一种电热驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构制造技术

本发明专利技术公开了一种电热驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构，包括左移电热执行器、右移电热执行器、由左移定齿和右移定齿组成的定齿、动齿、四个第一锚区和绝缘衬底，左移电热执行器与左移定齿的一端连接，左移定齿的两端分别连接在第一锚区上，右移电热执行器与右移定齿的一端连接，右移定齿的两端分别连接在第一锚区上；左移定齿包括第一宽梁、左移梳齿、四个第一折叠梁；右移定齿包括第二宽梁、右移梳齿、四个第二折叠梁；动齿包括质量块、动齿梳齿、两个第二锚区和两个第三折叠梁；第一宽梁上设有左移止挡块，第二宽梁上设有右移止挡块。该微机电梳齿机构在电热驱动力的驱动下，调变齿间隙，使得微机电振动所产生的信号强。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电热驱动调变齿间隙的微机电梳齿机构，其特征在于：该微机电梳齿机构包括左移电热执行器（102）、右移电热执行器（101）、由左移定齿（103）和右移定齿（104）组成的定齿、动齿、四个第一锚区（112）和绝缘衬底（100），左移电热执行器（102）与左移定齿（103）的一端连接，左移定齿（103）的两端分别连接在第一锚区（112）上，右移电热执行器（101）与右移定齿（104）的一端连接，右移定齿（104）的两端分别连接在第一锚区（112）上；所述的左移定齿（103）包括第一宽梁（107）、左移梳齿（108）、四个沿横向弯折的第一折叠梁（111），左移梳齿（108）固定在第一宽梁（107）的一侧，第一宽梁（107）的一端与左移电热执行器（102）连接，第一宽梁（107）两端的两侧分别通过一个第一折叠梁（111）连接在一个第一锚区（112）上；左移定齿（103）处于悬空状态；所述的右移定齿（104）包括第二宽梁（109）、右移梳齿（110）、四个沿横向弯折的第二折叠梁（113），右移梳齿（110）固定在第二宽梁（109）的一侧，第二宽梁（109）的一端与右移电热执行器（101）连接，第二宽梁（109）两端的两侧分别通过一个第二折叠梁（113）连接在一个第一锚区（112）上；右移定齿（104）处于悬空状态；所述的四个第一锚区（112）分别固定连接在绝缘衬底（100）上；所述的动齿包括质量块（105）、动齿梳齿（106）、两个第二锚区（115）和两个沿纵向弯曲的第三折叠梁（114），两个第二锚区（115）固定连接在绝缘衬底（100）上，每个第二锚区（115）与一个第三折叠梁（114）的一端连接，第三折叠梁（114）的另一端与质量块（105）连接，动齿梳齿（106）设置在质量块（105）的一侧，且右移梳齿（110）、动齿梳齿（106）和左移梳齿（108）依次交替布置，相邻的右移梳齿（110）和动齿梳齿（106）之间的距离等于相邻的动齿梳齿（106）和左移梳齿（108）之间的距离；质量块（105）、动齿梳齿（106）、和第三折叠梁（114）均处于悬空状态；所述的左移定齿（103）的第一宽梁（107）上设有左移止挡块（116），右移定齿（104）的第二宽梁（109）上设有右移止挡块（117），左移止挡块（116）和右移止挡块（117）相对设置，且左移止挡块（116）和右移止挡块（117）之 间的距离小于相邻的右移梳齿（110）和动齿梳齿（106）之间设计距离的两倍。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟华，浦烜，周再发，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：