一种PECVD镀膜设备特气槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PECVD镀膜设备特气槽，包括：保护板主体，保护板主体包括底板和侧板；底板上开设有用于特气输出的第一特气孔；侧板铰接于底板的两侧，侧板上开设有用于特气输出的第二特气孔；夹紧组件，夹紧组件包括夹紧弹簧和固定轴；夹紧弹簧套设于固定轴上，固定轴固定设置于保护板主体上；夹紧弹簧的两端均设置有分别与底板和侧板抵接的尾端，夹紧弹簧套设于安装轴上。本实用新型专利技术提供的PECVD镀膜设备特气槽，通过夹紧组件将保护板主体安装于特气输送管上的结构设计，能够使得侧板在夹紧弹簧的作用下，紧抱于特气输送管上，其连接可靠。并且，当需要将本实用新型专利技术安装或者拆卸时，仅需要扳动侧板即可实现，其拆卸操作简单易行。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片镀膜设备
，特别涉及一种PECVD镀膜设备特气槽。
技术介绍
太阳能电池组件是一种能够将光能转化为电能的装置，其主要的光电转换部件为硅片。随着光伏行业的快速发展，对硅片的光电转化效率要求也拉越来越高。为了提高硅片的光电转化效率，一般采用的措施包括1、提高保护玻璃板的透射率；2、降低组件内电阻；3、减小硅片的反射率以及钝化作用。在上述三种方法中，以第三种减小硅片的反射率以及钝化作用对提高硅片光电转化效率的效果最为明显。现有技术中实现第三种措施的方法为使用PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气相沉积法)设备于娃片表面进行镀膜。在此对光伏行业中一些名词进行解释PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，以实现降低硅片反射率和钝化作用。镀膜，指经过PECVD设备在硅片的表面沉积一层起减反射和钝化作用的氮化硅薄膜。特气槽，将特气孔以外的裸露的特气管路之间的大盖部分覆盖保护起来，防止沉积物附着在管路及大盖上面。现有技术中提供的PECVD设备，下面以R0TH&RAU公司生产的SINA 2XXL设备为例进行说明。该设备包含两个工艺腔室，即PCl和PC2，这两个腔室共设置有13组特气管路，每组特气管路都需要使用特气槽进行保护。由于特气槽是采用U型一体槽结构设计，靠U型槽自身的张力，挤压在两个管路之间。因此，容易造成每次维护(彻底清理槽体表面的氮化硅)因使用铁锤敲砸将特气槽拆下而引起的槽子容易变形的问题。一旦特气槽发生变形，将会遮挡特气管路上的特气孔影响了特气分布，进而严重影响了工艺质量。同时随着设备的老化，特气槽的自张力不能有效地起到固定特气槽的作用，经常发生槽体脱落的现象。综上所述，如何提供一种安装可靠同时又便于拆卸的特气槽，成为了本领域技术人员接待结局的问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题为提供一种PECVD镀膜设备特气槽，该特气槽通过其结构设计，不仅能够与特气管路可靠连接，同时又便于其于特气管路上的安装拆卸。为解决上述技术问题，本技术提供了一种PECVD镀膜设备特气槽，用于对PECVD镀膜设备特气输送管的保护，包括保护板主体，所述保护板主体包括底板和侧板；所述底板上开设有用于特气输出的第一特气孔；所述侧板铰接于所述底板的两侧，所述侧板上开设有用于特气输出的第二特气孔；夹紧组件，所述夹紧组件包括夹紧弹簧和固定轴；所述夹紧弹簧套设于所述固定轴上，所述固定轴固定设置于所述保护板主体上；所述夹紧弹簧的两端均设置有分别与所述底板和所述侧板抵接的尾端，所述夹紧弹簧套设于所述安装轴上。优选地，所述固定轴设置于所述底板上，所述侧板上设置有与所述固定轴插接的套管。优选地，所述固定轴设置于所述侧板上，所述底板上设置有与所述固定轴插接的套管。优选地，所述夹紧组件为八个，并对称设置于所述底板的两侧。优选地，所述侧板的一边与所述底板铰接，所述侧板的另一边设置有稳定翼板，所述稳定翼板向所述侧板的内侧弯折设置。优选地，所述侧板与所述稳定翼板为一体结构设计。本技术提供了一种PECVD镀膜设备特气槽，用于对PECVD镀膜设备特气输送管的保护，包括保护板主体，保护板主体包括底板和侧板；底板上开设有用于特气输出的第一特气孔；侧板铰接于底板的两侧，侧板上开设有用于特气输出的第二特气孔；夹紧组件，夹紧组件包括夹紧弹簧和固定轴；夹紧弹簧套设于固定轴上，固定轴固定设置于保护板主体上；夹紧弹簧的两端均设置有分别与底板和侧板抵接的尾端，夹紧弹簧套设于安装轴上。侧板铰接于底板的两侧，当保护板主体安装于特气输送管上时，两块侧板能够对特气输送管施加抱紧力，使得本技术抱于特气输送管上，从而实现与特气输送管的安装。底板以及侧板上开设有用于特气输出的第一特气孔和第二特气孔，用于特气的输出。在底板与侧板之间采用铰接的结构基础上，为了使得侧板能够对特气输送管施加可靠的抱紧力，本技术特别设置了夹紧组件。夹紧组件由夹紧弹簧和固定轴构成，夹紧弹簧套设于固定轴上，并能够围绕固定轴转动。夹紧弹簧的两端均设置有分别与底板和侧板抵接的尾端，夹紧弹簧套设于安装轴上，在结构设计中，侧板与底板能够对夹紧弹簧的尾端施加作用力，使其产生形变。当安装于特气输送管上时，夹紧弹簧将在自身回复力的作用下对底板、侧板施加回复力，该回复力使得底板两侧的侧板相互靠拢。本技术提供的PECVD镀膜设备特气槽，通过夹紧组件将保护板主体安装于特气输送管上的结构设计，能够使得侧板在夹紧弹簧的作用下，紧抱于特气输送管上，其连接可靠。并且，当需要将本技术安装或者拆卸时，仅需要扳动侧板即可实现，其拆卸操作简单易行。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图I为本技术一种实施例中PECVD镀膜设备特气槽的结构示意图；图I中部件名称与附体标记的对应关系为底板I ;侧板2 ；夹紧弹簧3 ;尾端31 ；固定轴4;稳定翼板5。具体实施方式本技术的核心为提供一种PECVD镀膜设备特气槽，该特气槽通过设置夹紧弹簧将保护板主体夹设于特气管路上，通过该结构设计，不仅能够与特气管路可靠连接，同时又便于其于特气管路上的安装拆卸。·为了使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步的详细说明。请参考图1，图I为本技术一种实施例中PECVD镀膜设备特气槽的结构示意图。本技术提供了一种PECVD镀膜设备特气槽，用于对PECVD镀膜设备特气输送管的保护，为了实现本技术同时具有可靠的连接性能以及安装的简易性，特别提出了如下技术方案，PECVD镀膜设备特气槽包括保护板主体，保护板主体包括底板I和侧板2 ；底板I上开设有用于特气输出的第一特气孔；侧板2铰接于底板I的两侧，侧板2上开设有用于特气输出的第二特气孔；夹紧组件，夹紧组件包括夹紧弹簧3和固定轴4 ;夹紧弹簧3套设于固定轴4上，固定轴4固定设置于保护板主体上；夹紧弹簧3的两端均设置有分别与底板I和侧板2抵接的尾端31，夹紧弹簧3套设于安装轴上。在上述结构设计中，底板I为作为特气槽的主体部件，用于安装侧板2。侦彳板2铰接于底板I的两侧，当保护板主体安装于特气输送管上时，两块侧板2能够对特气输送管施加抱紧力，使得本技术抱于特气输送管上，从而实现与特气输送管的安装。底板I以及侧板2上开设有用于特气输出的第一特气孔和第二特气孔，根据特气输送管上开设的固定的出气孔，对底板I与侧板2上的特气孔进行结构设计，使得出气孔与特气孔之间形成对应的开设关系，以使得特气的输出顺畅。在底板I与侧板2之间采用铰接的结构基础上，为了使得侧板2能够对特气输送管施加可靠的抱紧力，本技术特别设置了夹紧组件。夹紧组件由夹紧弹簧3和固定轴4构成，夹紧弹簧3套设于固定轴4上，并能够围绕固定轴4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种PECVD镀膜设备特气槽，用于对PECVD镀膜设备特气输送管的保护，其特征在于，包括：保护板主体，所述保护板主体包括底板（1）和侧板（2）；所述底板（1）上开设有用于特气输出的第一特气孔；所述侧板（2）铰接于所述底板（1）的两侧，所述侧板（2）上开设有用于特气输出的第二特气孔；夹紧组件，所述夹紧组件包括夹紧弹簧（3）和固定轴（4）；所述夹紧弹簧（3）套设于所述固定轴（4）上，所述固定轴（4）固定设置于所述保护板主体上；所述夹紧弹簧（3）的两端均设置有分别与所述底板（1）和所述侧板（2）抵接的尾端（31），所述夹紧弹簧（3）套设于所述安装轴上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张自成，张杜超，李倩，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：