的区熔石墨舟,所述杂质凹槽与凹槽的接触面为梯形结构,另一端即尾端为半圆形。上述的区熔石墨舟,所述杂质凹槽的深度为凹槽深度的60%。上述的区熔石墨舟,所述杂质凹槽与凹槽的长度比为1:7。上述的区熔石墨舟,所述隔块(为轴截面为梯形的隔块。本技术具有积极的效果(I)采用两段设计,能够对杂质流动有较好的导向性;(2)具有单独的杂质储存区域,提闻提纯效率。附图说明为了使本技术的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本技术作进一步详细的说明,其中图I为本技术的结构示意图的俯视图;图2为本技术的剖面示意图。其中I石墨舟本体,2凹槽,3杂质凹槽,4隔块。具体实施方式见图1,本技术具有石墨舟本体1,开设在石墨舟本体I内部的凹槽2,凹槽2 两个顶端间的长度为405mm,深度为36mm ;石墨舟本体I中还具有杂质凹槽3,凹槽3的长度为57mm,深度为21. 6mm,凹槽2与杂质凹槽3之间由隔块4间隔开,隔块4的轴截面为梯形,杂质凹槽3与凹槽2的接触面为梯形,另一端即尾端为半圆形。以上所述的具体实施例,对本技术的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本技术的具体实施例而已,并不用于限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种区熔石墨舟,具有石墨舟本体(I),开设在石墨舟本体(I)内部的凹槽(2 ),其特征在于所述石墨舟本体(I)中还具有杂质凹槽(3),凹槽(2)与杂质凹槽(3)之间由隔块(4)间隔开。2.根据权利要求I所述的区熔石墨舟,其特征在于所述杂质凹槽(3)与凹槽(2)的接触面为梯形,另一端即尾端为半圆形。3.根据权利要求I所述的区熔石墨舟,其特征在于所述杂质凹槽(3)的深度为凹槽(2)深度的60%。4.根据权利要求I所述的区熔石墨舟,其特征在于所述杂质凹槽(3)与凹槽(2)的长度比为1:7。5.根据权利要求I所述的区熔石墨舟,其特征在于所述隔块(4)的轴截面为梯形的隔块。专利摘要本技术涉及一种区熔石墨舟,具有石墨舟本体(1),开设在石墨舟本体(1)内部的凹槽(2),所述石墨舟本体(1)中还具有杂质凹槽(3),凹槽(2)与杂质凹槽(3)之间由隔块(4)间隔开。本技术采用两段设计,能够对杂质流动有较好的导向性;具有单独的杂质储存区域,提高提纯效率。文档编号C30B13/14GK202786492SQ20122049292公开日2013年3月13日 申请日期2012年9月25日 优先权日2012年9月25日专利技术者吴建洪 申请人:常州市立新石墨有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种区熔石墨舟,具有石墨舟本体(1),开设在石墨舟本体(1)内部的凹槽(2),其特征在于:所述石墨舟本体(1)中还具有杂质凹槽(3),凹槽(2)与杂质凹槽(3)之间由隔块(4)间隔开。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:吴建洪
申请(专利权)人:常州市立新石墨有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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