【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种靶材，尤其涉及一种用于真空溅镀的溅镀靶。
技术介绍
一般在同一轮毂上进行真空溅镀作业时，得到的镀膜颜色都为一致的金属颜色，为了达到同一个轮毂有不同的金属颜色时，则常常需要分批次使用不同材质的金属，才能达到所要的颜色区分的效果。那么如何使用一种靶材，即可达到颜色区分的效果，正是专利技术人要解决的问题。
技术实现思路
本技术解决了传统需要不同颜色区间需要多次进行真空溅镀的不足，提供了一种可以一次性做出所需镀膜厚度变化导致颜色变化的溅镀靶。其具体技术方案是一种用于真空溅镀的溅镀靶，包括靶材，所述靶材一面固定设有遮蔽冶具。本技术结构简单，使用方便，可以做出类似渐变色的效果。附图说明图I为本技术结构示意图。具体实施方式实施例I下面结合图I对本技术实施例I作进一步详细描述一种用于真空溅镀的溅镀靶，包括靶材1，所述靶材I 一面固定设有遮蔽冶具2。权利要求1. 一种用于真空溅镀的溅镀靶，其特征在于，包括靶材(I)，所述靶材(I) 一面固定设有遮蔽冶具(2)。专利摘要本技术涉及一种靶材，尤其涉及一种用于真空溅镀的溅镀靶。一种用于真空溅镀的溅镀靶，包括靶材，所述靶材一面固定设有遮蔽冶具。本技术结构简单，使用方便，可以做出类似渐变色的效果。文档编号C23C14/34GK202705455SQ20122029691公开日2013年1月30日 申请日期2012年6月25日 优先权日2012年6月25日专利技术者郑志铭 申请人:浙江柏腾光电科技有限公司
【技术保护点】
一种用于真空溅镀的溅镀靶，其特征在于，包括靶材（1），所述靶材（1）一面固定设有遮蔽冶具（2）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑志铭，
申请(专利权)人：浙江柏腾光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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