【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅切割过程中脱胶机冲洗托板装置。
技术介绍
硅棒经过切割后，需要对冶具晶托进行脱胶处理，然后进行冲洗，传统的冲洗托板方式往往采用手动模式，生产效率低下，冲洗出的硅片不干净，导致产品脏污，花斑不良较多
技术实现思路
本技术目的在于针对现有技术的缺陷提供一种脱胶机托板自动冲洗装置。本技术为实现上述目的，采用如下技术方案一种脱胶机冲洗托板装置，其特征在于其包括喷淋槽和托板支架；所述托板支架设置在所述喷淋槽中心位置，用于放置冶具晶托；所述喷淋槽内壁和托板支架之间设置有喷淋管，所述喷淋管上设置有喷淋嘴，所述喷淋嘴喷口面向托板支架。其进一步特征在于所述喷淋管和喷淋嘴均匀分布，分别设置在冶具晶托两侧。治具晶托放入冲洗托板装置后，装置自动运行，喷淋管道通过喷淋嘴对托板，晶托进行冲洗。冲洗均匀效果好，减少了硅片的脏污和花斑现象，用水量较少，同时节省了人力和，生广效率有显者的提闻。附图说明图I为本技术示意图。具体实施方式如图I所示一种脱胶机冲洗托板装置，其包括喷淋槽I和托板支架2 ;所述托板支架2设置在所述喷淋槽I中心位置，用于放置冶具晶托5 ;所述喷淋槽I内壁和托板支架2之间设置有喷淋管3,所述喷淋管3上设置有喷淋嘴4,所述喷淋嘴4喷口面向托板支架2。所述喷淋管3和喷淋嘴4均匀分布，分别设置在冶具晶托5两侧。使用时装置自动运行，喷嘴对喷淋嘴对托板，晶托进行冲洗，冲洗均匀效果好，减少了硅片的脏污和花斑现象。
【技术保护点】
一种脱胶机冲洗托板装置，其特征在于：其包括喷淋槽和托板支架；所述托板支架设置在所述喷淋槽中心位置，用于放置冶具晶托；所述喷淋槽内壁和托板支架之间设置有喷淋管，所述喷淋管上设置有喷淋嘴，所述喷淋嘴喷口面向托板支架。
【技术特征摘要】
1.一种脱胶机冲洗托板装置，其特征在于其包括喷淋槽和托板支架；所述托板支架设置在所述喷淋槽中心位置，用于放置冶具晶托；所述喷淋槽内壁和托板支架之间设置有喷淋管，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：胥大鹏，何江涛，李晓建，刘爱军，谈继岗，
申请(专利权)人：无锡隆基硅材料有限公司，西安隆基硅材料股份有限公司，宁夏隆基硅材料有限公司，银川隆基硅材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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