【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS压力传感器，包括：下电极；上电极，在所述下电极上方；绝缘层，在所述下电极与上电极之间，其在所述上下电极与下电极之间形成腔体；以及NONON压力膜，在所述上电极上方。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林，
申请(专利权)人：NXP股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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