旋流形成体及非接触式运送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供可减少非接触式运送装置的制造成本且防止被运送物的浮起高度的精度下降的旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置。该旋流形成体1具备：碗状的主体1a，其具有在表面侧开口的俯视呈圆形的孔部1b；流体喷出口1k，其在形成该主体的孔部的内表面开口；和流体取入口1l，其在主体的外表面开口且与流体喷出口连通，通过从流体喷出口喷出流体，在主体的表面侧产生朝向从该表面离开的方向的上升旋流。能够将该旋流形成体1和产生俯视呈相反方向的旋流的旋流形成体4在基体2的运送面2a配置两个以上而构成非接触式运送装置，能够将旋流形成体设置于在基体的运送面形成的凹部（收置部2b）中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置，特别涉及在大型的液晶显示器(IXD)和/或等离子显示器(PDP)等FPD (平板显示器)和/或太阳能电池板(太阳能板)等的生产中使用的轨道状的非接触式运送装置及构成该非接触式运送装置的旋流形成体。
技术介绍
以往，在FPD和/或太阳能电池板等的生产时，采用了通过使一个面板大型化来提高生产效率的方法。例如，在液晶玻璃的情况下，第十代可成为2850X3050X0. 7mm的大小。因此，当如以往那样在排列多个的辊上装载液晶玻璃来滚动运送时，会因支撑辊的轴的弯曲和/或辊高度的波动而在液晶玻璃上局部地作用较强的力，有可能损伤液晶玻璃。 上述由辊形成的滚动运送装置，在要求该装置与面板之间是非接触的、例如FPD的处理工序中不能采用，近年来，正在开始采用空气浮起的运送装置。作为非接触式运送装置，有在板状的轨道的一部分使用多孔质材料并通过使其与供气路径连通来供气、从而通过喷出空气将FPD浮起运送的装置。但是，当使用该装置时，FPD成为一边在上下方向上运动一边浮游的状态，因此虽然可在运送工序中使用，但是却无法在例如要求3(Γ50 μ m的高精度的浮起高度的处理工序中采用。此外，如果在使用上述多孔质材料的板状的轨道上设置抽真空用的孔，则装置的构成变复杂，装置自身变得高价，并且，当为了高精度地维持浮起高度而提高供气压力时，发生高刚性空气的压缩性涉及的激励振动，存在不能高精度地保持浮起高度这样的问题。再有，虽然也存在与抽真空用的孔交替地穿设节流孔(小径的孔)来代替多孔质材料的装置，但是，存在因来自节流孔的较强的喷出空气而产生静电或者弄乱净室的环境，消耗流量增大而使运转成本增高这样的问题。于是，在专利文献I中，作为流体流量及能量消耗量减少且可高精度地维持浮起高度的非接触式运送装置，提出了如下装置在基体的运送面上具备两个以上旋流形成体，该旋流形成体通过从流体喷出口喷出流体产生朝向从环状部件的表面侧离开的方向的旋流，并且在环状部件的表面侧的开口部附近产生朝向背面方向的流体流。现有技术文献专利文献I :国际公开第2009/119377号小册子。
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在上述专利文献I记载的非接触式运送装置中，在形成于基体的运送面的凹部收置旋流形成体，通过突出设置于凹部周围的隆起部敛缝接合该旋流形成体的外周面，因此，将旋流形成体向基体安装需要很长时间而导致非接触式运送装置的制造成本上升，并且在将旋流形成体敛缝接合于基体时，旋流形成体的安装角度会产生不均或者在旋流形成体和/或基体(轨道)会产生反翘，存在被运送物的浮起高度的精度可能下降的问题。于是，本专利技术是鉴于上述现有技术中的问题而研制的，其目的在于提供能够减少非接触式运送装置的制造成本且防止被运送物的浮起高度的精度下降的旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置。为实现上述目的，本专利技术一种旋流形成体，其特征在于，具备碗状的主体，其具有在表面侧开口的俯视呈圆形的孔部；流体喷出口，其在该主体的形成所述孔部的内表面开口 ；和流体取入口，其在所述主体的外表面开口且与所述流体喷出口连通，通过从所述流体喷出口喷出流体，在所述主体的表面侧产生朝向从该表面离开的方向的上升旋流。根据本专利技术，旋流形成体使流体喷出口在碗状的主体的内表面开口，且在外表面具备与流体喷出口连通的流体取入口，因此将该旋流形成体收置于基体的凹部等，且从流体取入口取入流体，由此能够简单地构成非接触式运送装置，能够将非接触式运送装置的制造成本抑制得较低。此外，在将该旋流形成体安装于基体时，将该旋流形成体的主体的外表面压入基体的收置部的内表面，由此能够不会在该主体的外表面与基体的收置部的内表 面之间产生流体的泄漏地将该旋流形成体安装于所述基体。此外，在所述旋流形成体中，所述主体在底面具备突出部，并且具备在所述孔部的开口部的外周缘一体形成的环状凸缘部，该主体具备从该环状凸缘部的外周面向所述底面侧突出且在前端具有卡止突起的多个突出部。根据该构成，能够将旋流形成体用一个工序安装于基体上，能够进一步降低制造成本。此外，在将旋流形成体安装于基体时，不使用以往的敛缝接合，因此旋流形成体的安装角度不会产生不均、旋流形成体及基体产生也不会产生反翘，因此能够较高地维持被运送物的浮起高度的精度。在所述旋流形成体中，在所述孔部的圆筒状内壁面上的、位于该圆筒状内壁面的切线方向上且夹着该孔部的中心在对角线上的相对向的位置上形成有凹部，在该凹部分别形成有所述流体喷出口，所述流体喷出口的所述开口部朝向所述孔部的圆筒状内壁面侧且分别朝向相反方向。这样，通过在该凹部形成分别向相反方向开口的流体喷出口，从该流体喷出口喷出的流体与圆筒状的内壁面抵接，能够在该孔部产生右旋方向或左旋方向的上升旋流。此外，旋流形成体能够由热塑性合成树脂一体成型，能够进一步降低旋流形成体的制造成本。再有，本专利技术的非接触式运送装置，包括基体；和在该基体的运送面安装的产生互相俯视呈相反方向的上升旋流的两个以上旋流形成体，其特征在于，该基体具备在运送面开口的俯视呈圆形的多个收置部；该收置部的底面；和带状的圆筒卡止凹部，其在该收置部的圆筒状内壁面形成，直径比该收置部的开口部的直径大，通过形成于所述旋流形成体的所述主体的底面的突出部抵接于所述基体的收置部的底面而使该主体弯曲，从而所述多个卡止突起分别被收置在所述基体的圆筒卡止凹部中，通过该主体恢复到原来的形状从而将所述多个卡止突起分别卡止于该圆筒卡止凹部，并且该主体的环状凸缘部的外周面压入嵌合于所述基体的收置部的圆筒状内壁面从而该旋流形成体被安装于所述基体的收置部。此外，在所述非接触式运送装置中，沿该基体的长度方向交替地配置将产生一个方向的上升旋流的所述旋流形成体和流体吸入用的孔沿所述基体的宽度方向交替配置而成的列以及将产生另一方向的上升旋流的所述旋流形成体和流体吸入用的孔沿所述基体的宽度方向交替配置而成的列，并且所述流体吸入用的孔排列成位于位于该基体的宽度方向及长度方向上的按相同方向产生上升旋流的所述旋流形成体之间。根据该构成，从旋流形成体扩展流动的面在多个旋流形成体为共面，使被运送物浮起的基准面成为基体的运送面，因此能够高精度地控制被运送物的浮起高度，并且通过利用流体吸入用的孔真空吸附周围的微量流体，就能够高精度地控制被运送物的浮起高度，能够合适地应用于处理工序等。专利技术效果如上所述，根据本专利技术，能够提供能够降低非接触式运送装置的制造成本且防止被运送物的浮起高度的精度下降的旋流形成体及使用该旋流形成体的非接触式运送装置。附图说明图I是表示本专利技术涉及的产生俯视呈右旋方向(顺时针方向)的旋流的旋流形成体 的一个实施方式的图，Ca)是主视图，(b)是俯视图，(c)是仰视图，Cd)是(b)的A-A线剖视图，(e)是(C)的B部的放大剖视图，(f )是C部的放大剖视图。图2是表示本专利技术涉及的产生俯视呈左旋方向(逆时针方向)的旋流的旋流形成体的一个实施方式的图，Ca)是主视图，(b)是俯视图，(c)是仰视图，Cd)是(b)的D-D线剖视图，(e)是(C)的E部的放大剖视图，Cf)是F部的放大剖视图。图3是表示安装旋流形成体的基体的一个实施方式的图，(a)是俯视图，(b)是(a)的G-G线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：小泽秀夫，角田耕一，安田贵裕，松本浩司，
申请(专利权)人：翁令司工业股份有限公司，
类型：
国别省市：