【技术实现步骤摘要】
本技术涉及废气处理装置，尤其是涉及一种硅烷燃烧塔。
技术介绍
对于电池片生产中的PECVD环节，原本采用初步燃烧、直接通入水池的方法；有很高的危险性和处理不稳定性。
技术实现思路
本技术是为了解决上述不足，提供了一种硅烷燃烧塔。本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现一种硅烷燃烧塔，其特征在于它包括塔体，塔体腰部设有硅烷尾气进气口和压缩空气、氮气口，塔体顶部设有出气口，塔体底部设有排污口。本技术的工作原理硅烷尾气经过风管到达硅烷尾气进气口，并进入燃烧塔内进行化应处理。硅烷尾气进入燃烧塔的同时也从压缩空气、氮气口通入压缩空气和氮气；压缩空气用来推助硅烷尾气的燃烧反应，氮气通入则达到吹散硅烷燃烧之后产生粉尘，不让其粘到硅烷燃烧塔上；压缩空气及氮气都配有流量控制器，控制气体的流入体积；硅烷燃烧后的粉尘暂时停留在排污口处，当运行一段时间后，打开排污口进行清理粉尘；经过燃烧净化后的气体由出气口排出进入硅烷净化塔内。本技术与现有技术相比的优点是本技术解决了
技术介绍
在生产设备运行中负压的不稳定性，前段压缩空气助燃功能，和氮气的稀释功能，强有力的保护尾气排放的安全性，设备占地面积小，处理集中化；投资管理成本大大降低。附图说明图I是本技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术进一步详述如图I所示，一种硅烷燃烧塔，其特征在于它包括塔体1，塔体I腰部设有硅烷尾气进气口 2和压缩空气、氮气口 3，塔体I顶部设有出气口 4，塔体I底部设有排污口 5。本技术的工作原理硅烷尾气经过风管到达硅烷尾气进气口 2并进入燃烧塔内进行化应处理。硅烷尾气进入燃烧塔的同时也从压缩空气、氮气口 3通...
【技术保护点】
一种硅烷燃烧塔，其特征在于：它包括塔体，塔体腰部设有硅烷尾气进气口和压缩空气、氮气口，塔体顶部设有出气口，塔体底部设有排污口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董仕宏，
申请(专利权)人：苏州仕净环保设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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