线锯装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了线锯装置。线锯装置用于对工件进行锯切，并且线锯装置的特征在于包括：用于支撑壳体的主框架，其中，壳体包括彼此分离的第一和第二壳体部分；第一线引导组件，其具有至少两个第一线引导筒，用于引导第一线以形成具有至少一个第一工作区域的至少一个第一线网，第一线引导组件被设置在第一壳体部分中；第二线引导组件，其具有至少两个第二线引导筒，用于引导第二线以形成具有至少一个第二工作区域的至少一个第二线网，第二线引导组件被设置在第二壳体部分中，第一和第二壳体部分适于维持第一和第二线导引组件彼此独立；用于引导第一线的第一线管理单元；以及用于引导第二线的第二线管理单元。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术的实施例涉及线锯装置以及用于操作线锯装置的方法。更具体地，它们涉及具有改善的高等级特性并且用于对硬材料(诸如硅或石英的块)进行切割或锯切的线锯装置，例如，用于切割硅晶片，用于平方体(Squarer)、用于裁剪器等。
技术介绍
存在一种线锯装置，其用于从一件硬的或脆的材料(诸如硅)切割出方块或砖块、薄的切片(例如半导体晶片)。在这种装置中，绷紧的线被从线轴馈送出来并且由用于在切割区域中对线进行引导的滑轮引导和张紧。用于进行锯切的线主要设置有研磨剂材料。作为一种选择，可以作为浆料提供研磨剂材料。这可以在线与被切割的材料接触之前的短期内实现。因此，通过用于对材料进行切割的线来将研磨剂承载到切割位置。作为另一种选·择，研磨剂可以被设置在具有涂层的线上。例如，金刚石颗粒可以被设置在例如具有涂层的金属线上，其中，金刚石颗粒被镶嵌在线的涂层中。由此，将研磨剂牢固地与线连接。一般而言，线锯装置的产量已经处于极为先进的水平。然而，特别是考虑到期望在对于光电(PV)应用具有高生产率下的高产量时，期望进一步进行改善。由此，已经考虑了用于锯切PV晶片等的线被张紧并且以非常高的速度移动。线在提供了线管理和/或线张紧的一个或多个滚轮上从线轴馈送出来或者被馈送到线轴。滚轮例如可以使线改变方向。例如在滚轮的惯性可能妨碍立即停止滚轮的紧急停止期间，滚轮的存在可以导致更高的线断裂的可能性。线断裂可能导致装载物(即，在线锯装置中一时处理的工件)的完全损失。对于千兆瓦厂房的切晶片PV能力要求以及减小PV模块的$/Watt值的持续期望要求更大的制造能力。在过去的厂房中已经通过提供多个用于对PV晶片进行切晶片的线锯装置来实现了制造大量晶片。然而，维护以及线断裂仍然限制了生产率和产能，并且仍有待改善。多线浆料锯现在是用于PV应用的晶片制造的标准的并且最多产的工具。通常期望独立的工具。工具具有五个功能组切片头、浆料管理、线管理、冷却组以及电箱/控制单元。需要改变该聚合体来对于制造PV晶片实现高生产率下的高产量。
技术实现思路
考虑到以上内容，提供了根据独立权利要求I的用于对工件进行锯切的线锯装置。通过权利要求、说明书和附图，本技术的其他方面、优点和特征将会变得清楚。根据一个实施例，提供了一种用于对工件进行锯切的线锯装置。该线锯装置包括用于支撑壳体的主框架,其中，所述壳体包括第一壳体部分和与所述第一壳体部分分离的第二壳体部分；以及第一线引导组件，其具有至少两个第一线引导筒，所述至少两个第一线引导筒用于引导第一线，以形成具有至少一个第一工作区域的至少一个第一线网，其中，所述第一线引导组件被容纳在所述第一壳体部分中；第二线引导组件，其具有至少两个第二线引导筒，所述至少两个第二线引导筒用于引导第二线，以形成具有至少一个第二工作区域的至少一个第二线网，其中，所述第二线引导组件被容纳在所述第二壳体部分中；用于引导所述第一线的第一线管理单元；以及用于引导所述第二线的第二线管理单元。其中，该线锯装置还包括第一浆料或冷却流体分配系统，其用于将浆料或冷却流体分配到第一线引导组件；以及第二浆料或冷却流体分配系统，其用于将浆料或冷却流体分配到第二线引导组件。该线锯装置还包括第一浆料或冷却流体罐，其用于将浆料或冷却流体提供给第一浆料或冷却流体分配系统；以及第二浆料或冷却流体罐，其用于将浆料或冷却流体提供给第二浆料或冷却流体分配系统。第一线引导组件被设置在主框架的第一侦牝并且第二线引导组件被设置在主框架的第二侧。第一侧和第二侧是相对侧。第一线引导组件设置在第二线引导组件上方。第一线引导组件被设置为相对于第二线引导组件水平偏移。至少两个第一线引导筒(122)的直径和至少两个第二线引导筒(122)的直径是250_以上，典型地是在300mm到700mm之间，并且更典型地在500mm到700mm之间。第一线引导组件包括至少两个第一工作区域，并且其中，第二线引导组件包括至少两个第二工作区域。该线锯装置还包括控制器，其中控制器控制第一线引导组件和第二线引导组件。该线锯装置还包括具有一个用户接口的控制器，其中控制器控制第一线引导组件和第二线引导组 件。根据一个实施例，提供了一种用于对工件进行锯切的线锯装置。该线锯装置包括用于支撑壳体的主框架,其中，所述壳体包括第一壳体部分和与所述第一壳体部分分离的第二壳体部分；以及第一线引导组件，其具有至少两个第一线引导筒，所述至少两个第一线引导筒用于引导第一线，以形成具有至少一个第一工作区域的至少一个第一线网，其中，所述第一线引导组件被设置在所述第一壳体部分中；第二线引导组件，其具有至少两个第二线引导筒，所述至少两个第二线引导筒用于引导第二线，以形成具有至少一个第二工作区域的至少一个第二线网，其中，所述第二线引导组件被设置在所述第二壳体部分中其中，第一壳体部分和第二壳体部分适合于维持第一和第二线弓I导组件彼此独立；用于引导第一线的第一线管理单元；以及用于引导第二线的第二线管理单元。实施例还涉及用于执行所公开的方法的设备，并包括用于执行上述方法步骤的设备部件。这些方法步骤可以由硬件组件、通过适当软件编程的计算机以及通过这两种或者任何其他方式的任意组合来实现。附图说明因此，为了能够详细地理解本技术的上述特征，可以参照实施例获得上文中总结的本技术的更具体的描述。附图涉及本技术的实施例并且在下文中描述。图I示出了根据这里描述的实施例的线锯装置，并且其包括在两个独立的室部分(即，壳体部分)中的两个独立的切割区域；图2示出了根据这里描述的实施例的另一个线锯装置，并且其包括在两个独立的室部分(即，壳体部分)中的两个独立的切割区域；图3示出了根据这里描述的实施例布置的线引导组件，并且其包括彼此分离的两个独立的切割区域；图4示出了以另一种方式布置并且根据这里描述的实施例的线引导组件，并且其包括彼此分离的两个独立的切割区域；图5示出了以另一种方式布置并且根据这里描述的实施例的线引导组件，并且其包括彼此部分地分离的多个工作区域；图6示出了根据这里描述的实施例布置的线引导组件，并且其包括彼此分离的两个独立的切割区域，其中，沿着两个方向设置了线引导组件之间的偏移；图7示出了根据这里描述的实施例的另一个线锯装置，并且其包括在两个独立的室部分(即，壳体部分)中的两个独立的切割区域；并且图8的流程图示出了根据这里描述的实施例的对线锯装置进行操作的方法。具体实施方式现在将会详细参照本技术的具体实施例，这些实施例中的一个或多个示例在附图中示出。在附图的以下描述中，相同的附图标记表示相同的组件。一般而言，仅描述对 于各个实施例的差异。每个示例是通过本技术的解释说明的方式提供的，并且不意味着是本技术的限制。此外，作为一个实施例的一部分示出或描述的特征可以被用在其他实施例上或结合其他实施例使用，以产生另一个实施例。本说明书意图包括这些修改和变化。图I示出了线锯装置100。线锯装置100包括主框架102。例如，主框架102支撑线锯装置100的壳体和/或组件。通常，主框架102是刚性框架并且包括其上放置线锯装置的基底。根据可以与这里描述的其他实施例结合的不同的实施例，这里的线锯装置可以被用来利用浆料来切割硬材料，例如，硅或其他半导体材料，或者用来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线锯装置，其用于对工件进行锯切，并且所述线锯装置的特征在于包括：用于支撑壳体的主框架，其中，所述壳体包括第一壳体部分和与所述第一壳体部分分离的第二壳体部分；以及第一线引导组件(120)，其具有至少两个第一线引导筒(122)，所述至少两个第一线引导筒(122)用于引导第一线(20)，以形成具有至少一个第一工作区域(22)的至少一个第一线网，其中，所述第一线引导组件被容纳在所述第一壳体部分中；第二线引导组件(120)，其具有至少两个第二线引导筒(122)，所述至少两个第二线引导筒(122)用于引导第二线(20)，以形成具有至少一个第二工作区域(22)的至少一个第二线网，其中，所述第二线引导组件被容纳在所述第二壳体部分中；用于引导所述第一线的第一线管理单元；以及用于引导所述第二线的第二线管理单元。

【技术特征摘要】
2011.10.27 EP 11186936.81.一种线锯装置，其用于对工件进行锯切，并且所述线锯装置的特征在于包括 用于支撑壳体的主框架,其中，所述壳体包括第一壳体部分和与所述第一壳体部分分离的第二壳体部分；以及 第一线引导组件(120)，其具有至少两个第一线引导筒(122)，所述至少两个第一线引导筒(122)用于引导第一线(20)，以形成具有至少一个第一工作区域(22)的至少一个第一线网，其中，所述第一线弓I导组件被容纳在所述第一壳体部分中； 第二线引导组件(120)，其具有至少两个第二线引导筒(122)，所述至少两个第二线引导筒(122)用于引导第二线(20)，以形成具有至少一个第二工作区域(22)的至少一个第二线网，其中，所述第二线弓I导组件被容纳在所述第二壳体部分中； 用于引导所述第一线的第一线管理单元；以及 用于引导所述第二线的第二线管理单元。2.根据权利要求I所述的线锯装置，还包括 第一浆料或冷却流体分配系统，其用于将浆料或冷却流体分配到所述第一线引导组件；以及 第二浆料或冷却流体分配系统，其用于将浆料或冷却流体分配到所述第二线引导组件。3.根据权利要求2所述的线锯装置，还包括 第一浆料或冷却流体罐，其用于将浆料或冷却流体提供给所述第一浆料或冷却流体分配系统；以及 第二浆料或冷却流体罐，其用于将浆料或冷却流体提供给所述第二浆料或冷却流体分配系统。4.根据权利要求I所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗兰克·基诺赛奥，安德烈亚斯·施密特，
申请(专利权)人：应用材料瑞士股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：