成型体、其制造方法、电子设备用构件和电子设备技术

本发明专利技术是成型体，其至少具有阻气层，其特征在于，上述阻气层由含有硅原子、氧原子和碳原子的材料构成，该阻气层的表层部的硅原子、氧原子和碳原子的含量是在XPS的元素分析测定中，相对于硅原子、氧原子和碳原子的总计100原子％，碳原子的含量为10.0％～28.0％、硅原子的含量为18.0％～28.0％、氧原子的含量为48.0％～66.0％，且成型体在40℃、相对湿度90％气氛下的水蒸气透过率为5.3g/m2/天以下，波长550nm时的全光线透射率为90％以上。根据本发明专利技术，提供了具有优异的阻气性和挠性、而且具有极高的透明性的成型体、其制造方法、包含该成型体的电子设备用构件、和电子设备。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及成型体、其制造方法、包含该成型体的电子设备用构件以及具备该电子设备用构件的电子设备。
技术介绍
近年来，作为绿色能源，太阳能电池受到人们的瞩目。一般的太阳能电池模块从受光侧起具有玻璃板、电极、光转换层、电极和背面保护片的构成。目前，作为背面保护片，已知有在耐热性基板的一面上设置无机氧化物的蒸镀膜、进而在该蒸镀膜上层叠了着色聚酯系树脂层的太阳能电池模块用保护片(专利文献I);由厚度为30 μ m以下的氟系树脂片构成的太阳能电池用背面保护片(专利文献2);在由含氟树脂和不含氟的树脂形成的氟系薄膜的至少一面上形成了含有氮丙啶基的粘接性树脂层的电气电子绝缘片(专利文献3)等。但是，这些片或薄膜的防湿性不充分，因此电极或光转换层劣化，另外存在由外部的冲击导致玻璃板破损这样的问题。另外，在图像显示装置中，从轻量化、挠性化、成本降低等的角度考虑，正在进行从玻璃基板向塑料基板的转移。在塑料薄膜的使用中，透气性高成为问题，作为提高阻气性的方法，已知有在基板上设置金属、金属氧化物的方法(专利文献4 )。但是，由于为挠性设备，因此弯折的使用、用手抓住或按压的状况变多，从而存在容易产生上述无机膜的裂纹、破裂等的问题。对此，公开了通过对有机化合物进行等离子体离子注入处理，使DLC (DiamondLike Carbon)的阻气性能提高的技术(专利文献5)。但是，在该文献所记载的技术中，对于保护显示设备使其免受来自湿气的影响而言，阻气性不能说是充分的，另外，DLC层的透明性显著降低，因此适用于显示设备时，透明性不能说是充分的。现有技术文献 专利文献 专利文献I :日本特开2001 - 119051号公报 专利文献2 :日本特开2003 - 347570号公报 专利文献3 :日本特开2004 — 352966号公报 专利文献4 :日本特开平10 - 305542号公报 专利文献5 :日本特开2007 - 283726号公报。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述现有技术而作出的专利技术，其目的在于提供具有优异的阻气性和挠性、而且具有极高的透明性的成型体、其制造方法、包含该成型体的电子设备用构件、和具有该电子设备用构件的电子设备。本专利技术人等为解决上述课题进行了深入地研究，结果发现在至少具有阻气层的成型体中，该阻气层由以特定的比例含有硅原子、氧原子和碳原子的材料构成的成型体具有优异的阻气性和挠性，而且还具有极高的透明性。进一步发现这种成型体的阻气层通过在含有四乙氧基硅烷等四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层中注入离子，可以简便且高效地形成，从而完成了本专利技术。这样根据本专利技术的第I专利技术，提供了下述(I) (6)的成型体、(7) (10)的成型体的制造方法、(11)的电子设备用构件、和(12)的电子设备。(I)成型体，其是至少具有阻气层的成型体，其特征在于， 上述阻气层由含有硅原子、氧原子和碳原子的材料构成，该阻气层的表层部的硅原子、氧原子和碳原子的含量在XPS的元素分析测定中是相对于硅原子、氧原子和碳原子的总计100原子％，碳原子的含量为10. 0% 28. O %、硅原子的含量为18. 0% 28. O %、氧原子的含量为48. 0% 66. 0%，且成型体在40°C、相对湿度90%气氛下的水蒸气透过率为5. 3g/m2/天以下，波长550nm时的全光线透射率为90%以上。(2)成型体，其具有在含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层中注入了离子而得到的离子注入层。(3)根据(2)所述的成型体，其特征在于，上述离子是将选自氢、氧、氮、氩、氦、氖、氙、氪、硅化合物和烃中的至少一种的气体进行离子化了的物质。(4)根据(2)或(3)所述的阻气性成型体，其特征在于，上述离子注入层是在含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层中通过等离子体离子注入法注入离子而得到的层。(5)根据(2)或(3)的任一者所述的成型体，其特征在于，上述四官能有机硅烷化合物为四(Cl C10)烷氧基硅烷。(6)根据(2)或(3)所述的成型体的制造方法，其特征在于，具有下述步骤在表面部具有含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层的成型物的、上述含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层的表面部注入离子。(7)根据(6)所述的成型体的制造方法，其中，具有下述步骤在表面部具有含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层的成型物的、上述含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层中，将选自氢、氮、氧、氩、氦、氖、氙、氪、硅化合物、和烃中的至少一种的气体进行离子注入。(8)根据(6)所述的成型体的制造方法，其中，具有下述步骤在表面部具有含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层的成型物的、上述含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合化合物的层中，通过等离子体离子注入法将选自氢、氮、氧、氩、氦、氖、氙、氪、硅化合物、和烃中至少一种的气体的离子进行注入。(9)根据(6)所述的成型体的制造方法，其特征在于，一边将在表面部具有含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层的长的成型物沿一定方向运送，一边向上述含有四官能有机硅烷化合物的水解/脱水缩合物的层中注入离子。(10)电子设备用构件，其包含(I) (3)中任一项所述的成型体。(11)电子设备，其具有上述(10)所述的电子设备用构件。本专利技术的成型体除了优异的阻气性和挠性，而且还具有极高的透明性。本专利技术的成型体可以适合用作挠性显示器、或太阳能电池等的电子设备用构件(例如太阳能电池背板)。根据本专利技术的制造方法，可以简便且高效地制造具有优异的阻气性、透明性、耐弯折性的本专利技术的成型体。另外，与无机膜成膜相比，可以由低的成本容易地实现大面积化。本专利技术的电子设备用构件具有优异的阻气性、透明性和耐弯折性，因此可以适合用于显示器、太阳能电池等的电子设备。 附图的说明 图I是表示本专利技术中使用的等离子体离子注入装置的简要构成的图。图2是表示本专利技术中使用的等离子体离子注入装置的简要构成的图。具体实施例方式以下分成I)成型体、2)成型体的制造方法、以及3)电子设备用构件和电子设备的项目，详细说明本专利技术。I)成型体 本专利技术的第I专利技术是成型体(以下称为“成型体(1)”)，其是至少具有阻气层的成型体，其特征在于，上述阻气层由含有硅原子、氧原子和碳原子的材料构成，该阻气层的表层部的娃原子、氧原子和碳原子的含量在XPS的兀素分析测定中是相对于娃原子、氧原子和碳原子的总计100原子％，碳原子的含量为10.0% 28.0%、硅原子的含量为18.0% 28. O %、氧原子的含量为48. 0% 66. 0%，且上述成型体在40°C、相对湿度90%气氛下的水蒸气透过率为5. 3g/m2/天以下,波长550nm时的全光线透射率为90%以上。本专利技术的成型体(I)由于在表层部具有以上述范围含有硅原子、氧原子和碳原子而成的阻气层，因此具有优异的阻气性和挠性，而且具有极高的透明性。其中，阻气层的“表层部”是指从阻气层的表面起，朝向该表面的深度方向直至15nm的区域。另外，在阻气层的表面中含有与其它层的边界面。本专利技术的成型体(I)中，上述阻气层的表层部中的硅原子、氧原子和碳原子的含量优选在XPS的元素分析测定中是相对于硅原本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木悠太，近藤健，
申请(专利权)人：琳得科株式会社，
类型：
国别省市：