一种扫描标准具结构及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种扫描标准具结构及其制作方法，其结构包括标准具、基座和驱动元件，所述标准具由镀有高反膜的相互平行的平面镜构成；所述基座为弹簧片微距离平移机械结构；所述标准具通过光学材料块粘结于基座上。其主要制作方法为采用热胶胶合弹簧片微距离平移机械结构的缝隙，使其暂时失去弹性功能，接着粘结光学材料块并抛光成平片，再光胶或深化光胶标准具到光学材料块上，最后通过加热方式去掉热胶。通过采用弹簧片微距离平移机械结构作为扫描标准具活动镜片基座，由于其在形变过程中两端面平行度变化可以忽略不计，因此在扫描过程中，标准具两平行平面之间的平行度变化可以忽略不计。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学领域，尤其涉及扫描标准具领域。
技术介绍
在现有技术中，基本的扫描标准具结构如图I所示，为两镀有高反膜的平面镜101，102构成标准具，将其中一个平面镜102粘结至一压电陶瓷103上，当给压电陶瓷103上施加一锯齿波扫描电压时，压电陶瓷103的长度会周期性的伸缩，这样会周期性的改变构成标准具的两个平面镜101，102之间的间隔，形成扫描标准具。对于某些高精度实验，要求在扫描压电陶瓷103的过程中两平面镜101，102的平行度不应变化太大，而对于一般的 压电陶瓷，往往很难达到这一要求。
技术实现思路
为克服上述问题，本专利技术提出，该标准具在扫描过程中，两平行平面之间的平行度变化可以忽略不计。为达到上述目的，本专利技术所提出的技术方案为一种扫描标准具结构，包括标准具、基座和驱动元件，其特征在于所述标准具由镀有高反膜的相互平行的平面镜构成；所述基座为弹簧片微距离平移机械结构；所述标准具通过光学材料块粘结于基座上。进一步的，所述驱动元件为压电陶瓷。进一步的，所述弹簧片微距离平移机械结构为线切割成的对称弹簧片活动块；所述驱动元件粘结于基座另一面，并由一机械块加固。进一步的，所述弹簧片微距离平移机械结构包括两弹簧片和两平行平片；所述两平行平片之间用所述两弹簧片连接；所述驱动元件粘结于基座侧面。优选的，所述光学材料块为玻璃块。本专利技术提出的另一技术方案为一种扫描标准具结构的制作方法，包括如下步骤第一步，制作弹簧片微距离平移机械结构；第二步，用热胶将弹簧片微距离平移机械结构内的缝隙粘住，并在其端面粘结光学材料块；第三步，将粘结好的光学材料块抛光成平片；第四步，将标准具光胶或深化光胶至光学材料块上；第五步，去掉热胶；第六步，将驱动元件粘结于弹簧片微距离平移机械结构上，并用一机械块将其固定，通过螺丝锁合机械块与弹簧片微距离平移机械结构。进一步的，第一步所述方法为通过线切割方式制作对称弹簧片活动块；或者粘结两弹簧片与两平行平片，两平行平片之间由两弹簧片连接。进一步的，第五步所述方法为通过加热方式去掉热胶。本专利技术的有益效果本专利技术的，采用弹簧片微距离平移机械结构作为扫描标准具活动镜片基座，由于其在形变过程中两端面平行度变化可以忽略不计，因此在扫描过程中，标准具两平行平面之间的平行度变化可以忽略不计。附图说明图I为现有技术的扫描标准具基本结构示意 图2为本专利技术实施例一使用的弹簧片微距离平移机械结构剖面示意 图3-图5为本专利技术实施例一扫描标准具的制作过程示意 图6为本专利技术实施例二使用的弹簧片微距离平移机械结构及其原理示意 图7为本专利技术实施例二结构示意图。标号说明101，102平面镜；103压电陶瓷；201弹簧片微距离平移机械结构；202光学材料块；203活动平面镜；204平面镜；205驱动元件；206机械块；207螺丝；301弹簧片；302平行平片；303光学材料块；304活动平面镜；305平面镜；306驱动元件。·具体实施例方式下面结合附图和具体实施方式，对本专利技术做进一步说明。实施例一,如图2_5所不,本专利技术的一种扫描标准具结构,包括标准具、基座和驱动元件205，其中标准具由镀有高反膜的相互平行的平面镜204与活动平面镜203构成；基座为弹簧片微距离平移机械结构201，由线切割方式制成的对称弹簧片活动块，其在形变过程中两端面平行度变化可以忽略不计，具体结构如图2所示；标准具通过光学材料块202粘结于基座上，如图3所示，光学材料块202粘结于弹簧片微距离平移机械结构201上，标准具的平面镜204与活动平面镜203光胶或深化光胶于光学材料块202上，如图4所示，该光学材料块202优选的可以采用玻璃块，驱动元件205优选的可以采用压电陶瓷(PZT)，设置于弹簧片微距离平移机械结构201的另一面，与标准具相对的一面，如图5所示，并由一机械块206将其固定好，再由螺丝207将机械块206与弹簧片微距离平移机械结构201锁合。当给压电陶瓷施加扫描电压时，压电陶瓷的长度会周期性的伸缩，从而推动弹簧片微距离平移机械结构201产生形变，从而改变标准具两平面镜203，204之间的距离，由于弹簧片微距离平移机械结构201在形变过程中两端面平行度变化可以忽略不计，由此标准具在扫描过程中其两平面镜203，204之间的平行度也可忽略不计。其具体的制作方法包括如下步骤第一步，制作弹簧片微距离平移机械结构201 ；第二步，用热胶将弹簧片微距离平移机械结构201内的缝隙粘住，使其暂时失去弹性功能，并在其端面粘结光学材料块202 ;第三步，将粘结好的光学材料块202抛光成平片；第四步，将标准具相互平行的平面镜204和活动平面镜203光胶或深化光胶至光学材料块202上；第五步，通过加热方式去掉热胶；第六步，将驱动元件205粘结于弹簧片微距离平移机械结构201上，并用一机械块206将其固定，通过螺丝207锁合机械块206与弹簧片微距离平移机械结构201。其中第一步制作弹簧片微距离平移机械结构201的方法为通过线切割方式制作对称弹簧片活动块。驱动元件205优选的采用PZT。实施例二，本实施例中的弹簧片微距离平移机械结构采用更简单可靠的结构，如图6所示，包括两弹簧片301和两平行平片302 ;两平行平片302之间用所述两弹簧片301连接。如图7所示，其一平行平片302上粘结有光学料块303，标准具相互平行的平面镜305与活动平面镜304通过光胶或深化光胶于光学材料块303上，驱动元件306设置于弹簧片微距离平移机械结构的侧面，推动其中一弹簧片301，给其施加如图6中所示的外力，使其产生如图中形变，形变后两平行平片302之间的平行度不会改变或者其变化可以忽略不计。由此可以改变标准具中相互平行的两平面镜304，305之间的距离，而且两平面镜304，305之间的平行度不受影响。其制作过程参考实施例一。 尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本专利技术，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本专利技术的精神和范围内，在形式上和细节上对本专利技术做出的各种变化，均为本专利技术的保护范围。权利要求1.一种扫描标准具结构，包括标准具、基座和驱动元件，其特征在于所述标准具由镀有高反膜的相互平行的平面镜构成；所述基座为弹簧片微距离平移机械结构；所述标准具通过光学材料块粘结于基座上。2.如权利要求I所述的一种扫描标准具结构，其特征在于所述驱动元件为压电陶瓷。3.如权利要求I所述的一种扫描标准具结构，其特征在于所述弹簧片微距离平移机械结构为线切割成的对称弹簧片活动块。4.如权利要求I所述的一种扫描标准具结构，其特征在于所述弹簧片微距离平移机械结构包括两弹簧片和两平行平片；所述两平行平片之间用所述两弹簧片连接。5.如权利要求3所述的一种扫描标准具结构，其特征在于所述驱动元件粘结于基座另一面，并由一机械块加固。6.如权利要求4所述的一种扫描标准具结构，其特征在于所述驱动元件粘结于基座侧面。7.如权利要求I所述的一种扫描标准具结构，其特征在于所述光学材料块为玻璃块。8.一种扫描标准具结构的制作方法，包括如下步骤第一步，制作弹簧片微距离平移机械结构；第二步，用热胶将弹簧片微距离平移机械结构内的缝隙粘住，并在其端面粘结光学材料块；第三步，将粘结好的光学材料块抛光成平片；第四本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描标准具结构，包括标准具、基座和驱动元件，其特征在于：所述标准具由镀有高反膜的相互平行的平面镜构成；所述基座为弹簧片微距离平移机械结构；所述标准具通过光学材料块粘结于基座上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴砺，贺坤，魏豪明，刘国宏，
申请(专利权)人：福州高意通讯有限公司，
类型：发明
国别省市：