一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉，涉及半导体材料制备技术领域，用来解决现有锁紧机构开启锁紧费时费力、自动化程度差的问题。所述区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以锁紧或开启所述门板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体材料制备
，尤其涉及一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉。
技术介绍
立式悬浮区熔炉是在真空或惰性气体环境下利用悬浮区熔技术在悬浮区熔区对半导体材料进行提纯和单晶生长的设备，通过计算机实现区熔单晶生长的半自动控制，用于生产无污染、高电阻、高寿命、高纯度的半导体材料。 传统区熔炉门板的锁紧机构一般都采用多组螺钉锁紧固定板从而锁紧门板的方式，所以需要工人用扳手操作，门板的开启和闭合通常需要几个工人同时花费几分钟操作，开启锁紧非常繁琐，费时费力，效率低下，自动化程度差，影响生产效率。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉，用来解决现有锁紧机构开启锁紧费时费力、自动化程度差的问题。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案一种区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以压紧或打开所述门板。优选地，所述斜面与所述门板所在的平面的夹角为10-25度。优选地，所述推杆往复运动的位移为15-40毫米。优选地，所述压紧块内设有螺纹孔，所述推杆的一端设有与所述螺纹孔配合的螺纹，所述推杆的另一端连接所述驱动机构。进一步地，所述推杆上设有与所述螺纹配合的定位螺母。 优选地，所述驱动机构为气动驱动机构、液压驱动机构或机械驱动机构。一种区熔炉，包括炉体和覆盖所述炉体的炉门，所述炉门包括门板和设在所述门板外侧并通过螺钉与所述门板连接的固定板，所述门板的两相对侧均设有上述区熔炉门板锁紧机构。优选地，所述区熔炉门板锁紧机构中的驱动机构固定安装在机座上，所述机座固定安装在所述炉体上。优选地，所述机座上设有通孔，所述锁紧机构安装在所述通孔内。本专利技术实施例提供的区熔炉门板锁紧机构及区熔炉中，由于所述压紧块与所述门板通过斜面配合，因此当所述驱动机构驱动所述推杆向所述门板运动时，所述推杆的水平推力通过所述斜面转化为对所述门板的垂直压力，将所述门板压紧；当所述推杆远离所述门板运动时，所述门板即被开启。在此过程中，所述固定板不承受主要力量，只需手动拧紧旋钮实现所述固定板与所述门板的固定即可。所述炉门的开启与闭合不需要借助扳手，操作简单快捷，效率高。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本专利技术实施例提供的一种区熔炉的俯视图；图2为图I所示A区域的局部放大图。具体实施例方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图I和图2所示，为本专利技术提供的区熔炉门板锁紧机构的一个具体实施例，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，所述门板2的两相对侧分别设有与所述门板2的边缘通过斜面9配合的压紧块7，所述压紧块7固定连接有推杆6，所述推杆6连接有驱动机构4，所述驱动机构4驱动所述推杆6往复运动以压紧或打开所述门板2。本专利技术实施例提供的区熔炉门板锁紧机构，由于所述压紧块7与所述门板2通过斜面9配合，因此当所述驱动机构4驱动所述推杆6向所述门板2运动时，所述推杆6的水平推力通过所述斜面9转化为对所述门板2的垂直压力，将所述门板2压紧；当所述推杆6远离所述门板2运动时，所述门板2即被开启。在此过程中，所述炉门的开启与闭合不需要借助扳手，操作简单快捷，效率高。优选地，所述斜面与所述门板所在的平面的夹角为10-25度。这是因为所述斜面的角度过大，会导致所述斜面与所述门板的静摩擦力过大，造成所述压紧块难以往复运动；所述斜面的角度太小，不利于门板的压紧。例如，所述斜面的倾斜角度优选20度。优选地，所述推杆往复运动的位移为15-40毫米。所述位移的具体数值可以根据具体的区熔炉而定，但不能太大也不能太小，所述位移太大会导致锁紧机构庞大，所述位移太小会导致所述压紧块的可移动范围减小，不利于所述门板的压紧。例如，所述推杆的位移优选为20毫米。作为上述实施例的优选实施例，所述压紧块内设有螺纹孔，所述推杆的一端设有与所述螺纹孔配合的螺纹，所述推杆的另一端连接所述驱动机构。这样所述推杆与所述压紧块构成可拆卸地连接，在装配时，将所述推杆旋入所述螺纹孔中即可实现所述推杆与所述压紧块的固定连接，当需要更换或维护其中的一个部件时，将所述推杆旋出即可。作为对上述实施例的进一步改进，参看图2所示，所述推杆6上设有与所述螺纹配合的定位螺母10。这样所述定位螺母10可以实现所述推杆6与所述压紧块7间的定位，也就是控制所述推杆6旋入所述螺纹孔的深度。作为对上述实施例的优选实施例，所述驱动机构可以为气动驱动机构、液压驱动机构或机械驱动机构。也可以是其它能实现自动化操作的驱动机构。本专利技术实施例还提供了一种区熔炉，如图I所示，所述区熔炉包括炉体I和覆盖所述炉体I的炉门，所述炉门包括门板2和设在所述门板2外侧并通过螺钉与所述门板2连接的固定板3，所述门板2的两相对侧均设有上述区熔炉门板锁紧机构。优选地，如图2所示，所述区熔炉门板锁紧机构中的驱动机构4固定安装在机座5上，所述机座5固定安装在炉体I上。其中可以在机座5上开设通孔，将所述驱动机构4安装在所述通孔内，定位准确，节省空间。本专利技术实施例提供的区熔炉中，由于所述压紧块7与所述门板2通过斜面9配合，因此当所述驱动机构4驱动所述推杆6向所述门板2运动时，所述推杆6的水平推力通过所述斜面9转化为对所述门板2的垂直压力，将所述门板2压紧；当所述推杆6远离所述门 板2运动时，所述门板2即被开启。在此过程中，所述固定板3不承受主要力量，只需手动拧紧旋钮8实现所述固定板3与所述门板2的固定即可。所述炉门的开启与闭合不需要借助扳手，操作简单快捷，效率高。以上所述，仅为本专利技术的具体实施方式，但本专利技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本专利技术揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本专利技术的保护范围之内。因此，本专利技术的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。权利要求1.一种区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，其特征在于，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以锁紧或打开所述门板。2.根据权利要求I所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述斜面与所述门板所在的平面的夹角为10-25度。3.根据权利要求I所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述推杆往复运动的位移为15-40毫米。4.根据权利要求I所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述压紧块内设有螺纹孔，所述推杆的一端设有与所述螺纹孔配合的螺纹。5.根据权利要求4所述的区熔炉门板锁紧机构，其特征在于，所述推杆上设有与所述螺纹配合的定位本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种区熔炉门板锁紧机构，用于实现区熔炉门板的锁紧与开启，其特征在于，所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜面配合的压紧块，所述压紧块固定连接有推杆，所述推杆连接有驱动机构，所述驱动机构驱动所述推杆往复运动以锁紧或打开所述门板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：袁静，李岩，王军，张继宏，
申请(专利权)人：北京京运通科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：