波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，形成于固定基板的与可动基板相对的面；第二反射膜，设置于可动基板，并与第一反射膜有间隙地对置；第一电极，设置于固定基板的与可动基板相对的面；第二电极，设置于可动基板，并与第一电极相对；接合部，设置于固定基板和可动基板互相对置的面，接合固定基板与可动基板；以及槽部，设置于固定基板和可动基板彼此相对的面中的至少一个面，其中，形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间与外部经由槽部连通。

【技术实现步骤摘要】
波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置
本专利技术涉及一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。
技术介绍
已知一种从具有多个波长的光中取出指定波长的光的波长可变干涉滤波器。例如，在专利文献1中公开有一种波长可变干涉滤波器(以下也称为标准具)，具有：固定镜以及在该固定镜上具有可变间隙地配置的可动镜，并选择性地使与间隙对应的指定波长的光透过。在先技术文献专利文献日本专利文献1：特开2003-14641号公报
技术实现思路
在专利文献1那样结构的波长可变干涉滤波器中，在使固定镜与可动镜之间的间隙尺寸变化时，可动镜弯曲并以按压存在于形成间隙的空间内的空气的方式移动，保持与固定镜的间隙。此时，在空气被挤出的流路长的情况或者流路狭窄的情况下，空气阻力(由空气产生的抵抗力)作用于可动镜的移动方向，存在可动镜的移动时间变长的问题。因此，对于可动镜的移动，要达到获取所希望的波长的透过光，就要花费时间，从而使波长可变干涉滤波器的响应性下降。本专利技术就是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够作为下述的方式或者应用例来实现。应用例1本应用例涉及的波长可变干涉滤波器的特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板彼此相对的面，并接合所述第一基板与所述第二基板；以及槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板彼此相对的面中的至少一个面，其中，形成所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述间隙的空间经由所述槽部与外部连通。根据该构成，在第一基板和第二基板彼此相对的面中至少一个面设有槽部，从而形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间经由槽部与外部连通。因此，在以使第一反射膜与第二反射膜靠近的方式动作时，存在于形成间隙的空间的空气通过槽部流动到波长可变干涉滤波器的外部。所以，第一反射膜与第二反射膜靠近时空气阻力难以作用。因此，第一反射膜与第二反射膜靠近时间变短，在短时间内可以实现获取所希望的波长的透过光，滤波器的响应性提高。应用例2在上述应用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述槽部被形成多个。根据该构成，由于连通形成间隙的空间与外部的槽部形成有多个，因而在第一反射膜与第二反射膜靠近时，易于从形成间隙的空间经由槽部向波长可变干涉滤波器的外部挤出空气。应用例3在上述应用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选所述槽部从所述第一反射膜或第二反射膜的中心以等角度、放射状地形成。根据该构成，由于槽部被从第一反射膜或者第二反射膜的中心以等角度、放射状地形成，因而被挤出的空气均等地经由各槽部向波长可变干涉滤波器的外部流走。因此，在第一反射膜与第二反射膜靠近时，第一基板或第二基板能够沿与厚度正交的方向平衡地移动，进而能够平衡地保持第一反射膜与第二反射膜。应用例4在上述应用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选地，在所述第二基板，形成有：可动部，设有所述第二反射膜，并且使所述第一反射膜与所述第二反射膜的间隙尺寸可变；以及连结保持部，与所述可动部连结，其厚度形成为比所述可动部的厚度薄，在与所述第二基板相对的所述第一基板，形成有所述槽部。根据该构成，将第二基板作为可动侧的基板，具备可动部和与可动部连接的连结保持部，在固定侧的基板即第一基板形成有槽部。虽然由于在可动侧的第二基板具有厚度被形成为比可动部的厚度薄的连结保持部，因而如果形成槽部，则恐怕不能够维持连结保持部的精度和功能，但是对于第一基板而言，由于是固定侧的基板，因而即使形成槽部也没有问题，并且，具有设计自由度。这样，通过在固定侧的第一基板形成槽部，能够不受设计上的制约而形成用于使空气流动到外部的槽部。应用例5在上述应用例涉及的波长可变干涉滤波器中，优选，在所述槽部形成有多个具有接合所述第一基板与所述第二基板的接合面的柱状部。根据该构成，由于槽部具有多个柱状部，因而在接合第一基板与第二基板时，柱状部的接合面与第一基板或第二基板接触，能够防止基板在槽部中弯曲。另外，由于柱状部与基板的接触面积增加，因而能够使接合强度提高。应用例6本应用例涉及的滤光器模块，其特征在于，包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板彼此相对的面，接合所述第一基板与所述第二基板；槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板彼此相对的面中的至少一个面；以及受光部，接收透过了所述第一反射膜或所述第二反射膜的光。根据该构成，在第一反射膜与第二反射膜靠近时，存在于形成间隙的空间内的空气经由槽部流动到外部。因此，第一反射膜与第二反射膜靠近时的空气阻力作用小，第一反射膜与第二反射膜靠近时间变为短时间。所以，能够提供响应性优异的滤光器模块。应用例7本应用例涉及的光分析装置的特征在于，包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板彼此相对的面，并接合所述第一基板与所述第二基板；槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板彼此相对的面中的至少一个面；受光部，接收透过了所述第一反射膜或所述第二反射膜的光；以及分析处理部，根据由所述受光部得到的信号来分析所述光的光特性。根据该构成，在第一反射膜与第二反射膜接近时，存在于形成间隙的空间内的空气经由槽部流动到外部。因此，第一反射膜与第二反射膜接近时的空气阻力作用小，第一反射膜与第二反射膜接近时间变短。所以，能够提供响应性优异的光分析装置。附图说明图1是示出第一实施方式的测色装置的构成的框图。图2是第一实施方式涉及的标准具的俯视图。图3是第一实施方式涉及的标准具的截面图。图4是第一实施方式涉及的标准具的截面图。图5是示出第一实施方式涉及的标准具的固定基板的构成的俯视图。图6是示出第一实施方式涉及的标准具的可动基板的构成的俯视图。图7是示出第一实施方式涉及的标准具的变形例的构成的俯视图。图8是示出第一实施方式涉及的标准具的变形例的构成的截面图。图9是示出作为第二实施方式的光分析装置的气体检测装置的构成的截面图。图10是第二实施方式的气体检测装置的电路框图。图11是示出作为第三实施方式的光分析装置的食品分析装置的构成的框图。图12是示出作为第四实施方式的光分析装置的光谱照相机的构成的立体图。具体实施方式下面，将根据附图对本专利技术的具体实施方式进行说明。此外，在下述说明中使用的各附图中，为将各部件形成为可辨别的大小，适当改变了各部件的尺寸的比例，并示出其大致的构成。第一实施方式下面，将根据附图来说明本专利技术涉及的第一实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，用于接合所述第一基板与所述第二基板；以及槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面，其中，形成所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述间隙的空间经由所述槽部与外部连通。

【技术特征摘要】
2011.07.26 JP 2011-1628991.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，用于接合所述第一基板与所述第二基板；以及槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面，在所述槽部配置有多个柱状部，所述第一基板和所述第二基板通过多个所述柱状部接合，其中，形成所述第一反射膜与所述第二反射膜之间的所述间隙的空间经由所述槽部与外部连通。2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述槽部被形成多个。3.根据权利要求2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述槽部从所述第一反射膜或所述第二反射膜的中心以等角度、放射状地形成。4.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，在所述第二基板，形成有：可动部，设有所述第二反射膜，并且使所述第一反射膜与所述第二反射膜的间隙尺寸可变；以及连结保持部，与所述可动部连结，其厚度形成为比所述可动部的厚度薄，在与所述第二基板相对的所述第一基板，形成有所述槽部。5.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，多个所述柱状部分别具有接合所述第一基板与所述第二基板的接合面。6.根据权利要求4所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，多个所述柱状部分别具有接合所述第一基板与所述第二基板的接合面。7.一种滤光器模块，其特征在于，包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，用于接合所述第一基板与所述第二基板；槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面；以及受光部，接收透过了所述第一反射膜或所述第二反射膜的光，在所述槽部配置有多个柱状部，所述第一基板和所述第二基板通过多个所述柱状部接合。8.一种光分析装置，其特征在于，包括：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二反射膜，设置于所述第二基板，并与所述第一反射膜有间隙地相对；第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的面；第二电极，设置于所述第二基板，并与所述第一电极相对；接合部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面，用于接合所述第一基板与所述第二基板；槽部，设置于所述第一基板和所述第二基板的彼此相对的面中的至少一个面；受光部，接收透过了所述第一反射膜或所述第二反射膜的光；以及分析处理部，根据由所述受光部得到的信号来分析所述光的光特性，在所述槽部配置有多个柱状部，所述第一基板和所述第二基板通过多个所述柱状部接合。9.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，形成于所述第一基...

【专利技术属性】
技术研发人员：松下友纪，松野靖史，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：