平行同步影像处理系统技术方案

本发明专利技术揭露一种在微影制程中将光罩数据图案透过平行同步影像处理机制施加于基板之系统及方法。在一实施例中，该平行同步影像处理系统包括：一图形引擎，其可将一对象划分为多个梯形，并取各梯形之一边，列出一代表该多个梯形之边表；以及一分配器，其可自该图形引擎接收该边表，并将该边表分配至多个扫描线影像处理单元。该系统进一步包括：一同步调度哨符机制，其可监控处理该多个扫描线影像处理单元之多元同步化运作；以及多个缓冲储存器，其可储存来自对应扫描线影像处理单元之影像数据，并根据该同步调度哨符机制输出已储存之影像数据。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术系关于计算机成像处理。更详而言之，本专利技术系关于在微影制程中利用平行同步影像处理机制以将光罩数据图案施加于基板之系统。
技术介绍
受惠于半导体集成电路(IC)技术之突飞猛进，动态矩阵液晶电视(AMLCD TV)及计算机显示器之制程已有长足进步。近年来，液晶电视及计算机显示器之尺寸不断放大，但价格则逐渐大众化。就半导体IC而言，各技术世代系由电路设计规则中之关键尺寸(⑶)加以定义。随着技术世代之演进，新世代IC之图征关键尺寸目标值逐渐缩小，误差容许度亦更趋严格。但就面板显示器(FPD)而言，各技术世代系依照制程中所用基板之实体尺寸加以分类。例如，Fro分别于2005、2007及2009年进入第六代(G6)、第八代(G8)及第十代(GlO)，其对应之基板尺寸(公厘X公厘)分别为1500xl800、2160x2460及2880x3080。无论是半导体IC或FPD基板，其微影制程所面临之挑战均为如何一方面加大产品之尺寸，一方面使产品平价化；但两者之制程却截然不同。IC业界之一主要挑战，系于直径300公厘之晶圆上形成具有小关键尺寸之图征，其目标为尽可能提高晶体管之安装数量，俾使相同大小之芯片具有更佳功能。然而，Fro业界之一主要挑战系尽可能加大可处理之矩形基板尺寸，因为生产在线所能处理之FPD基板愈大，则所能制造之电视或显示器愈大，且成本愈低。为提高效能，一般液晶电视及显示器之设计均采用较为复杂之薄膜晶体管(TFT)，但TFT之关键尺寸目标值仍停留在相同之规格范围内。从某一观点而言，Fro制程之一主 要挑战，系使后续各世代之单位时间产出量均具有合理之成本效益，而其中一项重要之考虑因素系令制程良率达到获利水平，同时维持适当之制程窗口。习知用于制造Fro之微影技术系由制造IC之微影制程演变而来。Fro基板所用之微影曝光工具大多为步进式及/或扫描式投影系统，其中从光罩至基板之投影比例共有二比一(缩小)与一比一两种。为将光罩图案投影至基板，光罩本身便须依可接受之关键尺寸规格制造。Fro之光罩制程与半导体IC之光罩制程类似，不同之处在于制造半导体IC所用之光罩尺寸约为每边150公厘(约6时)，而制造FPD所用之光罩，其每边尺寸在一实例中可为前述每边尺寸之八倍左右，即每边超过一公尺。在制造未来世代FPD时所可能面临之上述各种挑战，乃肇因于FPD业界亟须降低成本，而主要动机之一，系令新世代产品之制程具有成本效益。微影技术必须一方面维持产出效率，一方面确保产品良率逐代提升。欲达此目的，必须加大微影制程之制程窗口，并减少制程瑕疵，以因应日益增大之Fro基板。一如前述，现有曝光工具架构之缺点甚多，其中一主要缺点系与光罩之使用有关，亦即光罩尺寸过大，导致光罩之制造不符成本效益。由于光罩尺寸势必持续加大方能满足未来世代FPD之需求，此一缺点将愈趋严重。因此，需有一种经改良之成像写入系统，以解决习知工具与方法之诸多问题。为计算机显示器及打印装置制备影像之方式已有多种发展，通常系由绘图管线提供坐标转换、裁切、扫描转换及其它功能。相较之下，无光罩微影法之平行同步扫描技术则面临不同挑战。例如，在无光罩微影法之平行同步扫描过程中，影像处理引擎与影像曝光装置须以更为紧密之方式平行同步运作。因此，吾人亟需发展出一种系统，其不但可将预处理与影像曝光之程序分离，并使扫描转换成栅格化图像之运算管道维持高产出率，更可解决相邻影像区域间之拼接问题，同时容许使用低成本之商业集成电路组件。
技术实现思路
本专利技术提供一种在微影制程中将光罩数据图案透过平行同步影像处理机制施加 于基板之系统及方法。在一实施例中，所述平行同步影像处理系统包括一图形引擎，其可处理一或多个图形对象以形成多个凸多边形，并产生一代表该多个凸多边形之边表；一分配器，其可将该边表分配至多个扫描线影像处理单元；该多个扫描线影像处理单元，其可接收该边表并平行同步处理该多个凸多边形；控制逻辑，其可利用一同步调度哨符同步化该多个扫描线影像处理单元之运作，其中该同步调度哨符包括一用以标示扫描线终点之独特图案；以及多个缓冲储存器，其可储存由该多个扫描线影像处理单元产生之影像数据。该图形引擎包括控制逻辑，其可根据一扫描方向辨别所述一或多个图形对象其边界之过渡；以及控制逻辑，其可将所述一或多个图形对象划分为多个凸多边形。各该扫描线影像处理单元包括一先进先出(FIFO)机制，其可储存该边表之项目；一逐渐增量内插值法更新式逻辑，其可更新该边表之项目；以及一多路复用器，其可自该分配器及一在前之扫描线影像处理单元接收数据。该分配器包括控制逻辑，其可根据一预设之间隔因子，而于该多个扫描线影像处理单元之间，来平衡该边表之处理负载；以及控制逻辑，其可根据各该扫描线影像处理单元中之先进先出机制之容量大小，而于该多个扫描线影像处理单元之间，来平衡该边表之处理负载。该多个扫描线影像处理单元包括控制逻辑，其可以轮流方式每次处理一个凸多边形之一部分。此外，各该扫描线影像处理单元包括控制逻辑，其可根据一预设之扫描方向扫描部分该凸多边形；控制逻辑，其可扫描部分该凸多边形转换成栅格化图像；以及控制逻辑，其可于部分该凸多边形之边界处执行图像淡出操作。用以扫描部分该凸多边形之控制逻辑包括控制逻辑，其可沿一列扫描部分该凸多边形；或控制逻辑，其可沿一行扫描部分该凸多边形。该用以执行影像图像淡出操作处理之控制逻辑包括控制逻辑，其可利用一第二同步调度哨符控制部分该凸多边形之边界图像淡出操作；以及控制逻辑，其可根据该第二同步调度哨符而自各该扫描线影像处理单元之图像淡出操作来输出数据。用以同步化该多个扫描线影像处理单元之运作之控制逻辑包括控制逻辑，其可连结各该扫描线影像处理单元中之先进先出机制以形成一先进先出机制链，藉以储存该边表所列之该多个凸多边形；以及控制逻辑，其可利用其同步调度哨符控制该多个缓冲储存器之影像数据输出。于另一实施例中，一种执行平行同步影像处理之方法包括下列步骤处理一或多个图形对象以形成多个凸多边形；产生一代表该多个凸多边形之边表；将该边表分配至多个扫描线影像处理单元；利用其多个扫描线影像处理单元，平行同步处理该边表所列之该多个凸多边形；利用一同步调度哨符同步化该多个扫描线影像处理单元之运作，其同步调度哨符包括一用以标明扫描线终点之独特图案；以及利用多个缓冲储存器储存该多个扫描线影像处理单元所产生之影像数据。所述处理一或多个图形对象之步骤包括根据一扫描方向辨别所述一或多个图形对象其边界之过渡；以及将所述一或多个图形对象划分为多个凸多边形。各扫描线影像处理单元包括一先进先出机制，其可储存该边表之项目；一逐渐增量内插值法更新式逻辑，其可更新该边表之项目；以及一多路复用器，其可自一分配器及一在前之扫描线影像处理单元接收数据。 所述分配该边表之步骤包括根据一预设之间隔因子，而于该多个扫描线影像处理单元之间，来平衡该边表之处理负载；以及根据各该扫描线影像处理单元中之先进先出机制之容量大小，而于多个扫描线影像处理单元之间，来平衡该边表之处理负载。所述处理该多个凸多边形之步骤包括将各扫描线影像处理单元之组态设定为可以轮流方式每次处理一个凸多边形之一部分。处理该多个凸多边形尚包括根据一预设之扫描方向扫描部分该凸多边形；扫描部分该凸多边形转换本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·基恩，T·莱迪格，
申请(专利权)人：派因布鲁克成像系统公司，
类型：
国别省市：