【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种PECVD设备的
，尤其是一种真空管。
技术介绍
现有的真空管保温效果和密封效果比较差，抗腐蚀性比较低，降低了热利用效率，缩短了真空管的使用寿命，大大降低了真空管工作的可靠性
技术实现思路
为了克服现有的真空管保温效果差、热利用效率低、使用寿命短以及工作可靠性低的不足，本技术提供了一种真空管。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种真空管，包括外管、内管、真空腔、端部密封板和吸热层，外管与内管连接，外管与内管之间设有真空腔，外管一端设有端部密封板，内管外壁上设有一层吸热层。根据本技术的另一个实施例，进一步包括内管长度大于外管，内管伸出外管一端上设有螺纹。本技术的有益效果是，这种真空管结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，保温效果和密封效果好，抗腐蚀性高，提高了热利用效率，延长了真空管的使用寿命，大大提高了真空管工作的可靠性，易于使用推广。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。图I是本技术的结构示意图。图中I.外管，2.内管，3.真空腔，4.端部密封板，5.吸热层，6.螺纹。具体实施方式如图I是本技术的结构示意图，一种真空管，包括外管I、内管2、真空腔3、端部密封板4、吸热层5和螺纹6，外管I与内管2连接，外管I与内管2之间设有真空腔3，外管I 一端设有端部密封板4，内管2外壁上设有一层吸热层5，内管2长度大于外管1，内管2伸出外管I 一端上设有螺纹6。使用时，外管I与内管2的一端密封连接，另一端通过密封板4密封，内管2的长度大于外管1，内管2伸出外管I 一端上设有螺纹，外管I与内管2之间为真空腔3，内管2外壁上设有一层吸热层5。...
【技术保护点】
一种真空管，包括外管（1）、内管（2）、真空腔（3）、端部密封板（4）和吸热层（5），外管（1）与内管（2）连接，其特征是，外管（1）与内管（2）之间设有真空腔（3），外管（1）一端设有端部密封板（4），内管（2）外壁上设有一层吸热层（5）。
【技术特征摘要】
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