内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂制造技术

技术编号：8306830 阅读：285 留言：0更新日期：2013-02-07 14:21

本实用新型专利技术涉及一种内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂，滚珠螺杆（4）与三支滑杆（5）分别与连接座（2）连接，讯号线导杆（15）穿过连接座（2）将连接基座（1）与连接底座（3）连接，滚珠螺杆螺帽固定组（24）将滚珠螺杆固定锁住，垂直升降马达（6）与马达固定座（22）连接并置于连接底座（3），结合轴心保护盖板（16,17,18）组装于手臂主结构，组装手臂侧抽风扇盖板组（12,13,14）分别与风扇侧盖组（19,20,21,23）连接并安装于手臂主结构上，顶端抽风扇（10）与抽风导管（11）安装于连接基座（1）上，滑杆保护盖（7,8,9）安装于手臂主体结构上。本技术方案的有益效果是：传送的精准度及稳定性高，偏摆现象降低，使用寿命延长，设备的维护周期延长，减轻工程人员的工作负担。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种传送机械手臂，具体涉及一种内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂。
技术介绍
在现有的机械手臂的垂直结构中，滚珠螺杆及两只滑杆形成一个平面，因此造成机械手臂在垂直方向运动到高点时，其结构会有摇晃摆动的现象；当设备不断的进行生产约一年左右，此机械手臂的轴心零件，会因为承受不断晃动的负荷加速其零件的钢性疲乏，使机械手臂于传送过程中晃动情况日益严重，直接影响晶圆传送的稳定性及准确性；当机械手臂传送的稳定度无法确保产品安全产出时，此设备必须暂停生产以进行机械手臂的零件更换及保养，此时便直接影响设备产能及增加工程人员的工作负担当工厂内此类型设备数量增加时，所需进行保养及供换零件的机械手臂数量亦会增加，因而形成手臂维护成本以及工程人员工作负担的增加。
技术实现思路
为解决上述现有技术中存在的缺点问题，本技术提供一种内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂。本技术的内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂，滚珠螺杆(4)与三支滑杆分别与连接座(2)连接，讯号线导杆(15)穿过连接座(2)将连接基座(I)与连接底座(3)连接，滚珠螺杆螺帽固定组(24)将滚珠螺杆固定锁住，垂直升降马达(6)与马达固定座(22)连接并置于连接底座(3)，结合轴心保护盖板(16，17，18)组装于手臂主结构，组装手臂侧抽风扇盖板组(12，13，14)分别与风扇侧盖组(19，20，21，23)连接并安装于手臂主结构上，顶端抽风扇(10)与抽风导管(11)安装于连接基座(I)上，滑杆保护盖(7，8，9)安装于手臂主体结构上。本技术的有益效果本技术的内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂，传送的精准度及稳定性...

【技术保护点】
一种内含三只垂直轴心的晶圆传送机械手臂，其特征在于，滚珠螺杆（4）与三支滑杆（5）分别与连接座（2）连接，讯号线导杆（15）穿过连接座（2）将连接基座（1）与连接底座（3）连接，滚珠螺杆螺帽固定组（24）将滚珠螺杆固定锁住，垂直升降马达（6）与马达固定座（22）连接并置于连接底座（3），结合轴心保护盖板（16,17,18）组装于手臂主结构，组装手臂侧抽风扇盖板组（12,13,14）分别与风扇侧盖组（19,20,21,23）连接并安装于手臂主结构上，顶端抽风扇（10）与抽风导管（11）安装于连接基座（1）上，滑杆保护盖（7,8,9）安装于手臂主体结构上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈政勋，
申请(专利权)人：上海鼎之奇电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：

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