立式石英笼舟制造技术

本实用新型专利技术涉及石英制品领域，特别是涉及一种立式石英笼舟，其包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定，其特征在于，所述开槽石英棒之间焊有若干片环片，其环片的上表面焊接三个石英支撑架。本实用新型专利技术从环片、石英支撑架等方面优化结构，提高了立式石英笼舟的稳定性，从而提高了机械手的操作稳定性，提高了生产效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英制品领域，特别是涉及一种立式石英笼舟。
技术介绍
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。立式石英笼舟是集成电路芯片生产线采用的晶片载体，一般用于离子注入、低压CVD、多晶娃生长等重要工序,精度要求很闻，每片晶片在舟中都必须有精准的定位，完全实现机械手操作，所以对立式石英笼舟的稳定度要求非常高。现有的立式石英舟主体结构一般采用四根开槽石英棒，靠四根石英棒上的四个槽来卡住承载物，在反复取、放过程中承载物与卡槽间不断产生磨擦，使之卡槽内表层磨损，与承载物间的间隙越来越大，因此造成稍有振动立式石英舟上的承载物位置就发生了变化，甚至滑落，同时也会影响机械手操作的稳定可靠性。·
技术实现思路
针对上述领域中的不足，本技术提供一种立式石英笼舟，其插入硅片时对支撑物的摩擦小，使支撑物不易磨损，稳定性非常好，特别适用于大型的立式石英笼舟的结构。立式石英笼舟，包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定，其特征在于，所述开槽石英棒之间焊有若干片平行于上、下底盘的环片，每片环片的上表面焊接有三个石英支撑架。所述三个石英支撑架均匀分布在同一圆周上。所述开槽石英棒为四根，呈梯形分布，且位于同一圆周上。所述下底盘的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台。所述四根开槽石英棒之间在水平方向固定有若干连接棒。所述连接棒为弧形，固定于位于梯形斜边两端的开槽石英棒上，其弧形的中心与梯形中心为同心。所述上、下底盘为圆环。为更好的保证立式石英笼舟的稳定性，减少相互磨损，可以在开槽石英棒焊有一组环片，在每层环片上需焊接三个石英支撑架，能够托住承载物又减少了承载物与环片的接触面积。优选三个支撑架均匀一个圆周上，增加了承载物的稳定性。本技术立式石英笼舟，采用四根开槽石英棒，由于内部要放置集成电路芯片生产线采用的晶片，四根开槽石英棒必须在同一圆周上，为保证承载物的稳定性，四根开槽石英棒呈梯形分布，则承载物可以从梯形长边的一侧放入或取出。为解决立式石英笼舟位置的稳定性问题，本技术将立式石英笼舟下表面设计成与生产线相卡扣的凸台结构。生产线的水平面上可以设置相应的凹槽，将凸台卡在凹槽内，立式石英笼舟载物将相当平稳。为更好的保证立式石英笼舟的稳定性，如石英笼舟高度很高，且放置的承载物很多，可以在开槽石英棒之间固定连接棒以增加稳定性。优选将连接棒置于梯形的斜边侧。底盘可以设置成圆环形，使承载物在立式石英笼舟内处于上、下通透的状态。本技术从载物环片、石英支撑架等方面优化结构，提高了立式石英笼舟的稳定性，从而提闻了机械手的操作稳定性，提闻了生广效率。附图说明图I本技术主视图，图2图I中A-A向剖视图，图中各标号列示如下I一开槽石英棒，2—上底盘，3—下底盘，4一环片，5—石英支撑架，6—凸台，7—连接棒。具体实施方式如图1、2所示，本技术立式石英笼舟，包括开槽石英棒1，和固定于开槽石英棒I两端的相互平行的上底盘2和下底盘3，开槽石英棒I之间焊有若干环片4，在每片环片4上焊接三个石英支撑架5，三个石英支撑架均匀分布在环片上表面的同一圆周上，从而可以定位支撑承载物，同时减少了环片4对承载物的磨损，又保证了载物的稳定性。本技术采用四根开槽石英棒1，呈梯形分布，且位于同一圆周上，保证载物的稳定性，且承载物可以从梯形长边的一侧放入或取出。下底盘3的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台6，可与生产线的水平面上相应设置的凹槽相卡扣，使立式石英笼舟载物将相当平稳。如立式石英笼舟高度很高，且放置的承载物很多，可以在开槽石英棒I之间固定连接棒7以增加稳定性。优选将连接棒7置于梯形的斜边侧，连接棒7设计成弧形，固定于位于梯形斜边两端的开槽石英棒I上，其弧形的中心与梯形中心为同心，提高整个立式石英笼舟的稳定性。所述上、下底盘2、3可为圆环，使承载物在立式石英笼舟内处于上、下通透的状态。本技术从载物环片4、石英支撑架5等方面优化结构，提高了立式石英笼舟的稳定性，从而提闻了机械手的操作稳定性，提闻了生广效率。权利要求1.立式石英笼舟，包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定，其特征在于，所述开槽石英棒之间焊有若干片平行于上、下底盘的环片，每片环片的上表面焊接有三个石英支撑架。2.根据权利要求I所述的立式石英笼舟，其特征在于所述三个石英支撑架均匀分布在同一圆周上。3.根据权利要求I所述的立式石英笼舟，其特征在于所述开槽石英棒为四根，呈梯形分布，且位于同一圆周上。4.根据权利要求3所述的立式石英笼舟，其特征在于所述四根开槽石英棒之间在水平方向固定有连接棒。5.根据权利要求4所述的立式石英笼舟，其特征在于所述连接棒为弧形，固定于位于梯形斜边两端的开槽石英棒上，其弧形的中心与梯形中心为同心。6.根据权利要求1-5任一所述的立式石英笼舟，其特征在于所述上、下底盘为圆环。7.根据权利要求I所述的立式石英笼舟，其特征在于所述下底盘的下表面设置有与生产线相卡扣的凸台。专利摘要本技术涉及石英制品领域，特别是涉及一种立式石英笼舟，其包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定，其特征在于，所述开槽石英棒之间焊有若干片环片，其环片的上表面焊接三个石英支撑架。本技术从环片、石英支撑架等方面优化结构，提高了立式石英笼舟的稳定性，从而提高了机械手的操作稳定性，提高了生产效率。文档编号H01L21/673GK202678298SQ20122030292公开日2013年1月16日 申请日期2012年6月25日 优先权日2012年6月25日专利技术者张忠恕, 杨继盛, 陈强, 边占宁, 韦冬寒, 王建立, 于洋, 张娟, 王志刚, 李翔星, 秦殿强, 赵小亮, 卢爱国, 李宝军, 张雷 申请人:北京凯德石英有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
立式石英笼舟，包括开槽石英棒和固定于开槽石英棒两端的相互平行的上、下底盘，所述开槽石英棒与上、下底盘垂直固定，其特征在于，所述开槽石英棒之间焊有若干片平行于上、下底盘的环片，每片环片的上表面焊接有三个石英支撑架。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张忠恕，杨继盛，陈强，边占宁，韦冬寒，王建立，于洋，张娟，王志刚，李翔星，秦殿强，赵小亮，卢爱国，李宝军，张雷，
申请(专利权)人：北京凯德石英有限公司，
类型：实用新型
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