用于化学制程的支架制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种用于化学制程的支架，包括支架本体，所述支架本体上设置有用于容置版材的容置腔，所述容置腔至少一侧壁上设置有若干用于卡置所述版材的卡槽。本实用新型专利技术实施例的用于化学制程的支架，通过于支架上设置若干阵列排布的卡槽，实现版材的批量制程，有效提高版材的化学制程效率，降低生产成本，同时，还能加强套版的套合精度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光罩生产
，尤其涉及一种用于化学制程的支架。
技术介绍
随着科技的不断发展，光罩所涉及的领域越来越广，相关行业对光罩的需求量也不断增加，而且需求时间更加紧张，时效已成为企业非常重视的问题。与此同时，光刻机曝光速度越来越快，曝光完一张小版几分钟就能完成。但是化学药液腐蚀速度没有提高，化学制程这个环节严重影响了光罩制程效率。现有的光罩制程中，单次化学制程仅能制程一片铬版，生产效率非常低，无法满足 快速生产的需求；同时，每一次化学制过程中的化学腐蚀都会由于液体和操作过程不一而存在偏差，且偏差方向不固定，整套版的套合精度不高。
技术实现思路
本技术实施例所要解决的技术问题在于，提供一种用于化学制程的支架，有效提高制程效率，降低生产成本。为了解决上述技术问题，本技术实施例提出了一种用于化学制程的支架，包括支架本体，所述支架本体上设置有用于容置版材的容置腔，所述容置腔至少一侧壁上设置有若干用于卡置所述版材的卡槽。进一步地，所述卡槽沿所述容置腔深度方向平行排布。进一步地，所述卡槽均匀分布或阵列排布于所述容置腔侧壁上。进一步地，所述卡槽对应设置于所述容置腔的两相对侧壁上。进一步地，所述卡槽对应设置于所述容置腔的四侧壁上，且两相对侧壁上的所述卡槽相对应。进一步地，形成所述卡槽的凸条底部与所述容置腔底面留有空隙。本技术实施例的有益效果是通过设置具有版材容置腔的支架，于容置腔内设置若干用于卡置版材的卡槽，实现版材的批量制程，从而大大提高版材的化学制程效率，进而提高光罩生产效率，降低生产成本；同时，采用批量制程，保证每片版材偏差相同，进而有效提高整套版的套合精度。附图说明图I是本技术实施例的支架的一种实施方式结构图。图2是本技术实施例的支架的另一种实施方式结构图。图3是本技术实施例的支架的使用状态示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步具体说明。如图f图3所示，本技术实施例提供一种用于化学制程的支架，包括支架本体1，所述支架本体I上设置有用于容置版材2的容置腔3，所容置腔3至少一侧壁上设置有若干条卡槽4用于卡置所述版材2。较佳地，所述卡槽4呈纵向平行阵列排布。所述容置腔3也可用于盛装化学处理试剂以浸泡处理所述版材2。如图I所示，在本实施例中，所述卡槽4对应设置于所述容置腔3两相对侧壁上，所述容置腔3为但不限于矩形，其两个相对的侧壁上设置有若干矩形阵列排布的所述卡槽4;作为一种实施方式，所述卡槽4也可如图2所示对应设置于所述容置腔3的四侧壁上，且两相对侧壁上的所述卡槽4相对应。两相邻的所述卡槽4之间的间距没有特殊限定，所述卡槽4可按照一定排布方式均匀分布于所述容置腔3的侧壁上，也可采用阵列排布方式进行设置。本技术实施例中，所述卡槽4由若干矩形阵列排布的凸条5两两相邻形成，为保证所述支架在工作时，不影响所述版材2的化学制程效果，确保所述容置腔3内化学药液的流动性，所述凸条5底部与所述容置腔3底面间留有空隙。请参考图3，以下对采用本技术实施例的所述支架进行批量化学制程的具体方法作详细说明，本实施例陈述的方法中所采用的所述版材2为铬版。I、从光刻机中将曝光好的铬版取下，放到本技术实施例所述支架上。然后将新的版材2放到光刻机中继续曝光，待所述支架上放上同条件下曝光好的一定量的所述版材2之后，再同时进行后续制程。2、把放置有一定量的所述版材2的所述支架放到显影液里显影，多片所述版材2同时被化学腐蚀。在进行化学腐蚀时，多片腐蚀的过程和单片腐蚀过程几乎一样，没有很大的区别。由于多片所述版材2在所述支架的卡槽4内形成垂直均匀的分布，且所述支架本身通透性很好，不会影响化学药液的流动性，故能保证多片批量化学制程时每张所述版材2均能被腐蚀得均匀透彻。3、将显影好的所述版材2再拿去清洗，清洗好后再接着蚀刻,蚀刻好后再进行清洗等后续制程，进而批量完成所述版材2的化学制程。对所述版材2进行化学制程时，所有制程均不必像往常一样一张张的进行，均可将所述版材2放置于所述支架上以同时进行各项制程。与传统的单片化学制程相比，采用本技术实施例的所述支架实现批量制程，具有如此优点；I、传统的单片化学制程一次只能制程一片所述版材2，制程效率低，无法满足快速生产的需求；而采用本技术实施例的所述支架进行批量制程，一次可制程多片，大大提高制程效率。2、传统的单片化学制程由于生产方式等因素需要较多的工作人员才能完成一定任务量的工作，且机器的利用率较低；而采用本技术实施例的所述支架进行批量制程，由于一次可制程多片，大大减少工作人员工作量，进而减少工作时间及工作人员，降低生产成本，同时充分提高机器的使用率，以创造更多价值。3、由于每次化学腐蚀都会因液体浓度和操作过程不一而导致偏差，且偏差方向无法固定，采用传统的单片化学制程则会使每片所述版材2的偏差不一，致使整套版套合时精度不高；而采用本技术实施例的所述支架进行批量制程，虽然无法避免每片所述版材2的偏差，但由于同时同条件下腐蚀,偏差都会往同一个方向，这样整套版套合时,套合精度会更高。以上所述是本技术的具体实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰， 这些改进和润饰也视为本技术的保护范围。权利要求1.一种用于化学制程的支架，其特征在于，包括支架本体，所述支架本体上设置有用于容置版材的容置腔，所述容置腔至少一侧壁上设置有若干用于卡置所述版材的卡槽。2.如权利要求I所述的用于化学制程的支架，其特征在于，所述卡槽沿所述容置腔深度方向平行排布。3.如权利要求I所述的用于化学制程的支架，其特征在于，所述卡槽均匀分布或阵列排布于所述容置腔侧壁上。4.如权利要求I所述的用于化学制程的支架，其特征在于，所述卡槽对应设置于所述容置腔的两相对侧壁上。5.容置腔的四侧壁上，且两相对侧壁上的所述卡槽相对应。6.如权利要求I所述的用于化学制程的支架，其特征在于，形成所述卡槽的凸条底部与所述容置腔底面留有空隙。专利摘要本技术实施例公开了一种用于化学制程的支架，包括支架本体，所述支架本体上设置有用于容置版材的容置腔，所述容置腔至少一侧壁上设置有若干用于卡置所述版材的卡槽。本技术实施例的用于化学制程的支架，通过于支架上设置若干阵列排布的卡槽，实现版材的批量制程，有效提高版材的化学制程效率，降低生产成本，同时，还能加强套版的套合精度。文档编号G03F1/64GK202693993SQ20122024067公开日2013年1月23日 申请日期2012年5月25日 优先权日2012年5月25日专利技术者杜武兵, 邓阿庆 申请人:深圳市路维电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于化学制程的支架，其特征在于，包括支架本体，所述支架本体上设置有用于容置版材的容置腔，所述容置腔至少一侧壁上设置有若干用于卡置所述版材的卡槽。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杜武兵，邓阿庆，
申请(专利权)人：深圳市路维电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：