本实用新型专利技术公开一种可拆卸式特气孔，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体，所述外露部分为固定在所述圆柱体一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的多边体，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔；本实用新型专利技术可解决工艺过程中沉积的氮化硅对工艺气孔堵塞问题，保证工艺的稳定性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅太阳能电池的生产设备，具体涉及一种PECVD沉积腔室可独立更换气孔的装置，即一种可拆卸式特气孔。
技术介绍
太阳能作为一种清洁、可再生的能源，对它的利用一直被人们所关注。晶体硅太阳电池作为目前太阳能电池的主流，如何降低太阳能电池的成本，提高效率成为国内外晶体硅太阳能电池研究的重点。PECVD镀膜工序作为电池生产线必不可少的一道工艺环节，优化设备生产方式，节约成本提高产能，显得尤为重要。在传统板式镀膜设备中，特气孔的维护保养周期短、维护繁琐，且维护过程对气孔有损伤的问题，是影响镀膜工艺效果和产线生产能力主要因素之一。
技术实现思路
技术目的本技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种能够便于设备维护保养的可拆卸式特气孔，且解决了气孔损伤对工艺的影响问题。技术方案本技术所述的一种可拆卸式特气孔，其特征在于，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体，所述外露部分为固定在所述圆柱体一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的多边体，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔。为了避免了在工艺过程中上述特气孔边缘沉积氮化硅造成该特气孔拆除困难的问题，该可拆卸式特气孔还包括有与所述多边体相适配的气孔保护罩，所述气孔保护罩的顶面开有与所述气孔相连通的圆孔。进一步，该可拆卸式特气孔用不锈钢材料制作而成，耐高温，且嵌入设备后气密性良好。进一步，所述气孔保护罩为中空的多边体。进一步，所述气孔保护罩用钼锡材料制作而成。进一步，所述圆孔的直径为气孔直径的2倍，确保在防止氮化硅沉积在独立气孔上的同时，对工艺气体的流动不存在任何影响。。本技术与现有技术相比，其有益效果是1、本技术可解决工艺过程中沉积的氮化硅对工艺气孔堵塞问题，保证工艺的稳定性；2、本技术全部采用耐高温材料，适用于所有PECVD设备。3、本技术中的独立气孔和气孔保护罩可重复性使用，利于成本控制。4、本技术可单独对设备内部每个气孔进行更换，结构简单且操作维护容易。附图说明图I为本技术的结构示意图。图2为所述独立气孔保护罩示意图。具体实施方式下面对本技术技术方案进行详细说明，但是本技术的保护范围不局限于所述实施例。如图I和2所示，一种可拆卸式特气孔，用不锈钢材料制作而成，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体1，所述圆柱体的高度为O. 5cm，所述外露部分为固定在所述圆柱体I 一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的六边体2，所述六边体2的高为O. 5cm,该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔3，该可拆卸式特气孔还包括有与所述多边体相适配的气孔保护罩，所述气孔保护罩为中空的六边体，所述气孔保护罩用钼锡材料制作而成，所述气孔保护罩的顶面开有与所述气孔3相连通的圆孔4，所述圆孔3的直径为气孔3直径的2倍上述可拆卸式特气孔的安装过程为将扭力扳手调到35牛顿力，将嵌入部分拧入设备工艺腔室气体输出孔内，盖上气孔保护罩即可。·维护过程只需将堵塞的可拆卸式特气孔用扳手拧下更换上新的可拆卸式特气孔即可，替换下来的可拆卸式特气孔和气孔保护罩清洗后可重新使用，该可拆卸式特气孔节约了维护时间，有效的降低了成本，避免了原有设备凿通气孔造成的气孔损伤和气孔孔径均匀度下降影响工艺效果等问题。如上所述，尽管参照特定的优选实施例已经表示和表述了本技术，但其不得解释为对本技术自身的限制。在不脱离所附权利要求定义的本技术的精神和范围前提下，可对其在形式上和细节上作出各种变化。权利要求1.一种可拆卸式特气孔，其特征在于，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体，所述外露部分为固定在所述圆柱体一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的多边体，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔。2.根据权利要求I所述的可拆卸式特气孔，其特征在于，还包括有与所述多边体相适配的气孔保护罩，所述气孔保护罩的顶面开有与所述气孔相连通的圆孔。3.根据权利要求I所述的可拆卸式特气孔，其特征在于，该可拆卸式特气孔用不锈钢材料制作而成。4.根据权利要求2所述的可拆卸式特气孔，其特征在于，所述气孔保护罩为中空的多边体。5.根据权利要求3所述的可拆卸式特气孔，其特征在于，所述气孔保护罩用钼锡材料制作而成。6.根据权利要求2所述的可拆卸式特气孔，其特征在于，所述圆孔的直径为气孔直径的2倍。专利摘要本技术公开一种可拆卸式特气孔，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体，所述外露部分为固定在所述圆柱体一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的多边体，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔；本技术可解决工艺过程中沉积的氮化硅对工艺气孔堵塞问题，保证工艺的稳定性。文档编号C23C16/455GK202688436SQ20122031504公开日2013年1月23日 申请日期2012年7月2日 优先权日2012年7月2日专利技术者胡俊涛, 孙晨财, 范维涛, 勾宪芳, 宋爱珍, 曹华斌 申请人:中节能太阳能科技有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种可拆卸式特气孔，其特征在于，包括嵌入部分和外露部分，所述嵌入部分为带有外螺纹的圆柱体，所述外露部分为固定在所述圆柱体一端用于拆卸该可拆卸式特气孔的多边体，该可拆卸式特气孔的两端之间开有贯通的气孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：胡俊涛，孙晨财，范维涛，勾宪芳，宋爱珍，曹华斌，
申请(专利权)人：中节能太阳能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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