镀膜的方法技术

本发明专利技术公开一种镀膜的方法，其包括：提供一基板、以及一镀膜源与基板相对，提供一阴影掩模单元于基板与镀膜源之间且对应于基板的一第一区域，其中阴影掩模单元具有一开口图案，阴影掩模单元的面积小于基板的面积；以阴影掩模单元为掩模，利用镀膜源进行一第一镀膜制作工艺，以于开口图案所暴露出的第一区域上形成一第一图案化镀膜；使阴影掩模单元与基板之间相对位移，以使位移后的阴影掩模单元对应于基板的一第二区域；以及以阴影掩模单元为掩模，利用镀膜源进行一第二镀膜制作工艺，以于开口图案所暴露出的第二区域上形成一第二图案化镀膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及膜层的形成方法，且特别是涉及在大尺寸的基板上进行。
技术介绍
有机发光二极管(Organic Light Emittine Diode ；0LED)具有结构简单、不需外加背光源、分辨率高、像素独立色彩表现佳、反应时间较短等优异的特性，目前已普遍运用于平面显示器的全彩化的制作工艺技术中。有机发光二极管显示元件的制作方法是利用掩模(Shadow Mask)与像素对位技术将有机发光材料蒸镀于玻璃基板上以形成一图案化的有机发光层，其中掩模是由一金属薄膜以及一与金属薄膜的周边区相连的框架构成。 近年来，随着玻璃基板的制作技术日益进步，玻璃基板的尺寸日益增加，因此，需要使用尺寸较大的掩模。然而，掩模的尺寸增加会衍生出一些问题，例如框架尺寸增加会导致重量增加且容易变形，因此，在储存、搬运、与制作工艺中对人员的操作以及机台设计会增加许多难度，以致于制作成本提高；金属薄膜的尺寸受到供应商的限制，故不易取得大尺寸的金属薄膜；以及随着金属薄膜的尺寸增加，用以加工金属薄膜的机具也需配合放大，以致于制作成本大幅提高。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术一实施例提供一种，包括提供一基板、以及一镀膜源与基板相对，提供一阴影掩模单元于基板与镀膜源之间且对应于基板的一第一区域，其中阴影掩模单元具有一开口图案；以阴影掩模单元为掩模，利用镀膜源进行一第一镀膜制作工艺，以于开口图案所暴露出的第一区域上形成一第一图案化镀膜；使阴影掩模单元与基板之间相对位移，以使位移后的阴影掩模单元对应于基板的一第二区域，第二区域与第一区域部分重叠或是彼此分离；以及以阴影掩模单元为掩模，利用镀膜源进行一第二镀膜制作工艺，以于开口图案所暴露出的第二区域上形成一第二图案化镀膜。附图说明图IA至图ID为本专利技术一实施例的镀膜制作工艺的上视图；图2A至图2D分别为图IA至图ID沿1_1’线段的剖视图；图3A为本专利技术另一实施例的镀膜制作工艺的上视图；图3B为图3A沿1-1’线段的剖视图；图4为本专利技术又一实施例的镀膜制作工艺的上视图；图5为本专利技术一实施例的镀膜制作工艺的上视图；图6A至图6C为本专利技术一实施例的镀膜制作工艺的上视图；图7A至图7C分别为图6A至图6C沿1_1’线段的剖视图；图8为本专利技术另一实施例的镀膜制作工艺的上视图。主要元件符号说明110 基板；112 表面；120 镀膜源；130 阴影掩模单元；132 开口图案；132a 开口；134 金属薄膜； 136 框架；142、144、144a、146、148 图案化镀膜；Al 第一区域；A2 第二区域；A3 第三区域；L1、L2 长度；V1、V2、V3、V4、V5、V6 移动方向；W1、W2 宽度。具体实施例方式以下将详细说明本专利技术实施例的制作与使用方式。然应注意的是，本专利技术提供许多可供应用的专利技术概念，其可以多种特定型式实施。文中所举例讨论的特定实施例仅为制造与使用本专利技术的说明，非用以限制本专利技术的范围。此外，在不同实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本专利技术，不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间具有任何关连性。再者，当述及一第一材料层位于一第二材料层上或之上时，包括第一材料层与第二材料层直接接触或间隔有一或更多其他材料层的情形。在附图中，实施例的形状或是厚度可扩大，以简化或是方便标示。图IA至图ID绘示本专利技术一实施例的镀膜制作工艺的上视图。图2A至图2D分别绘示图IA至图ID沿1-1’线段的剖视图。请同时参照图IA与图2A，提供一基板110、以及一镀膜源120与基板110相对，其中镀膜源120例如为一蒸发源,其适于在基板上蒸镀电激发光材料,例如有机发光二极管(OLED)材料。基板110例如为一玻璃基板。在基板110与镀膜源120之间提供一阴影掩模单元130，且阴影掩模单元130对应于基板110的一第一区域Al。在一实施例中，阴影掩模单元130配置于第一区域Al上。详细而言，阴影掩模单元130具有一开口图案132暴露出部分第一区域Al。在一实施例中，开口图案132具有多个开口 132a。在一实施例中，阴影掩模单元130的面积小于基板110的面积，也就是说，阴影掩模单元130的尺寸小于基板110的尺寸(例如长度及/或宽度)。在一实施例中，阴影掩模单元130包括一具有开口图案132的金属薄膜134以及一框架136，框架136与金属薄膜134的周边区接触以支撑金属薄膜134。接着，以阴影掩模单元130为掩模，利用镀膜源120进行一镀膜制作工艺(例如蒸镀制作工艺)，以于开口图案132所暴露出的第一区域Al上形成一图案化镀膜142 (如图IB与图2B所示)。然后，请同时参照图IB与图2B，使阴影掩模单元130与基板110之间相对位移，以使位移后的阴影掩模单元130对应于基板110的一第二区域A2。详细而言，在本实施例中，使阴影掩模单元130与基板110之间相对位移为在基板110位置固定的情况下移动阴影掩模单元130，以改变阴影掩模单元130与基板110的相对位置。在一实施例中，第二区域A2与第一区域Al彼此不重叠。在一实施例中，阴影掩模单元130位于基板110的一表面112上，且阴影掩模单元130的移动方向(如图2B所不的移动方向VI)平行于表面112的任一方向。此外,在移动阴影掩模单元130时，可一并移动镀膜源120，以使镀膜源120对齐阴影掩模单元130。之后，以阴影掩模单元130为掩模，利用镀膜源120进行一镀膜制作工艺，以于开 口图案132所暴露出的第二区域A2上形成一图案化镀膜144 (如图IC与图2C所示)。在一实施例中，图案化镀膜142与图案化镀膜144彼此分离。接着，请参照图IC与图2C，使阴影掩模单元130与基板110之间再次相对位移，以使再次位移后的阴影掩模单元130对应于基板110的一第三区域A3。在一实施例中，第三区域A3与第一区域Al及第二区域A2彼此分离。在一实施例中，阴影掩模单元130的移动方向(如图2C所不的移动方向V2)平行于表面112的任一方向。然后，以阴影掩模单元130为掩模，利用镀膜源120进行一镀膜制作工艺，以于开口图案132所暴露出的第三区域A3上形成一图案化镀膜146 (如图ID与图2D所示)。图案化镀膜142、144、146的材质例如为电激发光材料，如有机发光二极管材料。之后，如图ID与图2D所示，可视情况而重复前述制作工艺步骤(包括依序使阴影掩模单元130与基板110之间相对位移以及进行镀膜制作工艺)一或多次，以再于基板110上形成一或多个图案化镀膜148。在一实施例中，当阴影掩模单元130的长度LI不小于基板110的长度L2，且阴影掩模单元130的宽度Wl小于基板110的宽度W2时(如图IA所示)，可使相对位移的移动方向Vl与再次相对位移的移动方向V2皆平行于基板110的宽度方向(如图IC所示)。图3A绘示本专利技术另一实施例的镀膜制作工艺的上视图。图3B绘示图3A沿1_1’线段的剖视图。在另一实施例中，如图3A与图3B所示，第一区域Al与第二区域A2可部分重叠，且进行镀膜制作工艺之后所形成的图案化镀膜142与图案化镀膜144a可彼此部分重叠。之后，可重复移动阴影掩模单元并进行镀膜制作工艺直到完成预定形成在基板1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镀膜的方法，包括：提供一基板、以及一镀膜源与该基板相对，提供一阴影掩模单元于该基板与该镀膜源之间且对应于该基板的一第一区域，其中该阴影掩模单元具有一开口图案；以该阴影掩模单元为掩模，利用该镀膜源进行一第一镀膜制作工艺，以于该开口图案所暴露出的该第一区域上形成一第一图案化镀膜；使该阴影掩模单元与该基板之间相对位移，以使位移后的该阴影掩模单元对应于该基板的一第二区域，该第二区域与该第一区域部分重叠或是彼此分离；以及以该阴影掩模单元为掩模，利用该镀膜源进行一第二镀膜制作工艺，以于该开口图案所暴露出的该第二区域上形成一第二图案化镀膜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄浩榕，周皓煜，康嘉滨，林哲玮，
申请(专利权)人：群康科技深圳有限公司，奇美电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：