一种涂布设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种涂布设备，包括喷嘴和用于放置待涂布基板的涂布平台；还包括：采集所述涂布平台或基板上、位于所述喷嘴前方异物的信息的感应模块；信号连接所述感应模块，根据所述感应模块采集的信息判断存在异物时生成执行信号的信号处理模块；信号连接所述信号处理模块，根据所述信号处理模块的执行信号控制所述喷嘴停止涂布作业的执行模块。感应模块采集信息的异物处于喷嘴涂布位置前方的涂布平台以及基板上，喷嘴还未涂布至异物处便已停止了涂布作业，因此能够防止喷嘴与异物之间发生碰撞，防止喷嘴因为与异物之间的碰撞而造成损伤以及损坏。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶面板及半导体生产
，特别涉及一种涂布设备。
技术介绍
目前，在液晶面板以及半导体生产中，传统工艺为在基板上均匀涂布感光材料，利用掩膜版(mask)进行紫外线曝光并随后进行显像等处理，最终得到相应掩膜版的图案。以阵列(Array)基板为例，感光材料的涂布是阵列基板制造工艺过程中十分重要的一道工序。通用的技术中使用的感光材料涂布方式有两种。一种涂布方式为预先使用涂布设备将感光材料涂布于基板之上，之后将涂布有感光材料的基板放在离心设备上进行高速·旋转，从而将基板上的感光材料通过旋转的离心力甩匀，之后利用负压进行低压干燥，将边缘感光材料去除，进入固化设备对基板上均匀的感光材料进行加热固化，之后进行曝光，化学品显像，最终得到相应掩膜版的图案。另一种涂布方式为直接涂布方式，即使用涂布设备一次性将感光材料均匀的涂布于基板之上。上述感光材料的两种涂布方式均是利用涂布设备涂布感光材料；涂布设备包括机架、喷嘴以及用于放置待涂布基板的涂布平台；涂布平台与机架固定连接，喷嘴可滑动地安装于机架，涂布平台水平放置，喷嘴位于涂布平台的上方；在具体涂布过程中，先将待涂布的基板平整的放在涂布平台上，利用涂布设备的喷嘴将感光材料均匀的涂布于基板上。喷嘴在喷涂感光材料时，喷嘴与基板的上表面之间的间隙非常小，一般情况下为O. 1-0. 3mm。在现有的技术中，使用喷嘴进行感光材料涂布时，经常会出现基板与涂布平台之间有异物，或基板的上表面上有异物，导致喷嘴在涂布感光材料时，喷嘴与基板的上表面或者基板上表面的异物发生碰撞，由于喷嘴喷涂感光材料的非常小，喷嘴与基板的上表面或者基板上表面的异物发生碰撞后会导致喷嘴发生变形，从而导致喷嘴受损或直接损坏，同时，喷嘴受损或者损坏后还会造成基板涂布工艺不良现象。喷嘴的维修费用很高，因此喷嘴的损坏会给厂家造成很大的经济损失；同时，基板的涂布工艺不良会直接影响基板产品的质量，甚至造成基板产品的报废，进一步给厂家造成经济损失。因此，如何提供一种能够防止喷嘴与异物发生碰撞的涂布设备，以防止喷嘴在涂布时受到损伤，降低基板的涂布工艺不良，是本领域技术人员需要解决的技术问题之一。
技术实现思路
本技术提供一种具有喷嘴前端防护装置的涂布设备，能够防止喷嘴与异物发生碰撞，防止喷嘴在涂布时受到损伤，降低基板因喷嘴损伤造成的涂布工艺不良。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案一种涂布设备，包括喷嘴和用于放置待涂布基板的涂布平台；还包括感应模块，用于采集所述涂布平台或基板上、位于所述喷嘴前方异物的信息；信号处理模块，信号连接所述感应模块，根据所述感应模块采集的信息判断存在异物时生成执行信号；执行模块，信号连接所述信号处理模块，根据所述信号处理模块的执行信号控制所述喷嘴停止涂布作业。优选地，所述执行模块为喷嘴控制装置，所述喷嘴控制装置与所述信号处理模块信号连接；和/或报警装置，所述报警装置与所述信号处理模块信号连接。优选地,所述感应模块包括感应所述喷嘴行走方向前方光线的光感应器，设置于所述喷嘴上；第一支架，第一端设置于所述喷嘴上，第二端沿所述喷嘴的行走方向向前伸出且低于所述光感应器的安装高度；挡板，位于所述光感应器前方，所述挡板的底端面不高于所述喷嘴的底端面，所述挡板的上端面位于所述光感应器的下端面和上端面之间，所述挡板与所述第一支架的第二端铰接并可绕其铰接轴线旋转，所述铰接轴线的延伸方向与喷嘴的行走方向垂直并且与涂布平台所在的平面平行。优选地，所述感应模块还包括光源，所述光源设置于所述涂布平台上；所述挡板位于所述光源与所述光感应器之间。优选地，所述喷嘴的上端面可拆卸地固定安装有第一固定块，所述光感应器和所述第一支架设置于所述第一固定块上。优选地,所述感应模块包括至少一个信号收发器，安装于所述喷嘴前端面，用于向所述喷嘴行走方向前方的涂布平台以及基板发射感应信号并接受涂布平台以及基板的反馈信号。优选地，所述感应模块还包括第二支架，第一端设置于所述喷嘴上，第二端沿所述喷嘴的行走方向向前伸出；偏板，位于所述信号收发器前方，所述偏板的下端面不高于所述喷嘴的底端面，所述偏板与所述第二支架的第二端铰接并可绕其铰接轴线旋转，所述铰接轴线的延伸方向与喷嘴的行走方向垂直并且与涂布平台所在的平面平行。优选地，所述喷嘴的上端面可拆卸地固定安装有第二固定块，所述信号收发器和第二支架设置于第二固定块上。优选地,所述感应模块包括信号发射器，用于向所述喷嘴行走方向前方发射感应信号；信号接收器，用于接收所述感应信号的反馈信号，并将接收的所述反馈信号传递给所述信号处理模块；所述信号发射器安装于喷嘴上，所述信号接收器安装于涂布平台上；或者，所述信号发射器安装于涂布平台上，所述信号接收器安装于喷嘴上；所述信号发射器与信号接收器的安装高度相同，且所述信号发射器的下端不高于所述喷嘴的底端面。优选地，所述喷嘴的前端设置有向下延伸的第一挡板，所述信号发射器安装于所述第一挡板的前端面上；所述涂布平台的前端设置有向上延伸的第二挡板，所述信号接收器安装于所述第二挡板的后端面上。本技术提供的涂布设备，包括喷嘴和用于放置待涂布基板的涂布平台；还包括采集涂布平台或基板上、位于所述喷嘴前方异物的信息的感应模块；信号连接所述感应模块，根据所述感应模块采集的信息判断存在异物时生成执行信号的信号处理模块；信号连接所述信号处理模块，根据所述信号处理模块的执行信号控制所述喷嘴停止涂布作业的执行模块。 本技术提供的涂布设备，在喷嘴进行感光材料涂布时，首先将待涂布的基板放置于涂布平台上，然后调节喷嘴与待涂布基板的上表面之间的距离，然后在信号处理模块内给感应模块设定常规预定值，通过感应模块采集涂布平台或基板上、位于喷嘴前方的异物的信息，并将采集到的信息信号传输给信号处理模块，当基板或者涂布平台上存在异物时，感应模块采集到的信息发生较大的异常，感应模块反馈的信息超过常规预定值的警戒值，信号处理模块生成执行信号，并将执行信号传输给执行模块，执行模块发出处理指令，停止喷嘴的涂布作业。由于感应模块采集信息的异物处于喷嘴行走方向前方还未进行涂布的基板或者涂布平台上，喷嘴还未涂布至异物处便已停止了涂布作业，因此能够防止喷嘴与异物之间发生碰撞，防止喷嘴因为与异物之间的碰撞而造成损伤以及损坏。因此，本技术提供的涂布设备，能够防止喷嘴与异物发生碰撞，防止喷嘴在涂布时受到损伤，降低基板的涂布工艺不良现象，进而减少厂家的经济损失。附图说明图I为本技术提供的涂布设备中喷嘴的一种工作结构示意图；图2为本技术提供的涂布设备中第一种感应模块工作结构无异物时的状态示意图；图3为本技术提供的涂布设备中第一种感应模块工作结构有异物时的状态示意图；图4为本技术提供的涂布设备中第二种感应模块工作结构无异物时的状态示意图；图5为本技术提供的涂布设备中第二种感应模块工作结构有异物时的状态示意图；图6为本技术提供的涂布设备中第三种感应模块工作结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布设备，包括喷嘴和用于放置待涂布基板的涂布平台；其特征在于，还包括：感应模块，用于采集所述涂布平台或基板上、位于所述喷嘴前方异物的信息；信号处理模块，信号连接所述感应模块，根据所述感应模块采集的信息判断存在异物时生成执行信号；执行模块，信号连接所述信号处理模块，根据所述信号处理模块的执行信号控制所述喷嘴停止涂布作业。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘昊，焦宇，姜健，宋瑞涛，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：